电子行业简评报告：盛美上海进军PECVD市场，设备公司向平台化发展

请务必仔细阅读本报告最后部分的重要法律声明 [Table_Rank] 评级： 看好 何立中 电子行业首席分析师 SAC执证编号：S0110522110002 helizhong@sczq.com.cn 电话：010-81152682 赵绮晖 电子行业研究助理 zhaoqihui@sczq.com.cn 电话：010-81152679 [Table_Chart] 市场指数走势（最近1年） 资料来源：聚源数据 相关研究 [Table_OtherReport]  电子行业：预计IC市场23Q1触底，关注IC制造板块机会  2023年电子行业策略：四年新周期，进入上升期  电子行业：模拟板块库存或已见顶，关注强α属性个股 核心观点 [Table_Summary] ⚫ 盛美上海进军PECVD市场，打开新增市场空间。12月12日，盛美上海宣布推出拥有自主知识产权的Ultra PmaxTM等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备，拓展了一个重要的全新产品分类。11月18日，公司推出一款应用于300mm晶圆工艺的涂胶显影Track设备，正式进军涂胶显影Track市场，有望打开新的市场空间。 ⚫ 设备公司向平台化发展。国内半导体设备公司中，部分细分行业龙头已进行平台化布局。1）国内半导体设备龙头北方华创已布局刻蚀机、PVD、CVD、氧化/扩散炉、退火炉、清洗机等产品，在集成电路及泛半导体领域实现量产应用。新产品方面，刻蚀机、PVD、CVD、ALD、立式炉、清洗机等多款新产品进入主流产线。其中，刻蚀设备已应用于40-28nm制程集成电路，14-5nm先进制程设备处于研发阶段。公司作为行业龙头将持续受益于国产替代。2）国内刻蚀设备龙头中微公司刻蚀设备保持领先，MOCVD高速增长。2021年，公司生产付运CCP刻蚀设备298腔，同比增长40%，在部分关键客户市场占有率已进入前三位甚至前二位。2021年，MOCVD设备收入为5.03亿元；毛利率达33.77%，较2020年的18.65%有大幅度提升。3）国内清洗设备龙头盛美上海，开发了清洗设备，前道铜互连电镀设备、后道先进封装电镀设备，立式炉管设备，以及用于先进封装的湿法刻蚀设备、涂胶设备、显影设备、去胶设备、无应力抛光设备等。 ⚫ 电子板块行情强于大盘 12月12日至12月16日，上证下跌1.22%，电子板块下跌0.89%，跑赢大盘0.33个百分点。年初至今，上证指数下跌12.97%，中信电子板块下跌32.69%，跑输大盘19.72个百分点。 ⚫ 电子各细分行业涨幅 12月12日至12月16日，电子各细分行业板块中，涨幅为正的细分行业板块为分立器件、被动元件、元器件、PCB，分别上涨了1.80%、1.43%、0.93%、0.61%。年初至今，电子细分行业均为负收益。 ⚫ 个股涨跌幅：A股 12月12日至12月16日，电子行业涨幅前五的公司分别为易天股份、敏芯股份、惠伦晶体、中京电子、中晶科技，分别上涨了42.90%、37.30%、24.31%、23.34%和22.22%。 ⚫ 投资建议 推荐关注北方华创、中微公司、盛美上海。 ⚫ 风险提示 新品研发进展不及预期，行业竞争加剧，下游晶圆厂需求不及预期。 -0.6-0.4-0.200.217-Dec27-Feb10-May21-Jul1-Oct12-Dec电子沪深300 [Table_Title] 盛美上海进军PECVD市场，设备公司向平台化发展 [Table_ReportDate] 电子 | 行业简评报告 | 2022.12.18 行业简评报告  证券研究报告 请务必仔细阅读本报告最后部分的重要法律声明 1 1 盛美上海进军PECVD市场，设备公司向平台化发展 1.1 盛美上海进军PECVD市场，打开新增市场空间 进军PECVD、涂胶/显影Track市场。12月12日，盛美上海宣布推出拥有自主知识产权的Ultra PmaxTM等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备，拓展了一个重要的全新产品分类。盛美上海预计将在几周内向中国的一家集成电路客户交付其首台PECVD设备。11月18日，公司推出一款应用于300mm晶圆工艺的涂胶显影Track设备，正式进军涂胶显影Track市场。 新产品市场开拓进展顺利。公司2月获得13台Ultra ECP map前道铜互连电镀设备及8台Ultra ECP ap后道先进封装电镀设备的采购订单；5月与中国先进晶圆级封装客户签订10台Ultra ECP ap高速电镀设备订单，同时推出升级版的涂胶设备，在性能和外观进行了优化，应用于先进晶圆级封装。 1.2 发展趋势：设备公司向平台化发展 北方华创：国产半导体设备平台化龙头。公司半导体设备产品包括刻蚀机、PVD、CVD、氧化/扩散炉、退火炉、清洗机等，在集成电路及泛半导体领域实现量产应用。新产品方面，刻蚀机、PVD、CVD、ALD、立式炉、清洗机等多款新产品进入主流产线。其中，刻蚀设备已应用于40-28nm制程集成电路，14-5nm先进制程设备处于研发阶段。公司作为行业龙头将持续受益于国产替代。 中微公司：刻蚀设备保持领先，MOVCD订单高速增长。刻蚀设备保持领先优势，市占率持续提升。2021年，公司生产付运CCP刻蚀设备298腔，同比增长40%，在部分关键客户市场占有率已进入前三位甚至前二位；生产付运ICP刻蚀设备134腔，同比增长235%，并取得5nm及以下逻辑电路、3D NAND芯片产线的重复订单。