证券研究报告·行业点评·机械设备 半导体设备行业8月数据点评 1 / 7 东吴证券研究所 请务必阅读正文之后的免责声明部分 [Table_Main] 中芯国际部分供应商受到美国出口管制限制更严，设备在内的国产化刻不容缓 增持（维持） 投资要点  北美半导体设备销售额创新高，半导体设备需求仍旺盛 全球半导体销售额继续稳定增长，8月份全球半导体的销售额为362.3亿元，同比+5.3%（5/6/7月分别同比+5.8%/+5.5%/+5.8%），其中中国地区销售额+2.7%。集成电路进出口方面，8月集成电路进口额为311.9亿美元，同比+11.1%；出口额为103.0亿美元，同比+10.1%。 半导体设备供应链营运表现维持稳定，8月北美半导体设备制造商出货额为26.5亿美元，较去年同期的20.0亿美元同比增长32.5%，创 2020 年以来单月新高,。 晶圆代工厂收入维持高速增长。台积电9月实现营收1275.9亿新台币，同比增长24.9%。台积电近日获英伟达3nm订单，3nm工艺按计划顺利推进，计划在2021年风险试产，2022年大规模投产。此外镁光、旺宏、华邦等也将启动扩厂计划，未来半导体设备的市场需求依然旺盛。  国内主流晶圆厂招标持续进行，国产设备商中标率提升 华力集成、华虹（无锡）、合肥晶合等自3月份以来开启招投标，长江存储自年初以来的密集招标仍在继续, 7月长江存储又开启新一轮（第41批）招标。从近期招标较多的晶圆厂来看，国产设备商中标率有明显提升。 1）华力集成：8月以来，华力二期累计释放30台工艺设备需求，其中国产设备14台，国产化率47%。国产设备商中，盛美半导体中标2台清洗设备及1台氧化炉；北方华创中标1台退火设备及2台溅射设备；中微公司中标3台刻蚀设备。 2）长江存储：8月以来，长江存储累计释放278台工艺设备需求，其中国产设备24台，国产化率9%。国产设备商中，盛美半导体中标9台清洗设备；华海清科中标10台抛光设备；北方华创中标1台沉积设备。 3）中芯绍兴：8月以来，中芯绍兴累计释放10台工艺设备需求，其中国产设备4台，国产化率40%。国产设备商中；亦亨电子中标1台刻蚀设备、1台沉积设备；上海众鸿中标1台刻蚀设备。  美国技术管制加强，中芯国际受限制，半导体产业链国产化迫在眉睫 10月5日，中芯国际发布公告称，美国商务部工业与安全局对向中芯国际出口的部分美国设备、配件及原物料做出进一步限制，须事前申请出口许可证后，才能向中芯国际继续供货。对中芯国际来说，由于在设备、材料方面对美国的供应商有较严重依赖性，中芯国际晶圆产线的正常生产可能会受一定影响。我们认为，虽短期来看，中芯国际正常生产压力增大，可能缩减全年资本支出，后续国产设备的入场也会受影响。但长期来看，美国技术出口管制加强，将进一步加强整个半导体产业链全面国产化决心，本土代工厂设备国产化率有望加速提升。  投资建议：重点推荐半导体设备龙头【中微公司】，进入全球供应链的国产刻蚀设备龙头；【北方华创】多业务布局的晶圆设备龙头；重点推荐【至纯科技】，国内清洗设备龙头，二季度出货10+台设备，处于产能扩张阶段；大硅片设备龙头【晶盛机电】；建议关注【长川科技】。  风险提示：晶圆厂扩产不及预期；设备国产化不及预期。 [Table_PicQuote] 行业走势 [Table_Report] 相关研究 1、《半导体设备行业7月数据点评：中芯国际合资扩产，上游设备商率先受益》2020-8-8 1、《半导体设备行业6月数据点评：长江存储开启新一轮招标，设备国产化趋势加速》2020-7-7 2、《半导体设备行业4月数据点评：美国启动半导体“无限追溯”机制，国产设备商迎历史机遇》2020-5-13 [Table_Author] 2020年10月11日 证券分析师 陈显帆 执业证号：S0600515090001 chenxf@dwzq.com.cn 证券分析师 周尔双 执业证号：S0600515110002 13915521100 zhouersh@dwzq.com.cn 研究助理 朱贝贝 zhubb@dwzq.com.cn -20%0%20%40%2019-102020-022020-06机械设备沪深300 2 / 7 东吴证券研究所 请务必阅读正文之后的免责声明部分 [Table_Yemei] 行业点评报告 附录一：本月有更新的半导体及设备销售额分析 图3：8月北美半导体设备制造商出货额同比+32.5% 图4：9月台积电合计营收同比大幅增长24.9% 数据来源：Wind，东吴证券研究所 数据来源：TSMC，东吴证券研究所 附录二：本月有更新的集成电路进出口数据分析 图5：8月集成电路进口金额同比+11.1%，8月出口金额同比+10.1% 数据来源：Wind,东吴证券研究所 -40%-30%-20%-10%0%10%20%30%40%0500100015002000250030002018-082018-122019-042019-082019-122020-042020-08北美半导体设备商出货额（百万美元）同比-30%-20%-10%0%10%20%30%40%50%60%0200004000060000800001000001200001400002018-092019-012019-052019-092020-012020-052020-09营业收入额（百万新台币）环比同比-40%-30%-20%-10%0%10%20%30%40%50%60%70%050100150200250300350集成电路单月进口金额(亿美元）集成电路单月出口金额(亿美元）进口同比出口同比图1：8月全球半导体销售额同比+5.3%，稳定增长 图2：8月中国半导体销售额同比+2.7% 数据来源：Wind,东吴证券研究所 