半导体设备行业跟踪：盛美进军前道涂胶显影设备，产品平台化再前进一步

敬请参阅最后一页特别声明 -1- 证券研究报告 2023年1月2日 行业研究 盛美进军前道涂胶显影设备，产品平台化再前进一步 ——半导体设备行业跟踪 机械行业 盛美上海进军前道涂胶显影Track市场。根据盛美上海官方微信公众号，盛美上海首台具有自主知识产权的前道ArF工艺涂胶显影Track设备Ultra LITH成功出机，顺利向中国国内客户交付，该设备由盛美半导体设备(亚太)制造中心完成出货。 涂胶显影技术是光刻工序的重要环节之一。光刻工序涂胶显影设备是集成电路制造过程中不可或缺的关键处理设备，主要与光刻机配合进行作业，通过机械手使晶圆在各系统间传输和处理，从而完成晶圆的光刻胶涂覆、固化、显影、坚膜等工艺过程。涂胶/显影机的性能直接影响着曝光图案、刻蚀、离子注入等工艺。 盛美上海将于2023年推出i-line型号设备，且已开始着手研发KrF型号设备。参考芯源微公告、中国国际招标网，涂胶显影设备可分为offline和inline两大类，其中offline设备不与光刻机联机作业，主要包括前道Barc（抗反射层）涂胶机、PI涂胶显影机；inline设备与光刻机联机作业，根据主流光刻技术发展路线可分为I-line、KrF、ArF、ArFi、EUV等光刻胶的涂胶显影工艺。从盛美的产品规划看，未来将至少覆盖I-line、KrF、ArF三种以上的涂胶显影工艺。 前道涂胶显影占WFE市场的4%。根据中微业绩说明会资料，2021年全球前道涂胶显影设备市场规模36.72亿美元，在全球WFE市场占比4.0%。参考SEMI数据2021年中国大陆半导体设备市场占全球半导体设备的29%，中国大陆涂胶显影Track设备市场规模约10.65亿美元。 国内外涂胶显影Track市场主要被TEL垄断。根据芯源微公告，光刻工序涂胶显影设备的供应商主要包括日本TEL、日本DNS、德国SUSS、中国台湾ELS、韩国CND等。根据TEL公告，2021年TEL在全球涂胶显影市场的市占率为89%。根据中国国际招标网，按采购数量计，中国大陆本土产线的12英寸涂胶显影设备当中日本TEL占96%、芯源微占3.5%、日本DNS占0.7%。TEL LITHIUS系列是目前主流的涂胶显影Track设备。 芯源微主导涂胶显影Track设备的国产化，盛美上海、众鸿电子紧随其后。根据芯源微2022年中报，芯源微offline、I-line、KrF机台均实现批量销售，前道涂胶显影机新订单同比大幅增长，其中I-line、KrF涂胶显影机获多家头部晶圆厂的小批量重复订单，芯源微客户包括中芯京城、上海华力、长江存储、合肥长鑫、武汉新芯、士兰集科、上海积塔、株洲中车、青岛芯恩、中芯绍兴、中芯宁波、昆明京东方等。2022年12月17日，芯源微发布新产品ArFi高产能涂胶显影机，可全面覆盖I-line、KrF、ArF dry、ArF浸没式等多种光刻技术。根据盛美上海官方微信公众号，盛美上海已向中国国内客户交付首台前道ArF工艺涂胶显影Track设备，并将于2023年推出i-line型号设备，且已开始着手研发KrF型号设备。根据众鸿官方微信公众号，2022年12月众鸿电子接到常州承芯半导体的涂胶显影机正式订单。 产能致胜，盛美上海涂胶显影Track设将达到300片/h。盛美此次出机的Track设备专为300毫米晶圆而设计，共有4个适用于12英寸晶圆的装载口，8个涂胶腔体、8个显影腔体，设备腔体温度可精准控制在23°C±0.1°C，烘烤范围为50°C至250°C，晶圆破损率低于1/50000。全球专利申请保护的全新结构设计还可拓展支持12个涂胶腔体及12个显影腔体，产能可达300片/h，在配备更多涂胶和显影腔体的条件下还能达到400片/h以上。 盛美上海已构建PECVD+涂胶显影+炉管（ALD、LPCVD等）+铜电镀+清洗等五大类产品平台。根据控股股东（ACM Research）公司资料，新产品PECVD、Track推出后，盛美可覆盖目标市场规模从原有的80亿美元，增加至160亿美元。盛美持续的新产品研发打开公司长期成长空间。 风险分析：芯片行业外部环境不确定性风险，技术迭代风险。 买入（维持） 作者 分析师：杨绍辉 执业证书编号：S0930522060001 021-52523860 Yangshaohui1@ebscn.com 行业与沪深300指数对比图 -37%-25%-13%-2%10%12/2103/2206/2209/22机械行业沪深300 资料来源：Wind 相关研报 一“明”一“暗”检缺陷，相辅相成提良率——半导体设备研究系列之明暗场缺陷检测设备（2022-12-10） 半导体行业景气度回升，先进制程工艺提升带动设备环节量价齐升——机械行业周报2022年第48周（11.20-11.26）（2022-11-29） 量测设备空间大格局好，上海精测、中科飞测等国产品牌蓄势待发——半导体量测设备行业跟踪（2022-11-24） 要点 中庚基金 敬请参阅最后一页特别声明 -2- 证券研究报告 行业及公司评级体系 评级 说明 行 业 及 公 司 评 级 买入 未来6-12个月的投资收益率领先市场基准指数15%以上 增持 未来6-12个月的投资收益率领先市场基准指数5%至15%； 中性 未来6-12个月的投资收益率与市场基准指数的变动幅度相差-5%至5%； 减持 未来6-12个月的投资收益率落后市场基准指数5%至15%； 卖出 未来6-12个月的投资收益率落后市场基准指数15%以上； 无评级 因无法获取必要的资料，或者公司面临无法预见结果的重大不确定性事件，或者其他原因，致使无法给出明确的投资评级。 