敬请参阅最后一页特别声明 -1- 证券研究报告 2022年4月16日 行业研究 北方华创中标25台，盛美上海中标11台，华虹半导体招标141台 ——国内半导体设备招投标月度数据跟踪第10期（2022年04月） 电子行业 国内半导体设备3月招投标数据（仅限于已公布的数据） 国内晶圆厂商招标数据： 华虹半导体：PVD+3台，CVD+24台，EPI+2台，ECP+3台，光刻机+1台，干法刻蚀+24台，湿法刻蚀+5台，前道检测+5台，前道计量+14台，干法清洗+2台，湿法清洗+15台，去胶+9台，刷片机+3台，CMP+4台，退火+8台，离子注入+11台，氧化扩散+2台，后道封装+6台； 上海积塔半导体：干法刻蚀+1台，湿法刻蚀+1台，涂胶显影+1台，氧化扩散+15台，探针台+7台； 华润微：湿法刻蚀+2台，湿法清洗+1台； 上海新微：PVD+1台； 上海新硅聚合：CMP+1台； 福建晋华：CVD+1台，前道计量+1台； 燕东微电子：湿法清洗+7台； 国内设备厂商中标数据： 北方华创：PVD+4台，干法刻蚀+6台，湿法清洗+7台，退火+7台，氧化扩散+1台； 盛美半导体：ECP+1台，湿法清洗+5台，去胶+5台； 沈阳拓荆：CVD+3台； 上海微电子：退火+2台，缺陷检测显微镜+1台； 华海清科：CMP+3台； 中科信电子装备：离子注入机+1台； 中科飞测：前道检测+1台； 新益昌：粘片机+121台； 半导体设备行业景气度数据： 半导体设备销售额2021-2023年：全球分别为1030/1140/1134亿美元，同比+44.4%/+11.2%/-0.8%（SEMI 21年12月预测）；中国大陆分别为288/343/363亿美元，同比+53.7%/+19.2%/+5.8%（光大证券研究所22年1月预测）。 2022年3月中国台湾半导体设备进口额为28.72亿美元，同比增长0.35%；2021年12月，北美半导体设备出货额为39.17亿美元，同比增长46.10%。 半导体设备行业投资建议：建议关注上市公司包括北方华创、中微公司、盛美上海、至纯科技、华峰测控、长川科技、芯源微、万业企业（凯世通）、光力科技华兴源创、精测电子、晶盛机电、盛剑环境、正帆科技、ASMPacific（H）。 半导体材料行业投资建议：建议关注上市公司包括神工股份、沪硅产业-U、立昂微、雅克科技、彤程新材、晶瑞电材、鼎龙股份、安集科技、上海新阳、江化微、南大光电、华特气体、金宏气体。 风险分析：国产化进度不及预期，晶圆厂扩张不及预期，技术研发不及预期。 近期重点关注公司盈利预测与估值简表 代码 简称 市值 （亿元） 归母净利润（亿元） PE PS 2021E 2022E 2021E 2022E 2021E 2022E 002371.SZ 北方华创* 1374 10.77 15.24 128 90 14 10 688012.SH 中微公司* 657 10.11 10.63 65 62 21 15 603690.SH 至纯科技 107 3.22 4.19 33 26 5 4 688233.SH 神工股份* 114 2.20 2.99 52 38 24 17 688126.SH 沪硅产业* 612 1.46 2.30 419 266 25 17 资料来源：Wind、光大证券研究所整理；股价时间22-04-15，带*21年为年报或快报，其余21-22年为Wind一致预测； 买入（维持） 作者 分析师：刘凯 执业证书编号：S0930517100002 021-52523849 kailiu@ebscn.com 联系人：杨德珩 yangdh@ebscn.com 行业与沪深300指数对比图 资料来源：Wind 相关研报 上海积塔半导体招标5台，燕东微电子招标11台——国内半导体设备招投标月度数据跟踪第9期（2022年03月）（2022-3-15） 华虹半导体招标50台，至纯科技中标8台清洗设备——国内半导体设备招投标月度数据跟踪第8期（2022年02月）（2022-02-20） 长川科技中标14台测试机和30台分选机，光力科技中标10台划片机——国内半导体设备招投标月度数据跟踪第7期（2022年01月）（2022-01-13） 要点 敬请参阅最后一页特别声明 -2- 证券研究报告 电子行业 1、 半导体设备及材料最新观点 半导体设备及材料行业景气度与国产替代进度、晶圆厂扩张以及技术迭代息息相关，国产替代进度和晶圆厂扩张决定着当前景气周期内对国产半导体设备及材料的需求，而技术创新带来的技术迭代则不断驱动着半导体设备及材料的需求长周期持续向上，国产替代是本轮半导体设备及材料景气度高企的核心驱动力。 半导体设备与新建产线关联度较高，具备周期性强、空间大等特点，半导体材料有耗材属性，具备周期性弱、持续性好等特点。 目前大力提高中国大陆半导体设备及材料供应商的竞争力，对保障中国半导体产业链安全具有显著的溢出效益，有助于大大降低美国等出口管制所带来的风险。因此，尽管存在巨大的进入壁垒，中国政府将继续重点支持本土的半导体设备及材料行业，即使在中美关系缓和以及设备松绑的情况下，国产化大趋势不变。 2021年很多国产半导体设备及材料实现了0-1的跨越，2022年将逐步进入到1-N的放量过程，预计国产替代的速度将不断加快，我们持续看好半导体设备及材料国产替代的逻辑，是未来的长周期优质赛道。 