22Q3业绩翻倍增长，半导体零部件新业务有望进入放量期

敬请参阅最后一页特别声明 -1- 证券研究报告 2022年10月30日 公司研究 22Q3业绩翻倍增长，半导体零部件新业务有望进入放量期 ——至纯科技（603690.SH）系列跟踪报告之七 买入（维持） 事件：2022年10月28日，公司发布2022年三季报：公司2022年前三季度营业收入为19.25亿元，同比增长50.13%；归母净利润为1.63亿元，同比减少13.55%；扣非归母净利润为1.86亿元，同比增长130.54%；毛利率为35.48%，同比增长0.09pcts；净利率为8.73%，同比减少5.69pcts。 公司2022Q3营业收入为8.06亿元，单季同比增长122.51%；归母净利润为0.81亿元，单季同比增长115.60%；扣非归母净利润为0.88亿元，单季同比增长133.25%；毛利率为34.63%，净利率为10.06%。 点评：公司22Q3营收同比+123%，净利润同比+116%，扣非净利润同比+133%，均实现翻倍以上增长。公司22Q3营收同比+123%，主要系高纯系统和半导体设备业务订单大幅增长所致；归母净利润同比+116%，扣非归母净利润同比+133%，均实现翻倍以上增长，表现良好。 公司22Q4扣非归母净利润预期同比增长40-76%。公司预期22年全年扣非归母净利润3-3.3亿元，22年前三季度扣非归母净利润1.86亿元，由此推算22Q4扣非归母净利润在1.14-1.44亿元之间，同比增长40-76%，盈利能力表现良好。 公司22前三季度新增订单总额36.21亿，订单量饱和，预计全年将超预期。公司22年前三季度新增订单总额36.21亿元，已经完成全年40亿总目标的90.5%，预计全年将超预期。公司订单增长较快，目前生产处于饱和运行状态。 公司半导体湿法设备持续放量，高纯系统中支持类设备占比不断提升。半导体湿法设备：公司已取得国内主流逻辑芯片厂的批量订单，陆续获得国内主要存储客户的订单及验证机会，目前主打产品包括 SPM、晶背清洗等机型在下游核心关键工序段均得到第一梯队客户认可并获得持续订单，全年预期新增订单量20亿元；高纯系统：支持类设备包括高纯特气设备、高纯化学品供应设备、研磨液供应设备、前驱体供应设备、工艺尾气液处理设备、干法机台气体供应模块等，气体及化学品设备国产替代进展顺利，已经成为主流集成电路制造客户的认定品牌且出货量迅速增长，支持类设备在高纯业务中占比不断提升。 积极布局半导体零部件及电子大宗气体业务。公司在合肥布局零部件清洗及晶圆再生业务，在海宁工厂布局零部件制造业务，有望进入放量期；大宗气嘉定工厂22年初顺利供气，为首座完全国产化的12英寸晶圆先进制程大宗气体供应工厂。 盈利预测、估值与评级：我们维持至纯科技22-24年的归母净利润分别为3.81、5.55、7.26亿元，当前市值对应的PE分别32x、22x、17x，维持“买入”评级。 风险提示：国产化进度不及预期，晶圆厂扩张不及预期，技术研发不及预期。 公司盈利预测与估值简表 指标 2020 2021 2022E 2023E 2024E 营业收入（百万元） 1,397 2,084 2,881 3,718 4,662 营业收入增长率 41.63% 49.18% 38.24% 29.03% 25.42% 净利润（百万元） 261 282 381 555 726 净利润增长率 136.36% 8.12% 35.36% 45.48% 30.77% EPS（元） 0.85 0.88 1.19 1.73 2.27 ROE（归属母公司)（摊薄） 8.29% 6.93% 8.58% 11.09% 12.67% P/E 46 44 32 22 17 P/B 3.8 3.0 2.8 2.5 2.2 资料来源：Wind，光大证券研究所预测，股价时间为2022-10-28；股本2020-2022年分别为3.08/3.19/3.20亿股； 当前价：38.54元 作者 分析师：刘凯 执业证书编号：S0930517100002 021-52523849 kailiu@ebscn.com 联系人：杨德珩 yangdh@ebscn.com 市场数据 总股本(亿股) 3.20 总市值(亿元)： 123.37 一年最低/最高(元)： 26.66/65.00 近3月换手率： 174.85% 股价相对走势 -41%-23%-5%13%31%10/2101/2204/2207/22至纯科技沪深300 收益表现 % 1M 3M 1Y 相对 3.98 15.33 9.98 绝对 -2.95 -0.13 -17.61 资料来源：Wind 相关研报 中国半导体清洗设备巨头高速成长，气体等半导体服务业务空间广阔——至纯科技（603690.SH）跟踪报告之六（2022-09-20） 22Q2扣非净利润同比+48%，清洗设备业务高速增长——至纯科技（603690.SH）系列跟踪报告之五（2022-09-06） 22Q1营收和扣非净利润同比大幅增长，半导体湿法设备进入快速放量期——至纯科技（603690.SH）系列跟踪报告之四（2022-05-02） 要点 敬请参阅最后一页特别声明 -2- 证券研究报告 至纯科技（603690.SH） 1. 