敬请参阅最后一页特别声明 -1- 证券研究报告 2023年5月30日 行业研究 日本半导体设备出口管理限制时间落地，利空出尽正是配置良机 ——半导体设备行业跟踪 机械行业 事件：5月23日，日本公布《根据出口贸易管理令附表一和外汇令附表的规定确定货物或技术的省令》（以下简称“省令”）修正版，明确将23个具体品类的尖端半导体制造设备列入出口管理限制对象名单，包括6大类、23项设备，具体包括3项清洗设备、11项薄膜沉积设备、1项退火设备、4项光刻/曝光设备、3项刻蚀设备以及1项量测设备，从类别上看，日本主要针对光刻、薄膜沉积、刻蚀、清洗设备进行出口限制管理。经过2个月公告期后，《省令》预计于7月23日施行。 点评：此次日本半导体设备出口管理限制的范围与3月31日的《省令》版本的限制范围一致，时间确定在2个月公示期后的7月23日。对中国而言，如若要进口上述23项半导体设备则需要事先获得许可。 （1） 刻蚀：高深宽比刻蚀、双大马士革刻蚀、锗硅湿法/干法刻蚀。日本厂商主要是TEL，我国厂商主要是中微公司； （2） 金属沉积设备：Ti、TiN、碳化钨、钨沉积、钴钼钌沉积，日本厂商主要是TEL，国内潜力厂商是中微公司； （3） 湿法设备（清洗、电镀）：日本厂商主要是TEL、DNS等，国内厂商是盛美上海、芯源微、北方华创； （4） 退火设备：日本厂商主要是TEL、KE，国内厂商是盛美上海、北方华创、屹唐股份。 影响：21年日本半导体设备厂商收入在全球半导体设备市场中的份额合计约28%，仅次于美国半导体设备厂商的份额，日本厂商在涂胶显影、介质刻蚀、清洗设备、热处理设备、立式ALD、CD-SEM、EUV掩膜版缺陷检测、存储测试机、探针台、划片机、减薄机等10多个设备环节处重要的垄断地位，例如2021年TEL在涂胶显影设备领域的销售额在全球的份额为89%，在刻蚀领域的销售份额为29%，在清洗设备领域的销售份额为25%。 中国大陆市场是日本半导体设备厂商的重要收入来源之一，此次出口限制或将影响日本设备厂的销售额。2022年，日本半导体设备厂商来自中国大陆的收入占比普遍在20%~30%，其中东京电子来自中国大陆的收入占比为22%，爱德万为33%，DISCO为2/3。预计随着《省令》实施，这些企业在中国大陆的设备销售预计会受到较大负面影响。 该项限制时间落地后，中国的半导体设备国产化空间进一步打开，涂胶显影、刻蚀和清洗设备等日本企业市场份额较高的设备类别将迎来较好的国产化时间窗口，预计晶圆厂验证、国产设备导入的节奏有望加快。 针对此次限制范围，需要重点关注的设备类别，包括薄膜沉积、涂胶显影、清洗设备、刻蚀设备等，主要的相关标的包括： （1） 介质刻蚀：中微公司、北方华创； （2） 薄膜沉积：拓荆科技、微导纳米； （3） 涂胶显影：芯源微、盛美上海； （4） 清洗设备：盛美上海、芯源微、北方华创； （5） 热处理：盛美上海、北方华创； （6） 立式ALD：盛美上海、微导纳米； （7） 减薄设备：华海清科； （8） CD-SEM：精测电子； （9） 探针台：长川科技； （10） 划片机：光力科技。 投资建议：随着日本出口管制落地，海外制裁靴子落地，国内半导体设备的国产化空间进一步打开，迎来较好的国产化时间窗口，预计晶圆厂验证、国产设备的导入节奏均会有所加快，看好国内半导体设备行业的高成长性。 建议关注：华海清科、中微公司、拓荆科技、芯源微、盛美上海、北方华创、微导纳米、精测电子、长川科技、光力科技。 风险分析：科技战压制估值的影响、市场竞争加剧的风险、晶圆厂资本开支进度不及预期。 买入（维持） 作者 分析师：杨绍辉 执业证书编号：S0930522060001 021-52523860 yangshaohui1@ebscn.com 分析师：陈佳宁 执业证书编号：S0930512120001 021-52523851 chenjianing@ebscn.com 联系人：林映吟 linyingyin@ebscn.com 行业与沪深300指数对比图 -12%-2%8%19%29%05/2208/2211/2202/23机械行业沪深300 资料来源：Wind 相关研报 国资委要求央企加大新兴产业布局，半导体设备国产替代加速推进——机械行业周报2023年第19周（5.7-5.13）（2023-05-15） 国内半导体设备公司23Q1业绩逆势上行，科技仍是投资主旋律——机械行业周报2023年第18周（4.30-5.6）（2023-05-09） 日本限制半导体设备出口对我国半导体设备行业影响——半导体设备行业跟踪（2023-04-03） 要点 敬请参阅最后一页特别声明 -2- 证券研究报告 行业及公司评级体系 评级 说明 行 业 及 公 司 评 级 买入 未来6-12个月的投资收益率领先市场基准指数15%以上 增持 未来6-12个月的投资收益率领先市场基准指数5%至15%； 中性 未来6-12个月的投资收益率与市场基准指数的变动幅度相差-5%至5%； 减持 未来6-12个月的投资收益率落后市场基准指数5%至15%； 卖出 未来6-12个月的投资收益率落后市场基准指数15%以上； 无评级 因无法获取必要的资料，或者公司面临无法预见结果的重大不确定性事件，或者其他原因，致使无法给出明确的投资评级。 