全年业绩续创新高，打造刻蚀、薄膜、检测三大增长引擎

2024年03月24日 公司研究●证券研究报告 中微公司（688012.SH） 公司快报 全年业绩续创新高，打造刻蚀/薄膜/检测三大增长引擎投资要点2024年3月21日，公司ICP刻蚀设备PrimoNanova®系列第500台反应腔顺利付运。此前，公司发布了《2023年年度报告》。 刻蚀设备龙头全年业绩续创新高，累计超四千个反应腔在客户产线量产 2023年公司实现营收62.64亿元，同比增长32.15%；归母净利润17.86亿元，同比增长52.67%；扣非归母净利润11.91亿元，同比增长29.58%；毛利率45.83%，同比提升0.09个百分点；净利率28.48%，同比提升3.84个百分点；新增订单约83.6亿元，同比增长约32.3%。单季度看，23Q4公司实现营收22.22亿元，同比增长30.97%，环比增长46.71%；归母净利润6.26亿元，同比增长66.14%，环比增长299.11%；扣非归母净利润4.58亿元，同比增长66.13%，环比增长113.18%。截至2023年底，公司累计有4067个反应腔在客户124条生产线全面量产，其中CCP反应腔2857个，ICP反应腔648个，MOCVD反应腔544个，LPCVD反应腔18个。 涵盖国内95%以上刻蚀应用需求，超高深宽比技术持续精进 2023年公司刻蚀设备实现营收约47.03亿元，同比增长约49.43%，营收占比约75.09%；新增订单约69.5亿元，同比增长约60.1%，约占新增订单总额的83.13%。公司刻蚀设备可涵盖国内95%以上刻蚀应用需求。CCP刻蚀设备：2023年公司CCP刻蚀设备交付超400个反应腔，超270个反应腔进入5nm及以下产线。逻辑芯片方面，SD-RIE已在国内领先的逻辑芯片制造客户开展现场验证，同时公司也与多家逻辑芯片制造客户达成现场评估意向；验证成功后公司将实现逻辑芯片CCP刻蚀工艺全覆盖。存储芯片方面，针对超高深宽比刻蚀需求，公司积极布局超低温刻蚀技术的同时，自研的大功率400kHz偏压射频的UD-RIE已在产线验证出具有刻蚀≥60:1深宽比结构的能力。ICP刻蚀设备：2023年Nanova单台机订单同比增长超100%，至2024年3月21日，Nanova系列第500台反应腔顺利付运。Twin-Star累计安装机台2023年增长超100%。适用于更高深宽比结构刻蚀的NanovaVEHP已获批量重复订单。兼顾深宽比和均匀性的NanovaLUX已付运至多个客户的产线上开始认证。深硅刻蚀设备在先进封装等成熟市场持续获得重复订单，在12英寸的3D芯片的硅通孔刻蚀工艺上成功验证，并进入欧洲MEMS生产线量产。此外，晶圆边缘Bevel刻蚀设备研发完成，预计2024年进入客户验证。 MOCVD设备稳居主导地位，薄膜沉积设备新品迭出助成长 电子|半导体设备Ⅲ 投资评级买入-A(维持)股价(2024-03-22)158.81元交易数据总市值（百万元）98,347.77流通市值（百万元）98,347.77总股本（百万股）619.28流通股本（百万股）619.2812个月价格区间186.51/113.50一年股价表现 资料来源：聚源 升幅%1M3M12M相对收益20.04-1.7931.03绝对收益21.624.4418.8 分析师孙远峰 SAC执业证书编号：S0910522120001sunyuanfeng@huajinsc.cn 分析师王海维 SAC执业证书编号：S0910523020005wanghaiwei@huajinsc.cn 相关报告中微公司：刻蚀龙头全年业绩高增，在手订单充沛未来可期-华金证券+电子+中微公司+公司快报2024.1.17中微公司：持续研发投入巩固技术护城河，多款新品处于验证阶段-华金证券+电子+中微公司+公司快报2023.8.27中微公司：性能深度与应用广度齐升，刻蚀龙头发展动能强劲-业绩点评_中微公司2023.4.6 MOCVD设备：公司在全球氮化镓基LED照明用MOCVD设备市场的份额超80%，累计交付超500个反应腔。Micro-LED用的MOCVD设备已付运样机至国内客户开展生产验证。SiC功率器件用的外延生产设备预计24Q1开展客户端生产验证。 薄膜沉积设备：2023年公司新增4款薄膜沉积设备，其中三款设备已获得客户认证，并取得重复性订单；预计2024年推出超10款薄膜沉积设备。公司钨系列薄膜沉积产品可覆盖存储芯片所有钨应用，并已全部通过客户现场验证。应用于高端存储和逻辑芯片的ALD氮化钛设备的实验室结果显示设备的薄膜均一性和产能均达到世界领先水平。硅和锗硅外延EPI设备已进入工艺验证和客户验证阶段。 投资建议：鉴于公司刻蚀设备验证和交付顺利，在建项目带来一定折旧成本，我们调整原先对公司24/25年的业绩预测。预计2024年至2026年，公司营收分别为83.68/111.63/145.92亿元（24/25年原先预测值为82.65/104.14亿元），增速分别为33.6%/33.4%/30.7%；归母净利润分别为20.33/26.20/34.14亿元(24/25年原先预测值为21.22/26.99亿元)，增速分别为13.9%/28.8%/30.3%；对应PE分别为48.4/37.5/28.8倍。公司实现了刻蚀设备全面覆盖，薄膜设备领域侧重于导体/半导体层的薄膜沉积设备，投资上海睿励布局检测设备，三大产品线持续注入强劲增长动力。持续推荐，维持“买入”评级。 风险提示：新技术、新工艺、新产品无法如期产业化风险，市场竞争加剧风险，晶圆厂产能扩充进度不及预期的风险，系统性风险等。 