中科仪新股报告：聚焦真空核心设备，自主创新驱动长期发展

2026年04月27日 核心观点 真 空 装 备 领 域 国 内 龙 头 企 业 。中 科 仪成 立 于2001年 ，公 司 是 中 国 领 先 的 半导 体 制 造 设 备 核 心 部 件 提 供 商 及 真 空 科 学 仪 器 设 备 供 应 商 ，主 营 业 务 为 干 式 真空 泵 和 真 空 科 学 仪 器 设 备 的 研 发 、生 产 、销 售 ，及 相 关 技 术 服 务 。公 司 依 托 中科 院 技 术 底 蕴 ，承 接 多 项 国 家 级 科 研 专 项 ，成 功 实 现 国 产 干 式 真 空 泵 在 集 成 电路 领 域 的 规 模 化 应 用 ，破 解 半 导 体 关 键 部 件“ 卡 脖 子 ”难 题 。公 司 服 务 国 家 大科 学 工 程 ，是 同 步 辐 射 光 源 、粒 子 对 撞 机 等 重 大 科 技 基 础 设 施 的 核 心 真 空 部 件供 应 商 ，技 术 水 平 对 标 国 际 头 部 企 业 。国 科 控 股 为 实 控 人 ，国 家 集 成 电 路 基 金战 略 持 股 ，股 权 结 构 稳 定 。下 设 三 家 全 资 子 公 司 ，聚 焦 干 式 真 空 泵 的 研 发 、生产 与 全 周 期 技 术 服 务， 形 成 完 整 产 业 布 局 。 中科仪（920186.BJ） 分析师 范想想：010-8092-7663：fanxiangxiang_yj@chinastock.com.cn分析师登记编码：S0130518090002 营 收 利 润 稳 步 增 长 ，研 发 投 入 比 重 增 大 。2025年 公 司 实 现 营 业 收 入12.91亿元（+19.30%），实 现 归 母 净 利 润8.44亿 元（+337.77%），盈 利 能 力 总 体 稳定。2025年 公 司 毛 利 率为26.78%，净 利 率为65.35%， 费 用 管 控 成 效 显 著 。公 司 持 续 加 大 研 发 投 入 ，2024-2025年 研 发 费 用 维 持 在1.1亿 元 以 上 ，组 建 多学 科 复 合 型 研 发 团 队 ，搭 建 真 空 技 术 装 备 国 家 工 程 研 究 中 心 、国 家 真 空 仪 器 装置 工 程 技 术 研 究 中 心 等 多 个 国 家 级 创 新 平 台 ，掌 握干 泵 测 试、精 密 加 工 等 八 大核 心 技 术 ， 推 动 半 导 体 真 空 装 备 关 键 技 术 成 果 快 速 落 地 并 实 现 国 产 替 代 突 破 。 张智浩：zhangzhihao_yj@chinastock.com.cn分析师登记编码：S0130524100001 半 导 体 产 业 蓬 勃 发 展 ，真 空 核 心 设 备 需 求 释 放 。全 球 干 式 真 空 泵 市 场 稳 步 增长 ，国 内 受 益 于 半 导 体 、光 伏 等 泛 半 导 体 产 业 扩 张 ，国 产 替 代 进 程 加 速 推 动 行业 规 模 扩 容 。我 国 集 成 电 路 产 能 扩 张 、光 伏 技 术 升 级 及 国 家 重 大 科 技 基 建 建 设 ，带 动 对 真 空 装 备 的 高 品 质 、多 样 化 需 求 提 升 。公 司 是 国 内 唯 一 实 现 集 成 电 路 全工 艺 、先 进 制 程 干 式 真 空 泵 批 量 应 用 的 龙 头 ，凭 借 技 术 、产 能 与 本 土 服 务 优 势 ，覆 盖 主 流 晶 圆 厂 及 顶 尖 科 研 院 所 ， 合 作 关 系 稳 定 。 在 国 际 巨 头 主 导 的 格 局 下 ，公 司 依 托 国 产 替 代红 利 持 续 提 升 份 额 ， 行 业 成 长 动 力 充 足 。 募 投 项 目 主 要 围 绕 主 营 业 务 进 行 的 产 能 扩 张 项 目 。公 司 拟 使 用 募 集 资 金82548.33万 元 ， 主 要 用 于 干 式 真 空 泵 产 业 化 建 设 、 高 端 半 导 体 设 备 扩 产 及 研发 中 心 建 设 、新 一 代 干 式 真 空 泵 及 大 抽 速 干 式 螺 杆 泵 研 发 。项 目 紧 扣 主 营 业 务 ，将 进 一 步 扩 大 核 心 产 品 产 能 、丰 富 产 品 结 构 ，提 升 研 发 创 新 能 力 ，优 化 产 能 区域 布 局 ， 降 低 物 流 成 本 ， 巩 固 市 场 领 先 地 位 ， 具 备 充 分 的 必 要 性 与 可 行 性 。 相关研究 1.【银河北交所】2026年度策略_“小而美”到“强而久”，推动北证高质量发展2.【银河北交所】多因素推动春季躁动，北证或迎新趋势 可 比 公 司 ：可 比 公 司 中 ， 北 方 华 创 、 中 微 公 司 等 企 业 营 业 收 入 及 利 润 规 模 较大 ，而中 科 仪整 体 规 模 相 对 较 小 ，毛 利 率 也 略 低 于 行 业 平 均 水 平。但中 科 仪 作为 国 内 半 导 体 干 式 真 空 泵 细 分 领 域 龙 头 ，公 司 业 绩 近 年 来 呈 现 稳 步 增 长 态 势，凭 借 先 进 制 程 适 配 能 力 、刻 蚀 工 艺 国 产 替 代 突 破 及 主 流 晶 圆 厂 客 户 资 源 ，在 半导 体 设 备 国 产 替 代 进 程 中 有 望 实 现 进 一 步 增 长 。考 虑 到 公 司 在 半 导 体 干 式 真 空泵 、国 家 重 大 科 技 基 础 设 施 真 空 部 件 领 域 的 领 先 地 位 ，叠 加 半 导 体 设 备 自 主 可控 与 高 端 科 研 仪 器 国 产 化 的 政 策 红 利 ， 具 备 长 期 关 注 价 值 。 风 险 提 示 ：技 术 和 产 品 研 发 风 险 ； 市 场 竞 争 加 剧 的 风 险 ； 经 营 业 绩 下 滑 的 风险 。 