国芯之光，刻蚀设备领跑者

1 Table_First Table_First|Table_ReportType 证券研究报告 公司深度研究 Table_First|Table_Summary 中微公司（688012）\电子 ——国芯之光，刻蚀设备领跑者 投资要点： ➢ 公司核心产品刻蚀设备/MOCVD设备，是半导体制造核心设备。 公司介质刻蚀设备国内最先进，并达到国际一线水准，产品已进入世界领先晶圆制造企业5nm产线。硅刻蚀、金属刻蚀已进入客户端验证阶段。MOCVD设备已达到国际水平，且价格优势明显。未来有望成为国际领先的半导体设备开发商。 ➢ 刻蚀设备技术已达国际领先水平，大基金二期受益于新一轮晶圆厂采购周期到来，刻蚀设备预计将有大幅增长。 刻蚀设备在晶圆厂设备支出中仅次于光刻设备，且相较于光刻设备刻蚀设备数量更多，可替代比例更高。目前受益5G等技术升级驱动下游代工厂投资新产线，大基金二期投资启动，主要晶圆厂采购周期到来，刻蚀设备增长趋势明显，且由于中美关系晶圆厂出于供应链安全考量国产设备需求上扬，国产替代预期下公司业绩有望高速增长。预计2020-2022年刻蚀设备带来的营业收入为14.64亿、20.73亿、30.89亿元。 ➢ MOCVD设备受益于Mini LED/Micro LED需求增长。 公司作为国内MOCVD设备绝对龙头，虽然2019年LED行业景气度下行，但考虑新需求的出现，未来MOCVD仍将保持增长趋势。预计2020-2022年MOCVD设备带来的营业收入为6.98亿、7.23亿、6.93亿元。 ➢ 盈利预测及估值 预计中微公司2020-2022年营业收入为26.50亿/ 34.29亿/ 46.37亿，归母净利润为3.14亿/ 4.01亿/ 5.57亿，对应EPS为0.59元/0.75元/1.04元，对应PE为310倍/ 243倍/175倍，对应PS为37倍/28倍/21倍。考虑公司研发技术国内领先，并且处于高增长阶段，可参考泛林半导体的快速增长路径。公司估值目前处于合理价位，其投资价值值得关注。 ➢ 风险提示：公司研发不及预期，下游扩产不达预期，公司产品渗透不达预期，中美关系风险。 Table_First|Table_Summary|Table_Excel1 财务数据和估值 2018A 2019A 2020E 2021E 2022E 营业收入（百万元） 1,639.29 1,946.95 2,650.26 3,428.98 4,637.02 增长率（%） 68.66% 18.77% 36.12% 29.38% 35.23% EBITDA（百万元） 237.95 231.96 402.71 496.79 671.34 净利润（百万元） 90.87 188.56 314.27 401.13 556.68 增长率（%） 214.01% 107.51% 66.66% 27.64% 38.78% EPS（元/股） 0.17 0.35 0.59 0.75 1.04 市盈率（P/E） 1,071.03 516.13 309.68 242.62 174.83 市净率（P/B） 45.99 25.95 23.94 21.79 19.37 EV/EBITDA 368.41 413.67 237.97 192.84 142.72 数据来源：公司公告，国联证券研究所 Tabl e_First|T abl e_R eportD at e 2020年11月09日 Table_First|Table_Rating 投资建议： 推荐 上次建议： 推荐 当前价格： 181.96元 Table_First|Table_MarketInfo 基本数据 总股本/流通股本（百万股） 534.86/245.40 流通A股市值（百万元） 44653.45 每股净资产（元） 7.67 资产负债率（%） 23.60 一年内最高/最低（元） 298.00/63.78 Tabl e_First|T abl e_C hart 一年内股价相对走势 Table_First|Table_Author 马群星 分析师 执业证书编号：S0590516080001 电话：0510-85613163 邮箱：maqx@glsc.com.cn Table_First|Table_Contacter Table_First|Table_RelateReport 相关报告 1、《中微公司（688012）\科创版行业行业》 《面向全球的刻蚀及MOCVD设备新星》 2019.07.19 请务必阅读报告末页的重要声明 -50%50%150%250%2019-11-082020-02-082020-05-08沪深300中微公司 2 请务必阅读报告末页的重要声明 公司深度研究 正文目录 1. 设备领先国内面向全球，技术壁垒显著 ............................................................ 4 1.1. 刻蚀设备/MOCVD设备技术全球领先，业绩快速发展 ............................... 4 1.2. 研发团队实力雄厚，研发投入占比合理 ..................................................... 6 1.3. 公司股权结构分散，政府为第一大股东，政策支持力度明显 ..................... 9 2. 刻蚀设备：对标泛林半导体，关键技术已达国际水平....................................... 9 2.1. 刻蚀作为芯片生产关键工艺，约占晶圆设备投入的1/4 ............................. 9 2.2. 打破国外高端刻蚀设备垄断，对标泛林半导体增长可期 .......................... 12 3. MOCVD设备：市占率全球第一，Mini/Micro LED助力产业升级 ................. 14 3.1. MOCVD设备作为LED芯片制造核心设备，直观衡量LED厂商产能 .... 14 3.2. 下游LED行业景气度19年短期下行，2020年有望回暖 ........................ 15 3.3. 物美价廉，公司逐步占据全球氮化镓基MOCVD 设备销量的60% ......... 18 4. 技术升级推动需求增长，新一轮国产采购正当时，设备厂商面临黄金机遇期 21 4.1. 集成电路为半导体产业主要门类，市场规模增长迅速 ............................. 21 4.2. 受益5G/IoT/AI强驱动，半导体市场需求强劲 ......................................... 22 4.3. 下游厂商加大投入，设备市场需求旺盛，国产设备厂商迎来机遇期 ........ 24 5. 入股多家半导体设备厂商，纵向切入有望打造平台企业 ................................. 28 5.1. 公司已入股薄膜沉积、量测企业，外延半导体设备，扩大市场空间 ........ 28 6. 盈利预测及估值 ............................................................................................... 30 6.1. 预计未来三年营收29.61亿/41.34亿/55.83亿 ........................................ 30 7. 风险提示 .......................................................................................................... 31 图表目录 图表1：中微公司主要产品发展历程 ............................................................................... 4 图表2：近年公司营收（亿元）和增速 ............................................................................ 5 图表3：公司各主营业务分类占比 ................................................................................... 5 图表4：公司近年毛利率情况 .......................................................................................... 5 图表5：公司近年归母净利润（亿元） ............................................................................ 5 图表6：公司各关键尺寸的刻蚀应用的具体应用 ............................................................. 6 图表7：公司MOCVD设备技术对比 ............................................................................... 6 图表8：公司员工专业结构 .............................................................................................. 7 图表9：公司研发人员受教育程度 ................................................................................... 7 图表10：中微公司研发支出占营收比例（单位：百万人民币） ..................................... 8 图表11：公司近年承担的重大科研项目 .......................................................................... 8 图表12：公司专利申请（截止2019年6月30日） ...................................................... 9 图表13：中微公司股权结构 ............................................................................................ 9 图表14：芯片制造工艺示意图 ...................................................................................... 10 图表15：10纳米多重模板工艺原理 .............................................................................. 11 图表16：2017年集成电路各类设备销售额占比 ........................................................... 12 图表17：各类设备在晶圆产线中的价值占比 ................................................................