首次覆盖报告：12寸CMP设备唯一国产厂商，受益进口替代大潮

首次覆益，龄予“增持"评级。公司充分受益近年国产进口替代大潮，业 续将快速提升，预计2022-24年EPS分别为3.83、6.42、9.39元，对应增 建106%、68%、46%。结合PE、FCFF估值法，得到市债453.35亿元，对应2022年PE为110倍， 对应目标价425.01元，给予增持评级。 国产12寸CMP设备先锋，业绩进入快速爆发期。公司是12十呢一国产 CMP供应商：2021年占四大厂主要产线12寸CMP招标份额超40%，随着金属CMP设备取得突破，占固产产线份额有望持续突破、2020年底公 司启用新厂房，产能得以释放，产能空间达到40亿以上，且随着交付-验收周期大幅缩，公司CMP设备业务将进入持续爆发期、 发力14nm及以下高端制程，持续创新突碳，目前公司CMP设备主要在 28nm批量应用，14nm节点正在验证，公司将依托国家重大专项，持续进行14-7nm段研发，在当前全球平学体行业“去全球化”的背素"下，公 司的CMP将对大转品图制造能力提供有力支撑、此外：CMP设备在各段节点问通用性较强，公司有望在国产产线以外客户取得突破 立足CMP装备，转向后市场维保及晶图再生业务，从应材业务结构看，设备维保占比接近3成，且后市场客户粘性更强、盈利能力更优，每台 CMP设备每年维保价值量200万左右，随着公司CMP累计出贷量增加， 维保业务将持续增长，此外；立足CMP设备，拓展大陆品图再生市场， 募投项目将建立10万片/月品图再生产线，持续寻我新的业务增长点。 风险提示：疫情影响生产研发交付进度，新工艺进度不及预期等 华海清科（688120) 模型更新动间： 财%系期（单效，百万元） 2022.10.10 21214 2821A 222K 2123E: 股票研究 1,720 专业总款入 943 可造消资品 机减制造亚 EnrT 华海清科(688120) 净利料 免产负情表 首次覆盖 818 3819 4./r28 评级： 增持 = 因完安产含计 42 目标价格： 425.01 118 3,ot8 8,44 11,a5s 5前价格： 332.16 163 1,979 2022.10.10 4,73 i,104 5438 6,34 NOPLAT 197 381 619 357 公司网址 www.hwatsingcom 安本克山 公司商介 公司是一享拥有核心自主和识产权的高请平导依设务制选商，公司主要从事半学体卡用议备的研发，生产，销售及技 121 83.0% %rss EAEK 113.7% 46.3%5: 2% 术服务，主委产品为化学机械热光(CMP) 4% EBITI 169.5% 1065% 62.9% 设备. 672 1128% 194 1% 165 4 4.2% 38.25 44.7% 156% 451%233% DIT 241% 22.5% 25.3% 24.6% 23.8% 净多>收9率(30E) 14.1% 24.5% 1.7% 12.4% 15.2% 65% 55% 7.7% 2AE(ROI0) 17.5% 13.5% 3.06; I1.4% 14.7% 绝对价格回报（%） 学要产国转图转天费 1.905.9 1,152 314, 9.0% Jn 23.3% 33.5% 40.2% 43.0m 1458% 274.7% 515% 97.3% 75.5% -11% -3% 4% 11% 19% 2% 346 4.% 352.32 171.69 2215 52购内价格注围市值（百万元） 221.50-377.00 0t'sE 经来地计家报和相对家场 净资产（现金）/净负债 利润车越势 148 279 77% 472 445 624 39; 15% 3212 15%; 17% 243; 11% 45% 1851 7% 41% s74 a 322-06 2122-06 4E 21A 请务必阅读正文之后的免责争款部分20f44 1.12英寸唯一国产CMP厂商，市场份额快违提升 1.1．背靠清华优秀资源，核心管理层均有丰富学术产业货景.. 1.1.1，实控人为四川回资，管理层及技水骨干均持股……1.1.2.核心管理层均有学大或产业车富营景 CMP设备图产化先锋，产能持续扩大 12寸CMP设备唯一国产供应商，客户拓展持续突破...5大客户及应用额领域不断拓展，市场份额大幅提升。 ..6 在手订单充足，产能持续大幅扩张 .8 1.3.进入业绩爆发期，持续研发加码高端工艺装务产能持续释放，将进入业绩持续爆发期 .9 承裁图家重大项目，后结有望成为重点培育装备平台...10 同产替代先锋， 与国际巨头分庭抗礼 2.1.扩产观划明确，资本开支高景气延续 国产品圈厂扩产规划陆续落地，公司将获得大部分份额.12全球品圆广资本开支高景气延线 2.2.CMP设备与国际品牌分庭抗礼 高端CMP设务主要由应材和日本挂原供应 产能大幅提升、未来将积极开拓大陆以外市场立足CMP装备，转向后市场及品图再生业务，3.1.适应先透对装需求，开发抛光流薄一体机随累计销售量增加，后市场维保空问较大依托CMP设备，发力品图再生市场 .15 .17 .17 .21 募投资金加码高端CMP装备产业化研发及晶国再生 .28 盈利预测与估值。 .29 盈利预测、估值分新， .31 风险示 32 32 疫情影响生产研发交付进度 新工艺设各研发及产业化进度不及预期市场竞争风险 33 6.3, 与清华合作研发并经其投权使同专利 EE 改府补助与税收优惠政策变动 .34 附：CMP技术评详解. .. 