敬请参阅最后一页特别声明 -1- 证券研究报告 2023年4月3日 行业研究 日本限制半导体设备出口对我国半导体设备行业影响 ——半导体设备行业跟踪 机械行业 事项：根据日经中文网，日本政府3月31日宣布，将高端半导体制造设备等23品类加入到出口管制对象，23品类产品包括极紫外线(EUV)相关产品的制造设备和使存储元件立体堆叠的蚀刻设备等，Tokyo Electron、SCREEN控股和Nikon等约10家日本企业被认为将受到影响。 一、日本在全球半导体设备中占据很重要的行业地位，但不是主导地位。 1、日本厂商在全球半导体设备市场中约占28%，仅次于美国。根据我们对全球主要半导体设备企业2021自然年收入统计，日本设备厂商占全球半导体设备市场的份额达到28%，仅次于美国厂商市占率46%，高于欧洲市占率21%。 2、日本拥有一批知名半导体设备企业。TEL22财年收入164亿美元（居全球第四，第三位LamResearch172亿美元），DNS收入34亿美元，Advantest 34亿美元，Disco 21亿美元，东京精密11亿美元。 3、前道设备：日本在涂胶显影、介质刻蚀、清洗设备、光刻机、热处理、CVD、量测、CMP等多个设备环节处于十分重要的行业地位。 （1）涂胶显影：根据东京电子（TEL）公告，Tel涂胶显影设备的21年销售额全球市占率89%； （2）干法刻蚀：TEL21年销售额市占率29%；日立高科技也有蚀刻系统9000系列； （3）清洗设备：TEL21年销售额市占率25%，DNS市占率更高； （4）ALD：TEL21年销售额市占率29%，KE也有炉管ALD； （5）CVD：TEL21年销售额市占率44%； （6）氧化扩散炉管：TEL21年销售额市占率51%； （7）CMP：Ebara是全球第二大供应商； （8）量测：日立高科技处于CD-SEM垄断地位，LASERTEC处于EUV掩膜版垄断地位； （9）光刻机：Nikon、佳能也是全球重要的光刻机供应商，尼康覆盖型号较全。 4、封测设备：探针台、划片机、测试机等设备处于全球垄断地位。 （1）探针台：TEL21年销售额市占率47%，东京精密也是核心供应商； （2）划片、减薄：Disco处于绝对垄断地位； （3）测试设备：Advantest与美国泰瑞达平分秋色。 5、晶圆生长与加工设备：切磨抛设备主要来自日本厂商。 二、日本厂商来自中国大陆的收入占比普遍在20%-30%上下，出口限制或将影响日本厂商销售额。 1、东京电子：22自然年第四季度来自中国大陆的收入占比22%； 2、爱德万：22自然年第四季度来自中国大陆的收入占比33%； 3、Disco：22自然年第四季度来自亚洲地区收入来源约占2/3； 4、迪恩士：22自然年第四季度来自中国大陆的收入占比11%，预计下一季度升至25%。 三、日本对半导体设备出口限制升级，国产半导体设备厂商将迎难而上。 在日本厂商垄断程度较高的设备环节中，国产设备厂商均已有布局： 1、 涂胶显影：芯源微、盛美上海； 2、 CCP刻蚀：中微公司； 3、 清洗设备：盛美上海、芯源微、北方华创等； 4、 CD-SEM：东方晶源、上海精测 5、 探针台：长川科技，矽电股份； 6、 晶圆切割：和研科技、光力科技、迈为股份； 7、 减薄设备：华海清科。 四、半导体行业供应链阵容分化，技术创新与可控的趋势不可逆，继续强烈看好半导体设备板块。 风险分析：科技战压制估值的影响，市场竞争加剧风险，晶圆厂扩产不确定性。 