目录Catalog （一）业绩稳步增长，费用控制良好.........................................................................................................10（二）产能利用率高，下游需求旺盛.........................................................................................................11（三）研发实力突出，产业转化进程快......................................................................................................12 三、半导体产业蓬勃发展，真空核心设备需求释放.......................................................................................15 （一）行业概况.....................................................................................................................................15（二）公司市场地位与公司竞争优势.........................................................................................................18（三）行业特点与发展机遇......................................................................................................................22（四）行业监管体制与相关政策................................................................................................................23 四、募投项目.......................................................................................................................................27 （一）干式真空泵产业化建设项目............................................................................................................27（二）高端半导体设备扩产及研发中心建设项目..........................................................................................29（三）新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目.................................................................................30 六、风险提示.......................................................................................................................................34 一、真空装备领域国内龙头企业 中 科 仪 成 立 于2001年 ， 公 司 是 中 国 领 先 的 半 导 体 制 造 设 备 核 心 部 件 提 供 商 及 真 空 科 学 仪 器 设备 供 应 商 ， 主 营 业 务 为 干 式 真 空 泵 和 真 空 科 学 仪 器 设 备 的 研 发 、 生 产 、 销 售 ， 及 相 关 技 术 服 务 。 公司 产 品 主 要 包 括 用 于 集 成 电 路 晶 圆 制 造 及 光 伏 电 池 等 泛 半 导 体 产 品 制 造 的 干 式 真 空 泵 ， 以 及 面 向 国家 重 大 科 技 基 础 设 施 和 科 研 领 域 的 真 空 科 学 仪 器 设 备 。 公 司 致 力 于 引 领 真 空 技 术 、 支 撑 科 技 创 新 、促 进 产 业 发 展 ， 为 国 家 战 略 新 兴 产 业 发 展 和 重 大 科 技 创 新 体 系 建 设 提 供 支 撑 。 资料来源：公司官网，中国银河证券研究院 公 司 产 品 主 要 包 括 用 于 集 成 电 路 晶 圆 制 造 及 光 伏 电 池 等 泛 半 导 体 产 品 制 造 的 干 式 真 空 泵 ， 以 及面 向 国 家 重 大 科 技 基 础 设 施 和 科 研 领 域 的 真 空 科 学 仪 器 设 备 。公 司 先 后 承 担“863计 划 ”“02专 项 ”“ 国 家 重 点 研 发 计 划 ”“04专 项 ”等 国 家 级 重 大 科 研 专 项/课 题 。公 司 通 过 自 主 研 发 创 新 实 现 了 国 产干 式 真 空 泵 在 集 成 电 路 领 域 的 批 量 应 用 ， 有 效 保 障 了 我 国 集 成 电 路 制 造 设 备 关 键 零 部 件 的 自 主 可 控和 供 应 链 安 全 。 在 真 空 科 学 仪 器 设 备 领 域 ， 公 司 长 期 致 力 于 高 端 科 研 仪 器