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公司代码:688361 深圳中科飞测科技股份有限公司2025年半年度报告 重要提示 一、本公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证半年度报告内容的真实性、准确性、完整性,不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏,并承担个别和连带的法律责任。 二、重大风险提示 报告期内,不存在对公司生产经营产生实质性影响的特别重大风险。公司已在报告中详细描述可能存在的相关风险,敬请查阅“第三节管理层讨论与分析”之“四、风险因素”部分内容。 三、公司全体董事出席董事会会议。 四、本半年度报告未经审计。 五、公司负责人陈鲁、主管会计工作负责人周凡女及会计机构负责人(会计主管人员)周凡女声明:保证半年度报告中财务报告的真实、准确、完整。 六、董事会决议通过的本报告期利润分配预案或公积金转增股本预案无 七、是否存在公司治理特殊安排等重要事项 □适用√不适用 八、前瞻性陈述的风险声明 √适用□不适用本报告所涉及的公司未来计划、发展战略等前瞻性陈述,不构成公司对投资者的实质承诺,请投资者注意投资风险。 九、是否存在被控股股东及其他关联方非经营性占用资金情况 十、是否存在违反规定决策程序对外提供担保的情况 否十一、是否存在半数以上董事无法保证公司所披露半年度报告的真实性、准确性和完整性否 十二、其他 □适用√不适用 目录 第一节释义.........................................................................................................................................4第二节公司简介和主要财务指标.....................................................................................................7第三节管理层讨论与分析...............................................................................................................10第四节公司治理、环境和社会.......................................................................................................33第五节重要事项...............................................................................................................................35第六节股份变动及股东情况...........................................................................................................77第七节债券相关情况.......................................................................................................................84第八节财务报告...............................................................................................................................85 备查文件目录载有公司负责人、主管会计工作负责人、会计机构负责人(会计主管人员)签名并盖章的财务报表。报告期内公开披露过的所有公司文件的正本及公告的原稿。 第一节释义 在本报告书中,除非文义另有所指,下列词语具有如下含义: 第二节公司简介和主要财务指标 一、公司基本情况 二、联系人和联系方式 三、信息披露及备置地点变更情况简介 四、公司股票/存托凭证简况 (一)公司股票简况 (二)公司存托凭证简况 □适用√不适用 五、其他有关资料 □适用√不适用 六、公司主要会计数据和财务指标 (一)主要会计数据 √适用□不适用 报告期内,公司营业收入为70,217.39万元,同比增长51.39%,主要系受益于公司核心技术的不断突破和产品种类的日趋丰富,以及国产替代需求的快速发展和公司市场认可度的稳步提升等因素积极影响,公司客户群体和客户订单持续增长,有力推动了公司经营业绩增长。 报告期内,归属于上市公司股东的净利润为-1,835.43万元,归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润为-11,033.84万元,亏损幅度有不同程度的收窄,主要系公司营收规模的持续稳定增长,以及研发投入占营业收入的比例同比有所下降等因素影响所致。 报告期内,经营活动产生的现金流量净额为-44,236.22万元,较上年同期减少34,736.68万元,主要系随着公司业务规模持续快速提升带动原材料等相关采购支出规模增长,同时,为了巩固并提升技术实力,公司较高水平研发投入等因素导致短期内公司经营活动现金流出规模大于流入规模所致。 报告期内,公司每股收益及加权平均净资产收益率指标均有不同程度的改善,主要原因系本期盈利水平同比呈正向变动趋势所致。 