本研报由国泰君安证券产业研究中心发布，主要探讨了半导体设备市场的发展情况。报告指出，半导体设备市场呈现出周期波动的特征，2016-2021年经历了5年快速成长期，主要驱动力来自产能的扩张和技术节点的进步。其中，半导体量测设备市场规模在2021年达到了77.9亿美元，远高于2005-2015年的复合增速。报告还分析了行业龙头KLA的发展情况，指出其长期复合增长目标设定为9~11%，并且在检测系统光流波长下限进一步减小和波长范围进一步拓宽、提高光学系统的数值孔径等方面进行了探索。此外，报告还探讨了半导体量测设备的国产化问题，指出国内领先量测设备厂家的产品覆盖度为27.2%，工艺节点上已能覆盖28nm及以上制程，但三代化合物半导体制造工艺流程需要特定设备开发，多数环节存在空白或补链的机会。
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