电子行业周报：荷兰设备出口管制落地，成熟制程扩产无虞

荷兰政府公布半导体设备出口管制新条例。当地时间6月30日，荷兰政府正式颁布有关先进半导体设备的额外出口管制的新条例，管制范围内的先进半导体制造设备出口将需要申请许可。由于荷兰设备厂ASML是全球领先的光刻机制造厂商，本次新规对于光刻机的限制或将影响到国内晶圆厂的扩产进度。新规将满足以下条件的光刻机纳入出口管制范围：1、光源波长小于 193nm ；2、光源波长大于等于 193nm ，且a.分辨率小于等于 45nm ；b.套刻精度小于 1.5nm 。 本次新规将于2023年9月1日生效。 ASML解读：NXT:2000i以下型号光刻机不受限。对于该出口管制新条例，荷兰光刻机龙头ASML当天发布公告，认为受限的光刻机将仅限于TWINSCAN NXT:2000i及更先进的浸没式光刻机。据ASML官网公布的参数，其主要型号的浸没式光刻机均符合波长小于等于 193nm ，且分辨率小于等于 45nm （实际为 38nm ）的限制，但NXT:1980Di及更低端的型号套刻精度（single）大于1.5nm ，因此ASML认为出口管制新规将只影响NXT:2000i及更高端型号光刻机的销售。在本次公告中ASML强调，对DUV光刻机的限制与其2023年3月公告预期的范围一致，因此本次新规并未扩大限制范围，预计将不会对其2023年财务产生重大影响。基于此我们认为本次荷兰出口管制新规的落地符合预期，而NXT:2000i以下型号光刻机若仍可顺利采购，将有利于国内成熟制程的扩产推进。 大基金拟参与华虹科创板IPO战投，半导体制造国产化有望提速。6月28日，华虹半导体发布公告，宣布国家大基金二期将作为战略投资人参与公司人民币股份发行，拟认购不超过30亿元，不超过公司回A发行后总股本4.15%。大基金二期原持有华虹无锡29%股权，而华虹的科创板IPO拟募集资金共计180亿元，投向华虹无锡扩产项目、8英寸厂优化升级项目以及特色工艺技术创新研发项目。本次增资体现国有资本对本土晶圆厂扩产的持续支持，半导体制造国产化有望提速。 投资建议：荷兰半导体设备出口管制新规落地，相较ASML前期公告并未升级限制范围，成熟制程制造所需光刻机仍有望持续供应。国家大基金二期亦通过增资华虹继续支持国产晶圆厂扩产。我们看好半导体制造国产化提速，以及下游扩产推进带来的半导体设备、半导体零部件投资机遇。建议关注：1）设备：中微公司、拓荆科技、北方华创、华海清科、芯源微等；2）零部件：新莱应材、富创精密、英杰电气等；3）晶圆厂：中芯国际、华虹半导体等。 风险提示：半导体设备市场周期性波动；地缘政治冲突加剧；国产化验证不及预期。 重点公司盈利预测、估值与评级 1荷兰设备出口管制落地，成熟制程扩产无虞 1.1荷兰政府公布半导体设备出口管制新条例 当地时间6月30日，荷兰政府正式颁布了有关先进半导体设备的额外出口管制的新条例，管制范围内的先进半导体制造设备出口将需要申请许可。 由于荷兰设备厂ASML是全球领先的光刻机制造厂商，本次新规对于光刻机的限制或将影响到国内晶圆厂的扩产进度。新规将满足以下条件的光刻机纳入出口管制范围： 1、光源波长小于 193nm2 、光源波长大于等于 193nm ：a.分辨率小于等于 45nm ；和b.套刻精度小于 1.5nm 本次新规将于2023年9月1日生效。 表1：荷兰设备出口管制新条例限制出口的产品 1.2ASML解读：NXT:2000i以下型号光刻机不受限 对于上文出口管制新条例，荷兰光刻机龙头ASML当天发布公告，认为受限的光刻机将仅限于TWINSCAN NXT:2000i及更先进的浸没式光刻机。 据ASML官网公布的参数，其主要型号的浸没式光刻机均符合波长小于等于193nm ，且分辨率小于等于 45nm （实际为 38nm ）的限制，但NXT:1980Di及更低端的型号套刻精度（single）大于1 .5nm ，因此ASML认为出口管制新规将只影响NXT:2000i及更高端型号光刻机的销售。 在本次公告中，ASML强调，EUV光刻机在此前就已经受到出口限制，而对DUV光刻机的限制与其2023年3月公告预期的范围一致，因此本次新规并未扩大限制范围，预计将不会对其2023年财务产生重大影响。 基于此我们认为本次荷兰出口管制新规的落地符合预期，而NXT:2000i以下型号光刻机若仍可顺利采购，将有利于国内成熟制程的扩产推进和半导体制造国产化。 表2：ASML主要型号浸没式光刻机参数 1.3大基金拟参与华虹科创板IPO战投，半导体制造国产化有望提速 6月28日，华虹半导体发布公告，宣布国家大基金二期将作为战略投资人参与公司人民币股份发行，拟认购不超过30亿元，不超过公司回A发行后总股本4.15%。 大基金二期原持有华虹无锡29%股权，而华虹的科创板IPO拟募集资金共计180亿元，投向华虹无锡扩产项目、8英寸厂优化升级项目以及特色工艺技术创新研发项目。本次增资体现国有资本对本土晶圆厂扩产的持续支持，半导体制造国产化有望提速。 2投资建议 荷兰半导体设备出口管制新规落地，相较ASML前期公告并未升级限制范围，成熟制程制造所需光刻机仍有望持续供应。国家大基金二期亦通过增资华虹继续支持国产晶圆厂扩产。我们看好半导体制造国产化提速，以及下游扩产推进带来的半导体设备、半导体零部件投资机遇。 重点关注：1）设备：中微公司、拓荆科技、北方华创、华海清科、芯源微等； 2）零部件：新莱应材、富创精密、英杰电气等；3）晶圆厂：中芯国际、华虹半导体等。 表3：重点公司盈利预测、估值与评级 3风险提示 半导体设备市场周期性波动：半导体设备市场具有周期性，若下行周期持续时间超预期、周期回暖不及预期，可能对板块公司业绩造成不利影响。 地缘政治冲突加剧：当前国内半导体设备进口比例较大，若地缘政治冲突加剧，可能对国内晶圆厂扩产造成不利影响，从而影响上游设备及零部件需求。 国产化验证不及预期：半导体设备及关键零部件研发难度较大，若研发、验证进度不及预期，将会对板块公司业绩造成不利影响。