氧化物面板一般指采用金属氧化物(Oxide)作为有源层的薄膜晶体管(TFT)驱动的显示面板,是当前显示领域的主流背板技术路线之一,相关核心信息整理如下:
- 技术起源
进入21世纪氧化物薄膜晶体管技术被发明并投入使用,2004年日本东京理工大学Hosono研究小组发明了非晶铟镓锌氧(a-IGZO)薄膜,后续夏普和日本半导体能源研究所率先将IGZO技术商业化,随着更多具备类似性能的金属氧化物材料被发掘,这类技术就被统称为Oxide TFT技术 【1】 。
- 核心技术特点
它的核心优势是高场效应迁移率、面板均一性好、可实现低温制备,非常适配高世代线生产大尺寸显示面板;但短板也比较明显:氧化物材料对水和氧的敏感性很高,生产过程中成膜工艺难度大,一定程度上制约了量产良率 【12】 。
- 当前应用格局
目前氧化物面板主要集中在中大尺寸领域,2024年的应用产值占比中,笔记本电脑占49%、平板电脑占23%、电视占21%,少量渗透到汽车电子、智能手机、显示器领域 【12】 。群智咨询数据显示,2024年全球Oxide显示面板产值为41亿美元,占当年LCD面板整体产值的6.08% 【1】 。
- 前沿拓展方向
行业也在对氧化物技术做进一步优化延伸:比如苹果正在研发的高迁移率氧化物(HMO)技术,在传统氧化物基础上优化材料成分、晶体结构或掺杂工艺,弥补了传统氧化物迁移率低于LTPS的短板,同时比主流的LTPO技术功耗更低、制造成本更简化,有望把原本主打大尺寸的氧化物技术拓展到中小尺寸OLED产品中 【2】 ;国内面板厂商惠科也在推进金属氧化物OLED技术开发,尝试打通高世代线下氧化物背板的OLED量产工艺,开发高对比度、高可靠度的OLED产品 【10】 。