2022业绩高增，前道设备迎高速放量

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芯源微（688037）：Q2营收高增，前道设备放量强劲，公司预计2022年实现营业收入为13.00亿元-14.20亿元，同比增长+56.88%至+71.36%，实现归母净利润1.75亿元-2.10亿元，同比增长+126.25%至+171.49%。前道设备快速放量，大客户持续突破，22年营收实现大幅增长，系新签订单规模同比大幅增长，在保持小尺寸及集成电路后道先进封装领域产品收入稳步增长的同时，集成电路前道晶圆加工领域产品收入也实现快速放量。28nm技术取得突破，成长动能强劲，1）22年公司在涂胶显影28nm技术上取得重要突破：公司的光刻胶涂覆缺陷及成本控制技术、在线式工艺缺陷检测技术均达到国际先进水平；高产能架构方面也取得相应进展，未来可覆盖浸没式等前沿光刻技术；2）前道设备进入快速放量期：上半年公司前道涂胶显影机新签订单规模同比大幅增长，已陆续获得了中芯京城、上海华力、长江存储、合肥长鑫、武汉新芯、厦门士兰集科等主要晶圆厂客户的订单。前道物理清洗机在自动刷压控制技术上已达到国际先进水平，前道物理清洗国内市占率稳步提升；3）后道设备市场地位进一步巩固：后道涂胶显影设备和单片式湿法设备已批量应用于台积电、长电科技等海内外头部封测厂。