图表1：半导体设备行业指数（申万）及沪深300指数 图表2：半导体设备行业市盈率（申万） 资料来源：Wind、光大证券研究所整理；时间2012-01-01到2022-04-15； 资料来源：Wind、光大证券研究所整理；时间2012-01-01到2022-04-15； 图表3：中国台湾半导体行业指数及加权指数 图表4：费城半导体指数及纳斯达克综合指数 资料来源：Wind、光大证券研究所整理；时间2012-01-01到2022-04-15； 资料来源：Wind、光大证券研究所整理；时间2012-01-01到2022-04-15； 敬请参阅最后一页特别声明 -3- 证券研究报告 电子行业 1.1、 全球半导体设备行业展望 根据国际半导体产业协会（SEMI）2021年12月14日公布的《年终总半导体设备预测报告》，预计2021年原始设备制造商的半导体制造设备全球销售总额将达到1030亿美元的新高，比2020年的712亿美元的销售历史记录增长44.4%，预计2022年全球半导体制造设备市场销售总额将扩大到1140亿美元，同比增长11.2%，到2023年全球半导体制造设备市场销售总额预计将略微下滑0.8%至1134亿美元。 图表5：全球半导体设备销售额及同比增速 资料来源：SEMI预测、Wind、光大证券研究所整理 2022年3月中国台湾半导体设备进口额为28.72亿美元，同比增长0.35%。 2021年12月，北美半导体设备出货额为39.17亿美元，同比增长46.10%。 2021年第四季度，全球半导体设备销售额为274.1亿美元，同比增长40.9%；北美半导体设备销售额为23.0亿美元，同比增长45.6%；日本半导体设备销售额为22.7亿美元，同比增加17.6%；中国大陆半导体设备销售额为81.8亿美元，同比增长62.9%。 图表6： 中国台湾半导体设备月度进口额及同比 图表7：北美半导体设备月度出货额及同比 资料来源：Wind、光大证券研究所整理 资料来源：Wind、光大证券研究所整理 敬请参阅最后一页特别声明 -4- 证券研究报告 电子行业 图表8：全球半导体设备季度销售额及同比 图表9：北美半导体设备季度销售额及同比 资料来源：Wind、光大证券研究所整理 资料来源：Wind、光大证券研究所整理 图表10：日本半导体设备季度销售额及同比 图表11：中国大陆半导体设备季度销售额及同比 资料来源：Wind、光大证券研究所整理 资料来源：Wind、光大证券研究所整理 2021第四季度，五家全球重点半导体设备公司业绩表现良好：ASML营业收入为57.00亿美元，同比增长12.3%，净利润为18.59亿美元，同比增长4.3%，下同；AMAT营业收入（62.71，+21.5%），净利润（17.53，+55.1%）；LAM营业收入（42.27，+22.3%），净利润（11.95，+37.5%）；KLA营业收入（23.53，+42.5%），净利润（8.51，+68.8%）；Teradyne营业收入（8.85，+16.6%），净利润（2.28，+17.9%）。 图表12：ASML季度收入及同比增速 图表13：ASML季度净利润及同比增速 资料来源：Bloomberg、光大证券研究所；注：FY21Q4时间为20211001~20211230； 资料来源：Bloomberg、光大证券研究所；注：FY21Q4时间为20211001~20211230； 敬请参阅最后一页特别声明 -5- 证券研究报告 电子行业 图表14：AMAT季度收入及同比增速 图表15：AMAT季度净利润及同比增速 资料来源：Bloomberg、光大证券研究所；注：FY22Q1时间为20211103~20220201； 资料来源：Bloomberg、光大证券研究所；注：FY22Q1时间为20211103~20220201； 图表16：LAM季度收入及同比增速 图表17：LAM季度净利润及同比增速 资料来源：Bloomberg、光大证券研究所；注：FY22Q2时间为20210929~20211227； 资料来源：Bloomberg、光大证券研究所；注：FY22Q2时间为20210929~20211227，FY19Q2增速为+5814.3%； 图表18：KLA季度收入及同比增速 图表19：KLA季度净利润及同比增速 资料来源：Bloomberg、光大证券研究所；注：FY22Q2时间为20211001~20211230； 资料来源：Bloomberg、光大证券研究所；注：FY22Q2时间为20211001~20211230； 敬请参阅最后一页特别声明 -6- 证券研究报告 电子行业 图表20：Teradyne季度收入及同比增速 图表21：Teradyne季度净利润及同比增速 资料来源：Bloomberg、光大证券研究所；注：FY21Q4时间为20211003~20211231； 资料来源：Bloomberg、光大证券研究所；注：FY21Q4时间为20211003~20211231，FY18Q4增速为-235.8%； 1.2、 中国大陆半导体设备行业展望 2020年中国大陆半导体设备销售额为187.2亿美元，同比增长39.2%，占全球半导体设备市场的26.3%，首次成为全球最大的半导体设备市场。我们预计中国大陆半导体设备销售额全球占比有望从2021年的28%提升到2023年的32%，呈逐年上升的趋势。由此测算，2021年中国大陆半导体设备销售额预计将达到287.8亿美元，同比增长53.7%，预计2022年中国大陆半导体设备销售额有望达到343.0亿美元，同比增长19.2%，到2023年中国大陆半导体设备销售额有望增长5.8%至362.9亿美元。 图表22：中国大陆半导体设备销售额及同比增速 图表23：中国大陆半导体设备销售额全球占比变化趋势 资料来源：Wind、光