半导体湿法刻蚀设备龙头，开创“芯”篇章

1 证券研究报告 | 首次覆盖报告 2018年07月12日 至纯科技（603690.SH） 半导体湿法刻蚀设备龙头，开创“芯”篇章 大陆晶圆厂兴建浪潮拉动半导体设备投资，国产半导体设备受益崛起。根据SEMI的数据，2017年全球半导体制造设备销售额达到566亿美元，中国大陆半导体设备销售额达到82.2亿美元，预计全球将于2020年前投产62座半导体晶圆厂，其中26座设于中国大陆。大陆市场的半导体设备需求愈发强劲，但大陆市场主要依赖进口，自给率不足。《国家集成电路产业发展推进纲要》等一系列政策的出台将会推动设备全面国产化的进程，国产设备将会迎来巨大的机遇。公司作为国内高纯工艺业务的龙头企业，将率先受益于国产化浪潮。 清洗设备市场广阔，国产设备市占率有望提升。根据SEMI2017年的数据，全球清洗设备约占到半导体投资设备总额的6%。预计到2020年中国芯片制造企业对清洗设备需求有望突破600亿。目前全球清洗设备市场主要有迪恩士、Mujin、东京电子、泛林、细美事半导体等国外企业。国内清洗设备生产商主要有至纯科技，北方华创，盛美半导体。未来随着国产化进程的推进，国产清洗设备的市占率将不断提升。 湿法工艺装备研发取得成效，有望打造细分领域拳头产品。公司依靠作为半导体产业高纯工艺系统集成商积累的优势，积极响应国家战略号角，投身于本土集成电路工艺装备事业。公司于2015年开始启动湿法工艺装备研发，2017年成立子公司至微半导体作为独立的半导体湿法事业部，致力于打造高端湿法设备制造开发平台。该领域的研发卓有成效，公司已于2017年形成了以Ultron作为品牌的槽式湿法清洗设备和单片式湿法清洗设备系列，并已经取得6台的批量订单。目前国内仅有少数几家公司能够生产清洗设备。公司在设备国产化浪潮之下先发制人，提早切入清洗设备领域，有望打造在该细分领域的拳头产品。 投资建议：我们预计公司18~20年EPS分别为0.38、0.74、1.08元/股，对应三年PE为57.78、29.88、20.49倍。考虑公司未来几年增速较高，目前公司市盈率水平显著低于可比公司水平，首次覆盖给予买入评级。 风险提示：高纯集成系统订单不达预期；清洗设备基地建设进展放缓；清洗设备认证进程不及预期；预测假设与实际情况有差异风险。 财务指标 2016A 2017A 2018E 2019E 2020E 营业收入（百万元） 263 369 570 1,187 1,552 增长率yoy% 26.9 40.2 54.4 108.3 30.8 净利润（百万元） 45.3 49 81 175 255 增长率yoy% 156.0 8.8 63.4 117.3 45.8 EPS（摊薄/元） 0.21 0.23 0.38 0.74 1.8 净资产收益率（%） 15.5 11.8 16.8 26.0 27.8 P/E（倍） 102.7 94.4 57.8 29.9 20.5 P/B（倍） 15.8 11.4 9.8 7.0 5.1 资料来源：贝格数据，国盛证券研究所 买入（首次） 股票信息 行业 专用设备 前次评级 最新收盘价 22.13 总市值(百万) 4,655.27 总股本(百万) 210.36 其中自由流通股(%) 43.48 30日日均成交量(百万股) 0.63 股价走势 作者 分析师 王席鑫 执业证书编号：S0680518020002 邮箱：wangxixin@gszq.com 分析师 罗政 执业证书编号：S0680518060002 邮箱：luozheng@gszq.com 分析师 姚健 执业证书编号：S0680518040002 邮箱：yaojian@gszq.com -41%-27%-14%0%14%27%41%55%69%2017-072017-112018-032018-07至纯科技沪深300 2018年07月12日 P.2 请仔细阅读本报告末页声明 财务报表和主要财务比率 资产负债表（百万元） 利润表（百万元） 会计年度 2016A 2017A 2018E 2019E 2020E 会计年度 2016A 2017A 2018E 2019E 2020E 流动资产 485 715 936 1782 1782 营业收入 263 369 570 1187 1552 现金 43 91 157 119 166 营业成本 164 225 338 647 846 应收账款 239 334 480 1004 937 营业税金及附加 2 3 4 8 11 其他应收款 14 12 17 43 35 营业费用 7 7 11 71 78 预付账款 57 54 88 109 149 管理费用 34 49 85 178 217 存货 123 207 168 448 443 财务费用 4 17 16 27 31 其他流动资产 10 17 26 60 51 资产减值损失 12 19 27 59 81 非流动资产 135 284 384 532 575 公允价值变动收益 0 0 0 0 0 长期投资 0 105 105 105 105 投资净收益 0 -1 0 0 0 固定投资 114 127 177 275 332 营业利润 41 50 88 196 288 无形资产 9 16 22 28 33 营业外收入 13 6 6 6 8 其他非流动资产 12 36 81 125 105 营业外支出 0 0 0 0 0 资产总计 620 999 1320 2314 2357 利润总额 53 56 93 202 296 流动负债 262 568 703 1296 1114 所得税 8 7 13 