2021年，公司推出首台用于8英寸晶圆加工的CCP刻蚀设备Primo AD-RIE200和双反应台ICP刻蚀设备Primo Twin-Star，产品线进一步完善。MOVCD新签订单量高速增长。2021年，MOCVD设备收入为5.03亿元；毛利率达33.77%，较2020年的18.65%有大幅度提升。2021年6月，公司发布用于Mini LED的MOVCD设备Prismo UniMax。此外，公司积极布局用于功率器件应用的第三代半导体设备，启动了应用于制造 Micro LED、功率器件等生产的MOCVD设备的开发。 盛美上海：国内半导体清洗设备龙头，进军PECVD、涂胶/显影Track市场。公司经过多年持续的研发投入和技术积累，开发了单片清洗、槽式清洗以及单片槽式组合清洗等清洗设备，前道铜互连电镀设备、后道先进封装电镀设备，立式炉管设备，以及用于先进封装的湿法刻蚀设备、涂胶设备、显影设备、去胶设备、无应力抛光设备等，产品得到国内外主流半导体厂商的认可。近日，公司推出了PECVD设备和涂胶显影Track设备，有望打开新的市场空间。 2 周报数据 2.1 电子指数走势 12月12日至12月16日，上证下跌1.22%，电子板块下跌0.89%，跑赢大盘0.33个百分点。年初至今，上证指数下跌12.97%，中信电子板块下跌32.69%，跑输大盘19.72个百分点。 行业简评报告  证券研究报告 请务必仔细阅读本报告最后部分的重要法律声明 2 图 1 12月12日至12月16日电子指数走势 图 2 年初至今电子指数走势 资料来源：Wind，首创证券 资料来源：Wind，首创证券 2.2 A股各个行业涨跌幅 12月12日至12月16日，中信电子板块下跌0.89%，费城半导体指数下跌3.12%。年初至今，中信电子板块下跌32.69%，费城半导体指数下跌33.20%。 -3%-2%-2%-1%-1%0%电子(中信)沪深300上证指数中证500创业板指科创50-35%-30%-25%-20%-15%-10%-5%0%上证指数中证500沪深300创业板指科创50电子(中信) 行业简评报告  证券研究报告 请务必仔细阅读本报告最后部分的重要法律声明 3 图 3 12月12日至12月16日A股各行业涨跌幅 资料来源：Wind，首创证券 -0.89%-3.12%-5%-4%-3%-2%-1%0%1%2%3%4%5%消费者服务(中信)食品饮料(中信)交通运输(中信)农林牧渔(中信)医药(中信)纺织服装(中信)银行(中信)电子(中信)综合金融(中信)轻工制造(中信)电力及公用事业(中信)家电(中信)传媒(中信)计算机(中信)汽车(中信)商贸零售(中信)房地产(中信)通信(中信)建材(中信)钢铁(中信)非银行金融(中信)国防军工(中信)石油石化(中信)煤炭(中信)综合(中信)建筑(中信)机械(中信)费城半导体指数基础化工(中信)电力设备及新能源(中信)有色金属(中信) 行业简评报告  证券研究报告 请务必仔细阅读本报告最后部分的重要法律声明 4 图 4 年初至今A股各行业涨跌幅 资料来源：Wind，首创证券 2.3 电子各细分行业涨跌幅 12月12日至12月16日，电子各细分行业板块中，涨幅为正的细分行业板块为分立器件、被动元件、元器件、PCB，分别上涨了1.80%、1.43%、0.93%、0.61%。年初至今，电子细分行业均为负收益。 -40%-30%-20%-10%0%10%20%30%煤炭(中信)消费者服务(中信)交通运输(中信)房地产(中信)建筑(中信)商贸零售(中信)纺织服装(中信)石油石化(中信)银行(中信)综合(中信)农林牧渔(中信)食品饮料(中信)非银行金融(中信)电力及公用事业(中信)有色金属(中信)汽车(中信)家电(中信)钢铁(中信)医药(中信)通信(中信)机械(中信)轻工制造(中信)基础化工(中信)建材(中信)电力设备及新能源(中信)计算机(中信)综合金融(中信)国防军工(中信)传媒(中信)电子(中信)费城半导体指数 行业简评报告  证券研究报告 请务必仔细阅读本报告最后部分的重要法律声明 5 图 5 12月12日至12月16日电子各细分行业涨跌幅 资料来源：Wind，首创证券 图 6 年初至今电子各细分行业涨跌幅 资料来源：Wind，首创证券 1.80%1.43%0.93%0.61%-0.32%-0.33%-0.50%-0.52%-0.62%-0.78%-0.89%-1.03%-1.54%-1.57%-1.62%-1.80%-2.02%-3.12%-4%-3%-2%-1%0%1%2%3%分立器件(中信)被动元件(中信)元器件(中信)PCB(中信)LED(中信)面板(中信)半导体(中信)集成电路(中信)半导体材料(中信)光学光电(中信)电子(中信)安防(中信)消费电子组件(中信)消费电子(中信)半导体设备(中信)消费电子设备(中信)显示零组(中信)费城半导体指数-21.39%-23.03%-24.43%-28.27%-28.38%-29.03%-30.86%-31.31%-32.36%-32.69%-33.20%-33.24%-35.08%-35.46%-37.23%-37.92%-39.03%-43.44%-50%-45%-40%-35%-30%-25%-20%-15%-10%-5%0%半导体材料(中信)半导体设备(中信)分立器件(中信)PCB(中信)面板(中信)元器件(中信)显示零组(中信)被动元件(中信)半导体(中信)电子(中信)费城半导体指数光学光电(中信)安防(中信)集成电路(中信)消费电子组件(中信)消费电子(中信)LED(中信)