基准指数说明： A股市场基准为沪深300指数；香港市场基准为恒生指数；美国市场基准为纳斯达克综合指数或标普500指数。 分析、估值方法的局限性说明 本报告所包含的分析基于各种假设，不同假设可能导致分析结果出现重大不同。本报告采用的各种估值方法及模型均有其局限性，估值结果不保证所涉及证券能够在该价格交易。 分析师声明 本报告署名分析师具有中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格并注册为证券分析师，以勤勉的职业态度、专业审慎的研究方法，使用合法合规的信息，独立、客观地出具本报告，并对本报告的内容和观点负责。负责准备以及撰写本报告的所有研究人员在此保证，本研究报告中任何关于发行商或证券所发表的观点均如实反映研究人员的个人观点。研究人员获取报酬的评判因素包括研究的质量和准确性、客户反馈、竞争性因素以及光大证券股份有限公司的整体收益。所有研究人员保证他们报酬的任何一部分不曾与，不与，也将不会与本报告中具体的推荐意见或观点有直接或间接的联系。 法律主体声明 本报告由光大证券股份有限公司制作，光大证券股份有限公司具有中国证监会许可的证券投资咨询业务资格，负责本报告在中华人民共和国境内（仅为本报告目的，不包括港澳台）的分销。本报告署名分析师所持中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格编号已披露在报告首页。 中国光大证券国际有限公司和Everbright Securities(UK) Company Limited是光大证券股份有限公司的关联机构。 特别声明 光大证券股份有限公司（以下简称“本公司”）成立于1996年，是中国证监会批准的首批三家创新试点证券公司之一，也是世界500强企业——中国光大集团股份公司的核心金融服务平台之一。根据中国证监会核发的经营证券期货业务许可，本公司的经营范围包括证券投资咨询业务。 本公司经营范围：证券经纪；证券投资咨询；与证券交易、证券投资活动有关的财务顾问；证券承销与保荐；证券自营；为期货公司提供中间介绍业务；证券投资基金代销；融资融券业务；中国证监会批准的其他业务。此外，本公司还通过全资或控股子公司开展资产管理、直接投资、期货、基金管理以及香港证券业务。 本报告由光大证券股份有限公司研究所（以下简称“光大证券研究所”）编写，以合法获得的我们相信为可靠、准确、完整的信息为基础，但不保证我们所获得的原始信息以及报告所载信息之准确性和完整性。光大证券研究所可能将不时补充、修订或更新有关信息，但不保证及时发布该等更新。 本报告中的资料、意见、预测均反映报告初次发布时光大证券研究所的判断，可能需随时进行调整且不予通知。在任何情况下，本报告中的信息或所表述的意见并不构成对任何人的投资建议。客户应自主作出投资决策并自行承担投资风险。本报告中的信息或所表述的意见并未考虑到个别投资者的具体投资目的、财务状况以及特定需求。投资者应当充分考虑自身特定状况，并完整理解和使用本报告内容，不应视本报告为做出投资决策的唯一因素。对依据或者使用本报告所造成的一切后果，本公司及作者均不承担任何法律责任。 不同时期，本公司可能会撰写并发布与本报告所载信息、建议及预测不一致的报告。本公司的销售人员、交易人员和其他专业人员可能会向客户提供与本报告中观点不同的口头或书面评论或交易策略。本公司的资产管理子公司、自营部门以及其他投资业务板块可能会独立做出与本报告的意见或建议不相一致的投资决策。本公司提醒投资者注意并理解投资证券及投资产品存在的风险，在做出投资决策前，建议投资者务必向专业人士咨询并谨慎抉择。 在法律允许的情况下，本公司及其附属机构可能持有报告中提及的公司所发行证券的头寸并进行交易，也可能为这些公司提供或正在争取提供投资银行、财务顾问或金融产品等相关服务。投资者应当充分考虑本公司及本公司附属机构就报告内容可能存在的利益冲突，勿将本报告作为投资决策的唯一信赖依据。 本报告根据中华人民共和国法律在中华人民共和国境内分发，仅向特定客户传送。本报告的版权仅归本公司所有，未经书面许可，任何机构和个人不得以任何形式、任何目的进行翻版、复制、转载、刊登、发表、篡改或引用。如因侵权行为给本公司造成任何直接或间接的损失，本公司保留追究一切法律责任的权利。所有本报告中使用的商标、服务标记及标记均为本公司的商标、服务标记及标记。 光大证券股份有限公司版权所有。保留一切权利。 光大证券研究所 上海 北京 深圳 静安区南京西路1266号 恒隆广场1期办公楼48层 西城区武定侯街2号 泰康国际大厦7层 福田区深南大道6011号 NEO绿景纪元大厦A座17楼 光大证券股份有限公司关联机构 香港 英国 中国光大证券国际有限公司 香港铜锣湾希慎道33号利园一期28楼 Everbright Securities(UK) Company Limited 6th Floor, 9 Appold Street, London, United Kingdom, EC2A 2AP 中庚基金