27 40 短期借款 90 300 300 434 300 净利润 45 49 81 175 255 应付账款 76 125 213 506 435 少数股东收益 0 -0 0 0 0 其他流动负债 96 143 190 356 379 归属母公司净利润 45 49 81 175 255 非流动负债 66 17 138 344 324 EBITDA 69 81 123 248 353 长期借款 49 0 121 327 306 EPS（元） 0.22 0.23 0.38 0.74 1.08 其他非流动负债 16 17 17 17 17 负债合计 327 585 841 1640 1438 主要财务比率 少数股东权益 0 9 9 9 9 会计年度 2016A 2017A 2018E 2019E 2020E 股本 156 210 210 236 236 成长能力 资本公积 5 51 51 51 51 营业收入（%） 26.9 40.2 54.4 108.3 30.8 留存收益 132 167 237 383 586 营业利润（%） 114.9 22.7 75.9 123.4 47.1 归属母公司股东收益 293 405 471 665 910 归属母公司净利润（%） 156.0 8.8 63.4 117.3 45.8 负债和股东权益 620 999 1320 2314 2357 获利能力 毛利率（%） 37.7 39.0 40.7 45.5 45.5 现金流表（百万元） 净利率（%） 17.2 13.4 14.1 14.8 16.5 会计年度 2016A 2017A 2018E 2019E 2020E ROE（%） 15.5 11.8 16.8 26.0 27.8 经营活动现金流 -18 -68 111 -261 298 ROIC 11.5 8.1 10.1 12.9 17.1 净利润 45 49 81 175 255 偿债能力 折旧摊销 9 10 14 21 29 资产负债率（%） 52.8 58.6 63.7 70.9 61.0 财务费用 4 17 16 27 31 净负债比率（%） 32.7 62.7 61.2 108.6 59.5 投资损失 0 1 0 0 0 流动比率 1.9 1.3 1.3 1.4 1.6 营运资金变动 -154 -164 1 -484 -17 速动比率 1.4 0.9 1.1 1.0 1.2 其他经营现金流 77 19 0 0 0 营运能力 投资活动现金流 22 -167 -114 -168 -72 总资产周转率 0.5 0.5 0.5 0.7 0.7 资本支出 13 31 101 148 43 应收账款周转率 1.2 1.3 1.4 1.6 1.6 长期投资 -1 -120 0 0 0 应付账款周转率 2.3 2.2 2.0 1.8 1.8 其他投资现金流 34 -256 -14 -21 -29 每股指标（元） 筹资活动现金流 6 279 69 257 -44 每股收益（最新摊薄） 0.22 0.23 0.38 0.74 1.08 短期借款 46 210 0 0 0 每股经营现金流（最新摊薄） 0.00 -0.29 0.53 -1.24 1.42 长期借款 -21 -49 121 206 -20 每股净资产（最新摊薄） 1.39 1.93 2.24 3.16 4.33 普通股增加 0 54 0 26 0 估值比率 资本公积增加 -0 46 0 0 0 P/E 102.74 94.44 57.78 29.88 20.49 其他筹资现金流 -18 18 -51 24 -24 P/B 15.89 11.49 9.89 7.00 5.12 现金净增加额 9 43 67 -173 182 EV/EBITDA 68.70 60.7 40.4 21.8 14.8 资料来源：贝格数据，国盛证券研究所 2018年07月12日 P.3 请仔细阅读本报告末页声明 内容目录 公司主营业务 .......................................................................................................................................... 5 高纯工艺系统国内龙头 ...................................................................................................................... 5 布局湿法工艺装备 ............................................................................................................................. 6 清洗工艺简介 ............................................................................................................................. 6 清洗设备分类 ............................................................................................................................. 7 投身装备事业，布