基准指数说明： A股主板基准为沪深300指数；中小盘基准为中小板指；创业板基准为创业板指；新三板基准为新三板指数；港股基准指数为恒生指数。 分析、估值方法的局限性说明 本报告所包含的分析基于各种假设，不同假设可能导致分析结果出现重大不同。本报告采用的各种估值方法及模型均有其局限性，估值结果不保证所涉及证券能够在该价格交易。 分析师声明 本报告署名分析师具有中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格并注册为证券分析师，以勤勉的职业态度、专业审慎的研究方法，使用合法合规的信息，独立、客观地出具本报告，并对本报告的内容和观点负责。负责准备以及撰写本报告的所有研究人员在此保证，本研究报告中任何关于发行商或证券所发表的观点均如实反映研究人员的个人观点。研究人员获取报酬的评判因素包括研究的质量和准确性、客户反馈、竞争性因素以及光大证券股份有限公司的整体收益。所有研究人员保证他们报酬的任何一部分不曾与，不与，也将不会与本报告中具体的推荐意见或观点有直接或间接的联系。 法律主体声明 本报告由光大证券股份有限公司制作，光大证券股份有限公司具有中国证监会许可的证券投资咨询业务资格，负责本报告在中华人民共和国境内（仅为本报告目的，不包括港澳台）的分销。本报告署名分析师所持中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格编号已披露在报告首页。 中国光大证券国际有限公司和Everbright Securities(UK) Company Limited是光大证券股份有限公司的关联机构。 特别声明 光大证券股份有限公司（以下简称“本公司”）创建于1996年，系由中国光大（集团）总公司投资控股的全国性综合类股份制证券公司，是中国证监会批准的首批三家创新试点公司之一。根据中国证监会核发的经营证券期货业务许可，本公司的经营范围包括证券投资咨询业务。 本公司经营范围：证券经纪；证券投资咨询；与证券交易、证券投资活动有关的财务顾问；证券承销与保荐；证券自营；为期货公司提供中间介绍业务；证券投资基金代销；融资融券业务；中国证监会批准的其他业务。此外，本公司还通过全资或控股子公司开展资产管理、直接投资、期货、基金管理以及香港证券业务。 本报告由光大证券股份有限公司研究所（以下简称“光大证券研究所”）编写，以合法获得的我们相信为可靠、准确、完整的信息为基础，但不保证我们所获得的原始信息以及报告所载信息之准确性和完整性。光大证券研究所可能将不时补充、修订或更新有关信息，但不保证及时发布该等更新。 本报告中的资料、意见、预测均反映报告初次发布时光大证券研究所的判断，可能需随时进行调整且不予通知。在任何情况下，本报告中的信息或所表述的意见并不构成对任何人的投资建议。客户应自主作出投资决策并自行承担投资风险。本报告中的信息或所表述的意见并未考虑到个别投资者的具体投资目的、财务状况以及特定需求。投资者应当充分考虑自身特定状况，并完整理解和使用本报告内容，不应视本报告为做出投资决策的唯一因素。对依据或者使用本报告所造成的一切后果，本公司及作者均不承担任何法律责任。 不同时期，本公司可能会撰写并发布与本报告所载信息、建议及预测不一致的报告。本公司的销售人员、交易人员和其他专业人员可能会向客户提供与本报告中观点不同的口头或书面评论或交易策略。本公司的资产管理子公司、自营部门以及其他投资业务板块可能会独立做出与本报告的意见或建议不相一致的投资决策。本公司提醒投资者注意并理解投资证券及投资产品存在的风险，在做出投资决策前，建议投资者务必向专业人士咨询并谨慎抉择。 在法律允许的情况下，本公司及其附属机构可能持有报告中提及的公司所发行证券的头寸并进行交易，也可能为这些公司提供或正在争取提供投资银行、财务顾问或金融产品等相关服务。投资者应当充分考虑本公司及本公司附属机构就报告内容可能存在的利益冲突，勿将本报告作为投资决策的唯一信赖依据。 本报告根据中华人民共和国法律在中华人民共和国境内分发，仅向特定客户传送。本报告的版权仅归本公司所有，未经书面许可，任何机构和个人不得以任何形式、任何目的进行翻版、复制、转载、刊登、发表、篡改或引用。如因侵权行为给本公司造成任何直接或间接的损失，本公司保留追究一切法律责任的权利。所有本报告中使用的商标、服务标记及标记均为本公司的商标、服务标记及标记。 光大证券股份有限公司版权所有。保留一切权利。 光大证券研究所 上海 北京 深圳 静安区南京西路1266号 恒隆广场1期办公楼48层 西城区武定侯街2号 泰康国际大厦7层 福田区深南大道6011号 NEO绿景纪元大厦A座17楼 光大证券股份有限公司关联机构 香港 英国 中国光大证券国际有限公司 香港铜锣湾希慎道33号利园一期28楼 Everbright Securities(UK) Company Limited 64 Cannon Street，London，United Kingdom EC4N 6AE