全年业绩续创新高，打造刻蚀、薄膜、检测三大增长引擎

公司研究●证券研究报告 公司快报 中微公司（688012.SH） 电子|半导体设备Ⅲ投资评级买入-A(维持)股价(2024-03-22)158.81元 全年业绩续创新高，打造刻蚀/薄膜/检测三大增长引擎 总市值（百万元）98,347.77流通市值（百万元）98,347.77总股本（百万股）619.28流通股本（百万股）619.2812个月价格区间186.51/113.50 投资要点 2024年3月21日，公司ICP刻蚀设备PrimoNanova®系列第500台反应腔顺利付运。此前，公司发布了《2023年年度报告》。 刻蚀设备龙头全年业绩续创新高，累计超四千个反应腔在客户产线量产 2023年公司实现营收62.64亿元，同比增长32.15%；归母净利润17.86亿元，同比增长52.67%；扣非归母净利润11.91亿元，同比增长29.58%；毛利率45.83%，同比提升0.09个百分点；净利率28.48%，同比提升3.84个百分点；新增订单约83.6亿元，同比增长约32.3%。 单季度看，23Q4公司实现营收22.22亿元，同比增长30.97%，环比增长46.71%；归母净利润6.26亿元，同比增长66.14%，环比增长299.11%；扣非归母净利润4.58亿元，同比增长66.13%，环比增长113.18%。 截至2023年底，公司累计有4067个反应腔在客户124条生产线全面量产，其中CCP反应腔2857个，ICP反应腔648个，MOCVD反应腔544个，LPCVD反应腔18个。 资料来源：聚源 升幅%1M3M12M相对收益20.04-1.7931.03绝对收益21.624.4418.8 涵盖国内95%以上刻蚀应用需求，超高深宽比技术持续精进 2023年公司刻蚀设备实现营收约47.03亿元，同比增长约49.43%，营收占比约75.09%；新增订单约69.5亿元，同比增长约60.1%，约占新增订单总额的83.13%。公司刻蚀设备可涵盖国内95%以上刻蚀应用需求。 分析师孙远峰SAC执业证书编号：S0910522120001sunyuanfeng@huajinsc.cn分析师王海维 SAC执业证书编号：S0910523020005wanghaiwei@huajinsc.cn CCP刻蚀设备：2023年公司CCP刻蚀设备交付超400个反应腔，超270个反应腔进入5nm及以下产线。逻辑芯片方面，SD-RIE已在国内领先的逻辑芯片制造客户开展现场验证，同时公司也与多家逻辑芯片制造客户达成现场评估意向；验证成功后公司将实现逻辑芯片CCP刻蚀工艺全覆盖。存储芯片方面，针对超高深宽比刻蚀需求，公司积极布局超低温刻蚀技术的同时，自研的大功率400kHz偏压射频的UD-RIE已在产线验证出具有刻蚀≥60:1深宽比结构的能力。 相关报告 中微公司：刻蚀龙头全年业绩高增，在手订单充沛未来可期-华金证券+电子+中微公司+公司快报2024.1.17 中微公司：持续研发投入巩固技术护城河，多款新品处于验证阶段-华金证券+电子+中微公司+公司快报2023.8.27 ICP刻蚀设备：2023年Nanova单台机订单同比增长超100%，至2024年3月21日，Nanova系列第500台反应腔顺利付运。Twin-Star累计安装机台2023年增长超100%。适用于更高深宽比结构刻蚀的NanovaVEHP已获批量重复订单。兼顾深宽比和均匀性的NanovaLUX已付运至多个客户的产线上开始认证。深硅刻蚀设备在先进封装等成熟市场持续获得重复订单，在12英寸的3D芯片的硅通孔刻蚀工艺上成功验证，并进入欧洲MEMS生产线量产。 中微公司：性能深度与应用广度齐升，刻蚀龙 头 发 展 动 能 强 劲-业 绩 点 评_中 微 公 司2023.4.6 此外，晶圆边缘Bevel刻蚀设备研发完成，预计2024年进入客户验证。 MOCVD设备稳居主导地位，薄膜沉积设备新品迭出助成长 MOCVD设备：公司在全球氮化镓基LED照明用MOCVD设备市场的份额超80%，累计交付超500个反应腔。Micro-LED用的MOCVD设备已付运样机至国内客户开展生产验证。SiC功率器件用的外延生产设备预计24Q1开展客户端生产验证。 薄膜沉积设备：2023年公司新增4款薄膜沉积设备，其中三款设备已获得客户认证，并取得重复性订单；预计2024年推出超10款薄膜沉积设备。公司钨系列薄膜沉积产品可覆盖存储芯片所有钨应用，并已全部通过客户现场验证。应用于高端存储和逻辑芯片的ALD氮化钛设备的实验室结果显示设备的薄膜均一性和产能均达到世界领先水平。硅和锗硅外延EPI设备已进入工艺验证和客户验证阶段。 投资建议：鉴于公司刻蚀设备验证和交付顺利，在建项目带来一定折旧成本，我们调整原先对公司24/25年的业绩预测。