公司部分季度财务指标 图表1：至纯科技近两年单季营收、归母净利润及成本情况 图表2：至纯科技近两年单季毛利率及净利率情况 资料来源：wind、光大证券研究所 资料来源：wind、光大证券研究所 图表3：至纯科技近两年合同负债情况 图表4：至纯科技近两年存货情况 资料来源：wind、光大证券研究所 资料来源：wind、光大证券研究所 图表5：至纯科技近两年存货周转率情况 图表6：至纯科技近两年应付账款周转率情况 资料来源：wind、光大证券研究所 资料来源：wind、光大证券研究所 敬请参阅最后一页特别声明 -3- 证券研究报告 至纯科技（603690.SH） 利润表（百万元） 2020 2021 2022E 2023E 2024E 营业收入 1,397 2,084 2,881 3,718 4,662 营业成本 883 1,330 1,820 2,268 2,828 折旧和摊销 47 62 88 117 147 税金及附加 10 10 14 19 23 销售费用 54 74 102 130 163 管理费用 138 199 277 357 443 研发费用 96 144 202 260 326 财务费用 76 79 74 82 80 投资收益 22 51 10 20 20 营业利润 297 371 471 609 836 利润总额 298 375 454 631 824 所得税 37 90 73 76 99 净利润 261 284 381 555 726 少数股东损益 0 2 0 0 0 归属母公司净利润 261 282 381 555 726 EPS(元) 0.85 0.88 1.19 1.73 2.27 现金流量表（百万元） 2020 2021 2022E 2023E 2024E 经营活动现金流 -281 -191 398 362 502 净利润 261 282 381 555 726 折旧摊销 47 62 88 117 147 净营运资金增加 682 821 552 428 447 其他 -1,271 -1,355 -624 -737 -818 投资活动产生现金流 -909 -716 -538 -570 -572 净资本支出 -583 -921 -587 -590 -592 长期投资变化 231 206 0 0 0 其他资产变化 -557 -1 49 20 20 融资活动现金流 2,218 906 90 263 84 股本变化 49 11 2 0 0 债务净变化 845 277 124 303 116 无息负债变化 195 569 164 456 451 净现金流 1,028 -4 -50 55 14 资产负债表（百万元） 2020 2021 2022E 2023E 2024E 总资产 5,957 7,933 8,602 9,916 11,209 货币资金 1,503 1,519 1,469 1,524 1,539 交易性金融资产 0 0 0 0 0 应收账款 980 1,206 1,268 1,636 1,846 应收票据 15 13 29 37 47 其他应收款（合计） 61 104 115 149 186 存货 794 1,183 1,357 1,580 1,972 其他流动资产 166 203 243 284 332 流动资产合计 3,751 4,766 4,985 5,822 6,669 其他权益工具 149 154 154 154 154 长期股权投资 231 206 206 206 206 固定资产 530 975 1,313 1,668 2,025 在建工程 433 373 550 682 782 无形资产 124 173 180 186 192 商誉 256 256 256 256 256 其他非流动资产 79 129 168 168 168 非流动资产合计 2,205 3,167 3,617 4,094 4,540 总负债 2,796 3,643 3,930 4,689 5,257 短期借款 959 1,283 1,483 1,726 1,782 应付账款 345 527 728 1,021 1,273 应付票据 28 11 18 23 28 预收账款 0 0 0 0 0 其他流动负债 53 80 104 129 157 流动负债合计 1,810 2,761 2,955 3,611 4,072 长期借款 588 649 709 769 829 应付债券 228 0 0 0 0 其他非流动负债 35 180 220 262 309 非流动负债合计 986 881 976 1,077 1,185 股东权益 3,161 4,290 4,672 5,227 5,952 股本 308 319 320 320 320 公积金 2,288 3,088 3,125 3,172 3,172 未分配利润 482 673 1,016 1,524 2,249 归属母公司权益 3,143 4,066 4,448 5,002 5,728 少数股东权益 18 224 224 224 224 盈利能力（%） 2020 2021 2022E 2023E 2024E 毛利率 36.8% 36.2% 36.8% 39.0% 39.3% EBITDA率 20.2% 23.2% 20.1% 22.5% 23.0% EBIT率 16.8% 20.1% 17.0% 19.4% 19.8% 税前净利润率 21.3% 18.0% 15.8% 17.0% 17.7% 归母净利润率 18.7% 13.5% 13.2% 14.9% 15.6% ROA 4.4% 3.6% 4.4% 5.6% 6.5% ROE（摊薄） 8.3% 6.9% 8.6% 11.1% 12.7% 经营性ROIC 5.7% 6.4% 6.8% 9.2% 10.5% 偿债能力 2020 2021 2022E 2023E 2024E 资产负债率 47% 46% 46% 47% 47% 流动比率 2.07 1.73 1.69 1.61 1.64 速动比率 1.63 1.30 1.23 1.17 1.15 归母权益/有息债务 1.64 1.86 1.92 1.91 2.10 有形资产/有息债务 2.86 3.29 3.42 3.53 3.85 资料来源：Wi