财务数据与估值会计年度 2022A 2023A 2024E 2025E 2026E 营业收入(百万元) 4,740 6,264 8,368 11,163 14,592 YoY(%) 52.5 32.1 33.6 33.4 30.7 归母净利润(百万元) 1,170 1,786 2,033 2,620 3,414 YoY(%) 15.7 52.7 13.9 28.8 30.3 毛利率(%) 45.7 45.8 46.0 46.2 46.4 EPS(摊薄/元) 1.89 2.88 3.28 4.23 5.51 ROE(%) 7.5 10.0 10.2 11.6 13.2 P/E(倍) 84.1 55.1 48.4 37.5 28.8 P/B(倍) 6.4 5.5 5.0 4.4 3.8 净利率(%) 24.7 28.5 24.3 23.5 23.4 数据来源：聚源、华金证券研究所 财务报表预测和估值数据汇总 资产负债表(百万元)利润表(百万元) 会计年度2022A2023A2024E2025E2026E会计年度2022A2023A2024E2025E2026E 流动资产 14655 15087 18902 23281 28912 营业收入 4740 6264 8368 11163 14592 现金 7326 7090 8241 10611 13905 营业成本 2572 3393 4519 6006 7821 应收票据及应收账款 713 1213 1402 1788 2382 营业税金及附加 15 12 17 20 25 预付账款 35 112 141 197 245 营业费用 409 492 636 804 992 存货 3402 4260 6010 7190 8453 管理费用 236 344 418 536 613 其他流动资产 3180 2411 3108 3496 3928 研发费用 605 817 1071 1451 1824 非流动资产 5380 6438 7062 7762 8459 财务费用 -151 -87 -110 -141 -193 长期投资 979 1020 1180 1340 1500 资产减值损失 -26 -21 -8 0 0 固定资产 336 1988 2382 2836 3248 公允价值变动收益 63 -203 -100 -60 -20 无形资产 909 1193 1227 1257 1281 投资净收益 74 787 600 480 300 其他非流动资产 3155 2238 2273 2329 2430 营业利润 1263 1980 2308 2907 3789 资产总计 20035 21526 25964 31043 37371 营业外收入 0 33 0 0 0 流动负债 3919 3624 6031 8493 11411 营业外支出 5 3 0 0 0 短期借款 0 0 0 0 0 利润总额 1259 2010 2308 2907 3789 应付票据及应付账款 960 1305 1707 2296 2918 所得税 91 226 277 291 379 其他流动负债 2959 2319 4323 6197 8493 税后利润 1168 1784 2031 2617 3411 非流动负债 633 79 79 79 79 少数股东损益 -2 -2 -2 -3 -4 长期借款 500 0 0 0 0 归属母公司净利润 1170 1786 2033 2620 3414 其他非流动负债 133 79 79 79 79 EBITDA 1201 1960 2283 2865 3704 负债合计 4552 3702 6109 8572 11490 少数股东权益 -1 -3 -5 -8 -12 主要财务比率 股本 616 619 619 619 619 会计年度2022A2023A2024E2025E2026E 资本公积 12647 13317 13317 13317 13317 成长能力 留存收益 2218 3880 5912 8528 11939 营业收入(%) 52.5 32.1 33.6 33.4 30.7 归属母公司股东权益 15484 17826 19860 22479 25893 营业利润(%) 11.4 56.8 16.6 26.0 30.3 负债和股东权益 20035 21526 25964 31043 37371 归属于母公司净利润(%) 15.7 52.7 13.9 28.8 30.3 获利能力 现金流量表(百万元) 毛利率(%) 45.7 45.8 46.0 46.2 46.4 会计年度2022A2023A2024E2025E2026E 净利率(%) 24.7 28.5 24.3 23.5 23.4 经营活动现金流 618 -977 1880 2749 3801 ROE(%) 7.5 10.0 10.2 11.6 13.2 净利润 1168 1784 2031 2617 3411 ROIC(%) 6.2 8.7 9.2 10.5 11.9 折旧摊销 129 162 205 240 283 偿债能力 财务费用 -151 -87 -110 -141 -193 资产负债率(%) 22.7 17.2 23.5 27.6 30.7 投资损失 -74 -787 -600 -480 -300 流动比率 3.7 4.2 3.1 2.7 2.5 营运资金变动 -604 -2589 254 453 580 速动比率 2.8 2.8 1.9 1.7 1.6 其他经营现金流 150 541 100 60 20 营运能力 投资活动现金流 -2887 1827 -329 -520 -700 总资产周转率 0.3 0.3 0.4 0.4 0.4 筹资活动现金流 482 223 -400 141 193 应收账款周转率 7.2 6.5 6.4 7.0 7.0 应付账款周转率 3.0 3.0 3.0 3.0 3.0 每股指标（元） 估值比率 每股收益(最新摊薄) 1.89 2.88 3.28 4.23 5.51 P/E 84.1 55.1 48.4 37.5 28.8 每股经营现金流(最新摊薄) 1.00 -1.58 3.04 4.44 6.14 P/B 6.4 5.5 5.0