数据来源：Wind,东吴证券研究所 -20%-15%-10%-5%0%5%10%15%20%25%30%0510152025303540452016-082017-022017-082018-022018-082019-022019-082020-022020-08全球销售额（单位：十亿美元）同比-20%-15%-10%-5%0%5%10%15%20%25%30%35%02468101214162016-082017-022017-082018-022018-082019-022019-082020-022020-08中国销售额（单位：十亿美元）同比 3 / 7 东吴证券研究所 请务必阅读正文之后的免责声明部分 [Table_Yemei] 行业点评报告 附录三：本月（2020年10月）有更新的半导体设备采购数据分析 表1：华力集成设备采购中标情况（截至2020.10），国产厂商中北方华创、盛美半导体所在领域设备占比超10% 检测设备 薄膜沉积设备 其他 KLA 13% 生长设备 研磨抛光设备 清洗设备 Nova 18% 应用材料 53% 应用材料 28% Screen 38% 东京电子 14% 日立 9% 荏原制作所 14% 北方华创 13% 是德科技 10% 泛林 28% 华海清科 10% 泛林 21% Camtek 4% 东京电子 9% 吉姆西半导体 24% 盛美半导体 16% 应用材料 6% 沉积设备 上海天隽机电 24% 沈阳芯源 4% 沈阳拓荆 15% 日立 5% 其他 0% 其他 9% 其他 30% 应用材料 46% 涂布/显影/去胶设备 氧化/扩散/热处理设备 刻蚀设备 泛林 31% 东京电子 45% Tokyo Electron 55% 泛林 42% 溅射设备 沈阳芯源 3% 应用材料 18% 东京电子 10% 应用材料 76% Mattson 23% 日立 14 中微半导体 14% 北方华创 12% 泛林 26% 北方华创 5% 志圣工业 2% 光刻设备 离子注入设备 其他 9% 北方华创 1% ASML 100% Sumitomo 34% 退火设备 SHIBAURA 1% 应用材料 59% 应用材料 30% Edwards Limited 26% Mattson 9% 亚舍立 3% 应用材料 2% 北京中科信电子 3% Ultratech SE 4% 东京电子 13% 北方华创 4% 数据来源：中国国际招标网，东吴证券研究所 （红色为国产设备商，其中美国Mattson 被屹唐半导体收购） 表2：华力集成采购中标具体情况（近期5条重要设备采购信息） 日期 制造公司 国家及地区 设备种类 详细设备 数量 2020/8/22 盛美半导体设备（上海）股份有限公司 中国 清洗设备 后段Cu聚合物剥离设备 1 2020/8/22 盛美半导体设备（上海）股份有限公司 中国 清洗设备 刷片清洗设备 1 2020/8/28 Lam Research International Sarl 美国 清洗设备 后段Cu聚合物剥离设备 1 4 / 7 东吴证券研究所 请务必阅读正文之后的免责声明部分 [Table_Yemei] 行业点评报告 2020/8/28 Lam Research International Sarl 美国 清洗设备 后段AIO刻蚀后聚合物剥离设备 1 2020/9/15 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 中国 清洗设备 刷片清洗设备 1 数据来源：中国国际招标网，东吴证券研究所（红色为国内厂商中标） 表3：长江存储设备采购中标情况（截至2020.10），中微半导体、盛美半导体所在领域设备占比超15% 其他 薄膜沉积设备 刻蚀设备 CMP设备 清洗设备 Applied Materials 74 中微半导体 38 Applied Materials. 38 Brooks Automation 4 Lam Research 83 荆蓝（香港） 7 华海清科 11 Hugle Electronics Inc 2 TOKYO ELECTRON 136 北方华创 9 中标总数 49 J.E.T. CO.,LTD. 1 日立电气 83 TOKYO ELECTRON 16 招标总数 67 Lam Research 14 沈阳拓荆 7 Screen 11 退火设备 Screen 24 北方华创 7 Oxford Instrument 1 Applied Materials 9 TEL 3 KOKUSAI 44 Mattson 2 TOKYO ELECTRON 60 TOKYO ELECTRON 9 中标总数 434 Lam Research 144 北方华创 21 ULVAC KOREA, Ltd. 2 招标总数 - Applied Materials 4 Elemental scientific 1 北方华创 2 光刻机 中标总数 232 北京屹唐 1 清芯科技 3 ASML 28 招标总数 277 荆蓝（香港） 2 盛美半导体 13 CANON 10 检测设备 中标总数 94 艾科斯 2 中标总数 39 KLA-Tencor Corporation 62 招标总数 98 中标总数 79 招标总数 40 Rudolph Technologies, Inc. 13 氧化设备 招标总数 85 Applied Materials 8 TOKYO ELECTRON 1 睿励科学仪器（上海）有限公司 2 北方华创 16 中标总数 181 日立电气 7 招标总数 217 Applied Materials 1 中标总数 25 招标总数 31 数据来源：中国国际招标网，东吴证券研究所 表4：长江存储采购