35 CMP广泛应用大规模集成电路前后道制程大姚模集成电路制造催生CMP工艺需求 .35 .35 CMP工艺应用千前后道多个制程， .37 品围大片、薄片及精细化趋势下，CMP工艺难度大幅提升CMP设备包括驰光、清洗，传送等模块 .40 40 制轻节点升级下对CMP精度及需求大幅提升 It' 请务必阅读正文之后的免责录款部分3of44 华海清科（688120) 1.12英寸唯一国产CMP厂商，市场份额快速提升 1.1．背靠清华优秀资源，核心管理层均有丰富学术产业背景 1.1.1.实控人为四川国资，管理层及技术骨千均持股 以30项化学机械地光专利知识产权出资，设立华海清科前身。2013 年4月，清拉创投、康茂怡然，联合天津财投，科海投资、天津科融以知识产权和货币出资共同设立华海清科有限，成为股份公司前 身，注册资本6000万元，其中清控创投，康茂怡然以知识产权入股，分别认缴出资额为1836万、1224万元 清控创投为控股股东，管理层及核心技术人费均特股，载至22H1，公司控股股东、实际控制人为清控创投，持有公司28.19%。清华控股持有清控创投100%股权，2022年5月清华大学将清华控股100% 股权划入四川省同资委，同对清华控股名称变为天府清源控股有限 公司（简称：“天府清源"）2022年7月四川国资委正式将天府清源 100%股权以股权投责的方式投入四川能投，最终四川能投持有天 府清源100%股权，间接持有华海清科28.19%股权。贝工持股方面， 2019年8-10月，公司实施页工持股计划，设立清球厚稳、清速立德清津立言三个负工持股平台，截至2022H1， 客平台分别持有公司 7.68%.1.43%和0.06%股份，激励对象包括公司管理层及技术骨干， 图1：管理层及核心技术人员均持股 表1: 请务必阅读正文之后的免责争款部分4of44 华海清科（688120) 营任清华学等学国家重点实工程师 副总经理副总经理 请任职中芯区际，清华摩接学国家正点实验宝 王同庆赵德文王怀需 制总经理、董松别总终理财务总监 含任清华机械工程系别研究资请任职七星华创，办盛精密 数据来源： 公司公告，国泰君安证券研究 CMP设备国产化先锋， 产能持续扩大 1.2.1.12寸CMP设备唯一国产供应商，客户拓展持续突破 图产12英寸CMP设备唯一供应商，集成电路制造商根据直径标准分为 6寸，8寸，12寸等，目前90mm以下工艺的高端市场普逸采用12寸，而12英寸CMP设备较8寸相比，直径增长50%，面扩大125%，精 度要求更高，需要更先避的抛光头精密分区压力拉制技术和更先进的终点监测技术，一报8寸CMP抵光头仅需要不超过3个乐力分区，而12英寸CMP越光头则需要6至8个压力分区，因此12英寸CMP设务是 业界公认的衡量一个厂家CMP设务研发技术水平的标杆产品；公司是 目前国内唯一一家量产12英寸CMP商业机型的高端半早体设备制造商。 公司CMP设备从12英寸做起，并不断设计产品功能模块，产品应用领成电得以不断拓展，之后开发的8英寸设备则可满定目前批光及清洗需求，此外还有12寸减落抛光一体机，以及配套耗材业务 表2：公司产品线主要包括12寸、8寸CMP设备以及12寸减薄撼光设备 客户拓展及应用领城持续获得突破。华海清科设立千2013年4月， 2014年，公司研制出国内首台12英寸CMP设备Universal-300.2015 年，首台委设各进入中芯同际，2016年即验收。 2015年，公司参与承担国家02专项，同年研制出升级产品 Universal-300Plus，2017年印进入中芯国际产践，同年完成验收， 并通过Oxide、W多项工艺验证， 2018年，Univcrsal-300Dual产品进入长江存储，并于2019年完成 请务必阅读正文之后的免责争款部分5of44 华海清科（688120) 验收：2019年还完成多品全、Cu等多项工芒验证， 与此同时，2017年公司8英寸设备Universal-200研制点功，并进入 客户验证，同年完成验改，2019年，Universal-200Plus研制成功， 2020年进入客户产线并完成验收， 2020年一些新产品进入产线验证，Universal-300X研制成功并进入 产或：Universal-300T产品研制成功，12英寸减萍设备VersatileGP 300研制成动，并成动进入产线验证 图2：华海清科产品客户验证持续取得突破 华海清科（688120) 6.12%和 12.64%, 从订单着，根据长江存储、华虹无锡，上海华力一二期、上海积塔在 中标结采，2019-21年公司占CMP采购量份额分别为21.05%，40.09%. 44.26%：市场份额大幅提升。 从大法主要客户希，华虹集团2018年1月交付首台验证机，2018-19 年共交付5台，2019年11月-2021年12月，共采购25台，而2018-21 年华虹兴验收15台，合计营载3.08亿；中芯国际作为首次验证完成客户：2018-21年共采购37台，验收5台，对应收入1.8亿；长江存 储2018年7月完成首台12寸CMP设务验证，2018-21年共采购53 台，验收33台，对应收入7.5亿。（注：以上营收包括设备和耗材） 表3：大客户不断突破，份额持续提升 非金属、金属CMIP齐头并进，市场份额不断提升。从IC前道制程看， 就CMP设备种类看，遇辑产线中CuCMP设备需求占一半，非金属 占一半，而WCMP比较少；存储产线中WCMP占30%，CuCMP 占30%：绝缘层占一半。公司在早期进入大客户的设务中，客户非会 属需求较大，前期非金属占比较高。根据中国国际招标网，2020年公 司共中标华红无锡厂4台WCMP设备，积塔也有3台W