预计2024年至2026年，公司营收分别为83.68/111.63/145.92亿元（24/25年原先预测值为82.65/104.14亿元），增速分别为33.6%/33.4%/30.7%；归母净利润分别为20.33/26.20/34.14亿元(24/25年原先预测值为21.22/26.99亿元)，增速分别为13.9%/28.8%/30.3%；对应PE分别为48.4/37.5/28.8倍。公司实现了刻蚀设备全面覆盖，薄膜设备领域侧重于导体/半导体层的薄膜沉积设备，投资上海睿励布局检测设备，三大产品线持续注入强劲增长动力。持续推荐，维持“买入”评级。 风险提示：新技术、新工艺、新产品无法如期产业化风险，市场竞争加剧风险，晶圆厂产能扩充进度不及预期的风险，系统性风险等。 财务报表预测和估值数据汇总 公司评级体系 收益评级： 买入—未来6个月的投资收益率领先沪深300指数15%以上；增持—未来6个月的投资收益率领先沪深300指数5%至15%；中性—未来6个月的投资收益率与沪深300指数的变动幅度相差-5%至5%；减持—未来6个月的投资收益率落后沪深300指数5%至15%；卖出—未来6个月的投资收益率落后沪深300指数15%以上； 风险评级： A—正常风险，未来6个月投资收益率的波动小于等于沪深300指数波动；B—较高风险，未来6个月投资收益率的波动大于沪深300指数波动； 分析师声明 孙远峰、王海维声明，本人具有中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格，勤勉尽责、诚实守信。本人对本报告的内容和观点负责，保证信息来源合法合规、研究方法专业审慎、研究观点独立公正、分析结论具有合理依据，特此声明。 本公司具备证券投资咨询业务资格的说明 华金证券股份有限公司（以下简称“本公司”）经中国证券监督管理委员会核准，取得证券投资咨询业务许可。本公司及其投资咨询人员可以为证券投资人或客户提供证券投资分析、预测或者建议等直接或间接的有偿咨询服务。发布证券研究报告，是证券投资咨询业务的一种基本形式，本公司可以对证券及证券相关产品的价值、市场走势或者相关影响因素进行分析，形成证券估值、投资评级等投资分析意见，制作证券研究报告，并向本公司的客户发布。 免责声明： 本报告仅供华金证券股份有限公司（以下简称“本公司”）的客户使用。本公司不会因为任何机构或个人接收到本报告而视其为本公司的当然客户。 本报告基于已公开的资料或信息撰写，但本公司不保证该等信息及资料的完整性、准确性。本报告所载的信息、资料、建议及推测仅反映本公司于本报告发布当日的判断，本报告中的证券或投资标的价格、价值及投资带来的收入可能会波动。在不同时期，本公司可能撰写并发布与本报告所载资料、建议及推测不一致的报告。本公司不保证本报告所含信息及资料保持在最新状态，本公司将随时补充、更新和修订有关信息及资料，但不保证及时公开发布。同时，本公司有权对本报告所含信息在不发出通知的情形下做出修改，投资者应当自行关注相应的更新或修改。任何有关本报告的摘要或节选都不代表本报告正式完整的观点，一切须以本公司向客户发布的本报告完整版本为准。 在法律许可的情况下，本公司及所属关联机构可能会持有报告中提到的公司所发行的证券或期权并进行证券或期权交易，也可能为这些公司提供或者争取提供投资银行、财务顾问或者金融产品等相关服务，提请客户充分注意。客户不应将本报告为作出其投资决策的惟一参考因素，亦不应认为本报告可以取代客户自身的投资判断与决策。在任何情况下，本报告中的信息或所表述的意见均不构成对任何人的投资建议，无论是否已经明示或暗示，本报告不能作为道义的、责任的和法律的依据或者凭证。在任何情况下，本公司亦不对任何人因使用本报告中的任何内容所引致的任何损失负任何责任。 本报告版权仅为本公司所有，未经事先书面许可，任何机构和个人不得以任何形式翻版、复制、发表、转发、篡改或引用本报告的任何部分。如征得本公司同意进行引用、刊发的，需在允许的范围内使用，并注明出处为“华金证券股份有限公司研究所”，且不得对本报告进行任何有悖原意的引用、删节和修改。 华金证券股份有限公司对本声明条款具有惟一修改权和最终解释权。 风险提示： 报告中的内容和意见仅供参考，并不构成对所述证券买卖的出价或询价。投资者对其投资行为负完全责任，我公司及其雇员对使用本报告及其内容所引发的任何直接或间接损失概不负责。 华金证券股份有限公司 办公地址：上海市浦东新区杨高南路759号陆家嘴世纪金融广场30层北京市朝阳区建国路108号横琴人寿大厦17层深圳市福田区益田路6001号太平金融大厦10楼05单元 电话：021-20655588网址：www.huajinsc.cn