前道检测与量测设备进入放量前夜，头部厂商确定性强

有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。 电子行业 行业研究 | 深度报告 ⚫ 前道检测与量测设备市场空间大，已进入放量前夜。 检测与量测设备是集成电路制造核心设备之一，是保证芯片良率的关键。2022年国内检测与量测市场空间约200亿元， 受制于科磊、应用材料等美系厂商，美系厂商在国内占到接近2/3的市场份额，仅科磊一家公司便占到55%市场份额。美国10月份的芯片管制新规直接导致国内长江存储、合肥长鑫等产线扩产规划受阻，相关厂商如果未来想在此次新规限制的技术范畴内扩产，检测量测设备的突破将成为关键的一环。根据我们的测算，国内头部厂商精测电子、中科飞测、上海睿励2021年在国内检测量测设备合计市场份额仅不足3%，行业国产化率未来3-5年至少10倍级提升空间。目前，头部厂商已有放量势头，精测电子2021年12月1日至2022年11月11日仅某单一大客户半导体检测量测设备新签订单就已达到约3.4亿，相当于今年前三季度该部分营收的3倍以上；中科飞测2021年底在手订单金额达到10亿元，是2020年底的约4倍。 ⚫ 检测与量测赛道先发优势明显，精测电子等头部厂商确定性强。检测量测设备硬件技术壁垒高，下游验证流程长、成本高，且功能的实现依赖数据积累和算法设计，头部厂商数据积累丰富，更具备优势，并且设备需要持续升级迭代，头部厂商依赖与下游头部晶圆厂的紧密合作能够第一时间了解下游客户最新工艺需求，保持技术的持续领先。因此，我们认为当前精测电子、中科飞测等头部检测与量测设备厂商有望持续保持领先优势，是未来检测量测国产化替代最大的受益者，具有高度确定性。未来国内检测量测设备龙头厂商将受益多维度成长：1）已有产品放量：精测电子等头部厂商已有产品国内市场空间均在百亿级别，当前精测电子等三家厂商合计仅5亿左右收入体量，未来放量空间广阔。2）新产品带来增量空间：目前前道检测与量测设备主要的产品类别有14种，精测电子等国内头部厂商每家仅能覆盖3-5种，但目前各家厂商均在持续推进新产品研发、认证，未来产品品类拓展能带来的增量空间广阔，将不断贡献新成长曲线。3）盈利能力提升：对标KLA最近财年60%毛利率、30%净利率的盈利水平，国内精测电子等厂商随业务起量盈利能力仍有广阔提升空间。4）长期服务收入起量：检测量测设备平均使用寿命12年（以KLA为例），随设备装机量提升服务收入将成为重要业绩增量来源，KLA服务收入占总收入比重超过20%。 ⚫ 复盘海外龙头：KLA 2010年以来股价实现约24倍增长。半导体设备厂商商业模式优异，强者恒强特征明显，受益全球半导体产能提升，同时摩尔定律推动下的技术升级驱动单位产能设备投资指数级别提升，为科磊等半导体设备厂商贡献长期增长动能。从股价表现来看，2010年初以来KLA股价实现约23.8倍增长，而同期纳斯达克指数仅实现5.3倍增长，KLA股价表现大幅跑赢指数。 ⚫ 我们看好半导体检测与量测设备国产替代加速，头部厂商深度受益，建议关注精测电子、中微公司、中科飞测、赛腾股份。 风险提示 ⚫ 半导体设备国产化进度不及预期、半导体设备行业景气度不及预期、客户验证进展不及预期、零部件断供风险。 投资建议与投资标的 核心观点 国家/地区 中国 行业 电子行业 报告发布日期 2022年12月05日 蒯剑 021-63325888*8514 kuaijian@orientsec.com.cn 执业证书编号：S0860514050005 香港证监会牌照：BPT856 李庭旭 litingxu@orientsec.com.cn 执业证书编号：S0860522090002 韩潇锐 hanxiaorui@orientsec.com.cn 杨宇轩 yangyuxuan@orientsec.com.cn 张释文 zhangshiwen@orientsec.com.cn 薛宏伟 xuehongwei@orientsec.com.cn 地方半导体设备补贴政策落地，支持力度可观 2022-12-02 从海外龙头发展历程看国内半导体设备企业投资价值 2022-11-29 半导体制造限制加剧，设备零部件国产化加速 2022-10-13 国内半导体前道设备厂商对比研究 2022-08-03 半导体前道设备研究框架 2022-07-14 前道检测与量测设备进入放量前夜，头部厂商确定性强 看好（维持） 电子行业深度报告 —— 前道检测与量测设备进入放量前夜，头部厂商确定性强 有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。 2 目 录 1.前道检测与量测设备市场空间大，已进入放量前夜 ..................................... 4 2.检测与量测赛道先发优势明显，头部厂商确定性强 ..................................... 7 3.他山之石：复盘海外龙头KLA看国内厂商投资价值 .................................. 10 投资建议 ...................................................................................................... 14 风险提示 ...................................................................................................... 14 电子行业深度报告 —— 前道检测与量测设备进入放量前夜，头部厂商确定性强 有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。 3 图表目录 图1：检测与量测设备示意图 ....................................................................................................... 4 图2：检测与量测主要应用 ........................................................................................................... 4 图3：检测与量测工艺贯穿整个芯片生产过程 .............................................................................. 4 图4：全球检测与量测设备市场规模............................................................................................. 5 图5：全球检测与量测设备市场格局-2020 ................................................................................... 5 图6：中国检测与量测市场格局-2020........................................................................................... 5 图7：国内检测与量测设备国产化率仅不足3% ............................................................................ 5 图8：精测电子近1年新签订单呈现明显放量趋势 ....................................................................... 6 图9：中科飞测在手订单快速增长 ................................................................................................ 6 图10：半导体设备国产化率有望加速提升 ................................................................................... 6 图11：华海清科CMP市场份额加速提升 ..................................................................................... 6 图12：检测设备跨越多个技术领域 .............................................................................................. 7 图13：国内主要检测与量测设备厂商晶圆制造环节产品布局及市场空间 ..................................... 8 图14：国内检测与量测设备头部厂商产品覆盖度相比KLA提升空间广阔 .................................... 8 图15：国内外主要半导体设备厂商毛利率对比（2021） ............................................................. 9 图16：国内外主要半导体设备厂商净利率对比（2021） ............................................................. 9 图17：KLA设备平均使用寿命达12年（装机量，台） ............................................................... 9 图18： KLA服务收入呈指数级增长 ............................................................................................. 9 图19：KLA股价表现大幅跑赢纳斯达克指数（以2010年初股价为基数计算） ......................... 10 图20：科磊主营业务收入情况 ................................................................................................... 11 图21：KLA产品优势 ................................................................................................................. 11 图22：KLA研发投入大于大多数同业竞争者在检测设备领域的营收-2021（单位：百万美元） 12 图23：KLA研发投入情况 .......................................................................................................... 12 图24：KLA拥有强大的客户基础 .........................................................................