半导体倒角机市场规模

我现在需要回答用户的问题：“半导体倒角机市场规模”。首先，我需要仔细查看提供的参考资料，看看有没有直接提到半导体倒角机的市场规模数据。

首先，浏览所有参考资料。参考资料[2]是关于半导体硅片倒角机与研磨机竞争格局的，里面列出了不同国家的公司，但没有提到市场规模。参考资料[12]提到“磨削、倒角”环节的设备市场空间，20-22年中国市场空间为60-80亿元，这里的“磨削、倒角机”应该包括倒角机，属于硅片设备中的一部分，投资占比10%，市场空间60-80亿元。不过这里是20-22年的中国市场空间，用户问的是“半导体倒角机市场规模”，可能需要更具体的信息，但目前提供的资料中只有参考资料[12]提到了相关的市场空间数据，虽然是“磨削、倒角机”整体，但可以合理推断其中包含倒角机的市场规模，属于中国市场在20-22年的范围。

其他资料中，比如参考资料[1]、[3]、[4]等主要涉及Fabless市场、固晶机、贴片机、半导体零部件等，没有提到倒角机的市场规模。参考资料[15]提到天通股份的晶体材料专用设备包括倒角机，但也没有市场规模数据。

所以，根据提供的文本，只有参考资料[12]提到了“磨削、倒角机”的市场空间，20-22年中国市场空间为60-80亿元，投资占硅片设备份额的10%。因此，回答时需要引用这个数据，并说明是中国市场在20-22年的范围，包含磨削和倒角机整体。