至纯科技发布2022年三季度业绩公告，公司实现营业收入19.25亿元，同比增长50.13%；归母净利润1.63亿元，同比下滑13.55%；扣非净利润1.86亿元，同比增长130.54%。公司收入、订单持续高增，费用率稳中有降。公司于6月21日发布可转债预案，拟募资不超过11亿元用于募投项目的建设，其中半导体设备模组及部件制造项目用于湿法清洗设备关键零部件的突破。我们预计公司2022-24年收入分别29.34/38.62/47.05亿元，对应增速分别为40.75%/31.66%/21.82%，归母净利润分别为3.69/4.95/6.29亿元，对应增速分别为30.81%/34.34%/26.96%，EPS分别为每股1.15/1.55/1.96元，CAGR为30.67%，对应PE为33x/25x/20x。鉴于公司湿法设备处于快速扩张时期且各业务板块稳定增长，给予公司2023年30倍PE，对应目标价46.40元，维持“买入”评级。
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