七、境内外会计准则下会计数据差异 □适用√不适用 八、非经常性损益项目和金额 √适用□不适用 对公司将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》未列举的项目认定为非经常性损益项目且金额重大的,以及将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》中列举的非经常性损益项目界定为经常性损益的项目,应说明原因□适用√不适用 九、存在股权激励、员工持股计划的公司可选择披露扣除股份支付影响后的净利润 √适用□不适用 十、非企业会计准则业绩指标说明 □适用√不适用 第三节管理层讨论与分析 一、报告期内公司所属行业及主营业务情况说明 (一)公司所属行业情况 半导体设备行业作为支撑半导体产业发展的上游行业之一,其市场发展与半导体产业景气度紧密相关。根据2024年12月SEMI预测报告,预计2024年全球半导体每月晶圆(WPM)产能同比增长6%,2025年进一步增长7%至3,370万片的历史新高(以200mm当量计算)。 在经历了美国至日本,日本至韩国和中国台湾的两次产业转移后,目前全球半导体产业正向中国大陆加速转移,中国成为全球最大的集成电路生产和消费国。根据SEMI预测报告,预计2024年中国大陆晶圆产能同比增长15%至885万片/月,2025年将继续增长14%至1,010万片/月,中国大陆晶圆厂的产能增速居全球之首。受益于国内晶圆厂的产能持续扩张,中国大陆的半导体设备行业正处于快速发展期,根据SEMI报告,2024年度中国大陆地区半导体设备销售额达到495.5亿美元,同比增长35.2%,自2020年以来连续五年成为全球第一大半导体设备市场。 半导体质量控制贯穿集成电路制造的关键环节,对芯片生产的良品率的影响至关重要。根据VLSI数据统计,2024年全球半导体检测和量测设备市场规模达到143.5亿美元,在全球半导体 制造设备占比中半导体检测和量测设备占比约为13%,仅次于刻蚀设备、薄膜沉积设备和光刻设备。随着制程越来越先进、工艺环节不断增加,行业发展对工艺控制水平提出了更高的要求,制造过程中检测设备与量测设备的技术要求及需求量持续提升。 近年来,得益于中国半导体全行业的蓬勃发展和国家近年来对半导体产业持续的政策扶持,行业下游晶圆厂在关键工艺节点上持续推进,多家国内领先的半导体制造企业进入产能扩张期,中国大陆半导体检测与量测设备的市场处于高速发展期。根据VLSI数据统计,2020年至2024年中国大陆半导体检测与量测设备市场规模的年均复合增长率为27.73%。 另一方面,目前全球半导体设备市场仍处于寡头垄断局面,以应用材料、阿斯麦、拉姆研究、东京电子、科磊半导体等为代表的国际知名半导体设备企业占据了全球市场的主要份额。近年来,由于全球供应链的紧张和国际贸易摩擦,国内半导体行业越来越意识到半导体设备国产化的重要性,产业链上下游的协同发展更加紧密。凭借区位、定制化服务以及供应稳定性等优势,未来国内半导体设备厂商的市场份额将有望大幅提升。 (二)主营业务情况 1、公司主营业务概述 报告期内,中科飞测专注于高端半导体质量控制领域,为半导体行业客户提供涵盖设备产品、智能软件产品和相关服务的全流程良率管理解决方案。 在设备产品方面,公司通过在光学检测技术、大数据检测算法和自动化软件领域的自主研发和不断创新,在多项半导体质量控制设备关键核心技术上达到国际领先水平,形成了集成电路制造过程中所有关键工艺环节所需的主要种类设备产品组合,使得公司能够为不同类型的集成电路客户提供全面覆盖的检测和量测设备供应保障,支持客户的量产工艺需求和未来工艺研发需求; 在智能软件产品方面,公司将人工智能和大数据技术应用到半导体质量控制数据上,形成了一系列提升高端半导体制造良率的软件产品,这些软件产品能够在检测和量测设备的基础上进一 步为客户在良率管理中赋能,形成完整的质量控制设备和智能软件相结合的良率管理闭环,为客户实现最大化的质量控制对良率管理的提升效果。 受益于公司在设备和软件产品组合上的完整战略布局,以及在核心技术上的持续研发突破、在产品迭代升级上的快速推进,在客户服务上的全面覆盖和品牌口碑上的快速提升等方面的综合推动下,公司得以紧跟客户的工艺发展需求,为不同类型的集成电路客户提供不同的产品组合和服务。公司客户群体已广泛覆盖逻辑、存储、功率半导体、MEMS等前道制程企业,碳化硅、氮化镓、砷化镓等化合物半导体企业,晶圆级封装和2.5D/3D封装等先进封装企业,大硅片等半导体材料企业以及刻蚀设备、薄膜沉积设备、CMP设备等各类制程设备企业。公司为上述客户提供的产品组合包括了全部种类的光学检测和量测设备以及软件。 下图中纵向为中科飞测所布局的设备和软件产品种类及该种类设备的市场空间占比,横向为不同类型的集成电路客户: 公司九大系列设备和三大系列软件产品组合构成了全方位的良率管理解决方案。 九大系列设备面向全部种类集成电路客户需求,其中七大系列设备已经批量量产并在国内头部客户产线应用,技术指标全面满足国内主流客户工艺需求,公司各系列产品市占率稳步快速增长;另外两大系列设备已完成样机研发,并已批量出货至多家国内头部客户开展产线工艺验证和应用开发。 公司开发的三大系列智能软件已全部应用在国内头部客户,并不断提高在不同应用领域的覆盖度,结合质量控制设备产品组合,使得客户能够准确测量并且集中管理和分析芯片制造过程中产生的所有检测、量测、电性测试等良率相关数据,有效地提升半导体制造良率和产品性能。 2、公司主要产品情况 报告期内,公司专注于高端半导体质量控制领域,主要产品涵盖设备产品、智能软件产品和相关服务的全流程良率管理解决方案。 (1)检测设备 公司检测设备的主要功能系检测晶圆表面或电路结构中是否出现异质情况,如颗粒污染、表面划伤、开短路等对芯片工艺性能具有不良影响的特征性结构缺陷,具体情况如下: 公司量测设备的主要功能系对被观测的晶圆电路上的结构尺寸和材料特性做出量化描述,如薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌、套刻精度等物理性参数的量测。在精密加工领域,量测设备主要功能是精密结构件的三维尺寸量测,具体情况如下: (3)良率管理软件 公司将人工智能和大数据技术应用到半导体质量控制数据上,形成了一系列提升高端半导体制造良率的软件产品,这些软件产品能够在检测和量测设备的基础上进一步为客户在良率