半导体设备系列：刻蚀主赛道，有望加速导入国产设备

本报告主要讨论了刻蚀设备市场的发展趋势和国内厂商的进展。刻蚀设备是集成电路图形转移方式，市场超过130亿美元，且增长迅速。刻蚀设备市场基本是干法刻蚀设备，2020年全球干法刻蚀设备市场约137亿美元，其中介质刻蚀（Dielectric Etch）60亿美元，导体刻蚀（Conductor Etch）76亿美元。刻蚀由海外龙头主导，国内公司保持快速增长。国内刻蚀厂商加速导入，北方华创、中微公司、屹唐半导体等国内龙头公司都在加速导入刻蚀设备。北方华创ICP刻蚀机领域国内领先，累计交付突破1000腔，12英寸突破28nm以下制程。中微公司刻蚀产品线逐步成熟，从CCP向ICP快速开拓。屹唐股份刻蚀产品处于国际先进、国内领先地位。

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