买入（维持） 作者 分析师：杨绍辉 执业证书编号：S0930522060001 021-52523860 yangshaohui1@ebscn.com 分析师：陈佳宁 执业证书编号：S0930512120001 021-52523851 chenjianing@ebscn.com 联系人：林映吟 linyingyin@ebscn.com 行业与沪深300指数对比图 资料来源：Wind 相关研报 1月PMI升至临界点以上、信贷数据超预期，装备制造业市场环境向好 ——机械行业周报2023年第6周（2.5-2.11） 光伏铜电镀量产化攻克渐行渐近，半导体设备招投标有望逐季恢复 ——机械行业周报2023年第5周（1.29-2.4） 芯片的政治属性进一步强化，芯片制造工艺国产化带动国内制造业升级 ——机械行业周报2023年第4周（1.22-1.28） 半导体设备板块有望筑底上行，钙钛矿产业化趋势明显 ——机械行业周报2023年第2周（1.8-1.14) 半导体设备板块可以适当乐观，光伏主产业链价格企稳节奏前移有望催化设备需求 ——机械行业周报2023年第1周（1.1-1.7） 半导体行业景气度回升，先进制程工艺提升带动设备环节量价齐升 ——机械行业周报2022年第48周（11.20-11.26） -40%-30%-20%-10%0%10%22/0222/0522/0822/1123/02沪深300机械行业要点 敬请参阅最后一页特别声明 -2- 证券研究报告 机械行业 表1：日本设备厂商的主导产品及与之相对应的中国设备企业布局 日本厂商 日本厂商市占率、行业地位 美国厂商 中国厂商 干法介质刻蚀 TEL、日立高科技 TEL占29% Lam Research 中微 Track TEL TEL占89% 芯源微、盛美 ALD TEL、KE TEL占29% Lam Research 拓荆、微导、盛美、北方华创 CVD TEL、KE TEL占44% Lam Research、AMAT 拓荆、盛美、北方华创 扩散氧化 TEL、KE TEL占51% AMAT 盛美、北方华创、屹唐 清洗 TEL、DNS TEL占25%、DNS位居全球第一 Lam Research 盛美、北方华创、芯源微 探针台 TEL、东京精密 TEL占47% 长川、矽电 浸没式光刻机 Nikon 2022自然年年销售4台 AMAT CMP Ebara Ebara位居全球第二 AMAT 华海清科 CD-SEM 日立高科技 日立高科技垄断全球市场 东方晶源、上海精测 测试机 爱德万 与美国泰瑞达平分市场 泰瑞达 华峰、长川、联动 晶圆切割、减薄 DISCO、东京精密 日本厂商垄断 和研、光力、迈为、华海清科 EUV掩模板检测 LASERTEC 绝对垄断 资料来源：TEL公告，Nikon公告，光大证券研究所 注：TEL市占率为21年销售额口径数据 图1：东京电子各类设备的全球市占率 资料来源：TEL公告，光大证券研究所 注：TEL市占率为21年销售额口径数据 敬请参阅最后一页特别声明 -3- 证券研究报告 机械行业 图2：2021年日本半导体设备的全球市占率 资料来源：各公司公告，光大证券研究所 美国46%日本28%欧洲21%韩国3%中国2%以色列0%美国日本欧洲韩国中国以色列 敬请参阅最后一页特别声明 -4- 证券研究报告 行业及公司评级体系 评级 说明 行 业 及 公 司 评 级 买入 未来6-12个月的投资收益率领先市场基准指数15%以上 增持 未来6-12个月的投资收益率领先市场基准指数5%至15%； 中性 未来6-12个月的投资收益率与市场基准指数的变动幅度相差-5%至5%； 减持 未来6-12个月的投资收益率落后市场基准指数5%至15%； 卖出 未来6-12个月的投资收益率落后市场基准指数15%以上； 无评级 因无法获取必要的资料，或者公司面临无法预见结果的重大不确定性事件，或者其他原因，致使无法给出明确的投资评级。 基准指数说明： A股主板基准为沪深300指数；中小盘基准为中小板指；创业板基准为创业板指；新三板基准为新三板指数；港股基准指数为恒生指数。 分析、估值方法的局限性说明 本报告所包含的分析基于各种假设，不同假设可能导致分析结果出现重大不同。本报告采用的各种估值方法及模型均有其局限性，估值结果不保证所涉及证券能够在该价格交易。 分析师声明 本报告署名分析师具有中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格并注册为证券分析师，以勤勉的职业态度、专业审慎的研究方法，使用合法合规的信息，独立、客观地出具本报告，并对本报告的内容和观点负责。负责准备以及撰写本报告的所有研究人员在此保证，本研究报告中任何关于发行商或证券所发表的观点均如实反映研究人员的个人观点。研究人员获取报酬的评判因素包括研究的质量和准确性、客户反馈、竞争性因素以及光大证券股份有限公司的整体收益。所有研究人员保证他们报酬的任何一部分不曾与，不与，也将不会与本报告中具体的推荐意见或观点有直接或间接的联系。 法律主体声明 本报告由光大证券股份有限公司制作，光大证券股份有限公司具有中国证监会许可的证券投资咨询业务资格，负责本报告在中华人民共和国境内（仅为本报告目的，不包括港澳台）的分销。本报告署名分析师所持中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格编号已披露在报告首页。 中国光大证券国际有限公司和Everbright Securities(UK) Company Limited是光大证券股份有限公司的关联机构。 特别声明 光大证券股份有限公司（以下简称“本公司”）创建于1996年，系由中国光大（集团）总公司投资控股的全国性综合类股份制证券公司，是中国证监会批准的首批三家创新试点公司之一。根据中国证监会核发的经营证券期货业务许可，本公司的经营范围包括证券投资咨询业务。 本公司经营范围：证券经纪；证券投资咨询；与证券交易、证券投资活动有关的财务顾问；证券承销与保荐；证券自营；为期货公司提供中间介绍业务；证券投资基金代销；融资融券业务；中国证监会批准的其他业务。此外，本公司还通过全资或控股子公司开展资产管理、直接投资、期货、基金管理以及香港证券业务。 本报告由光大证券股份有限公司研究所（以下简称“光大证券研究所”）编写，以合法获得的我们相信为可靠、准确、完整的信息为基础，但不保证我们所获得的原始信息以及报告所载信息之准确性和完整性。光大证券研究所可能将不时补充、修订或更新有关信息，但不保证及时发布该等更新。 本报告中的资料、意见、预测均反映报告初次发布时光大证券研究所的判断，可能需随时进行调整且不予通知。在任何情况下，本报告中的信息或所表述的意见并不构成对任何人的投资建议。客户应自主作出投资决策并自行承担投资风险。本报告中的信息或所表述的意见并未考虑到个别投资者的具体投资目的、财务状况以及特定需求。投资者应当充分考虑自身特定状况，并完整理解和使用本报告内容，不应视本报告为做出投资决策的唯一因素。对依据或者使用本报告所造成的一切后果，本公司及作者均不承担任何法律责任。 不同时期，本公司可能会撰写并发布与本报告所载信息、建议及预测不一致的报告。本公司的销售人员、交易人员和其他专业人员可能会向客户提供与本报告中观点不同的口头或书面评论或交易策略。本公司的资产管理子公司、自营部门以及其他投资业务板块可能会独立做出与本报告的意见或建议不相一致的投资决策。本公司提醒投资者注意并理解投资证券及投资产品存在的风险，在做出投资决策前，建议投资者务必向专业人士咨询并谨慎抉择。 在法律允许的情况下，本公司及其附属机构可能持有报告中提及的公司所发行证券的头寸并进行交易，也可能为这些公司提供或正在争取提供投资银行、财务顾问或金融产品等相关服务。投资者应当充分考虑本公司及本公司附属机构就报告内容可能存在的利益冲突，勿将本报告作为投资决策的唯一信赖依据。 本报告根据中华人民共和国法律在中华人民共和国境内分发，仅向特定客户传送。本报告的版权仅归本公司所有，未经书面许可，任何机构和个人不得以任何形式、任何目的进行翻版、复制、