【海通电子】中微公司披露限制性股票激励计划草案 & 对上海睿励增资 I、拟授予400万股限制性股票，约占草案公告时股本总额6.16亿股的0.649%，一次性授予，无预留权益；计划限制性股票的授予价格为50元/股。激励对象总人数1104人，占总人数的99.37%，包括董事、高级管理人员、核心技术人员及董事会认为需要激励的其他人员。限制性股票激励的考核目标为：以2021年度的营业收入31亿元为基数（业绩快报披露），2022年、2023年、2024年、2025年营业收入较2021年的收入增长率分别为≥20%、≥45%、≥70%、≥100%。II、按照睿励投前估值6.1亿元，中微公司以现金方式出资1.08亿元认缴睿励新增注册资本7576.68万元，认购单价1.43元/股，持股比例由20.45%增加至29.36%。睿励主营为光学膜厚测量设备、光学缺陷检测设备，以及硅片厚度及翘曲测量设备等。12英寸光学测量设备TFX3000系列产品已应用在65/55/40/28nm产线，并在进行14nm工艺验证，在3D存储芯片产线支持64层3D NAND芯片的生产，并正在验证96层3D NAND芯片的测量性能。公司正在开发下一代可支持更高阶芯片制程工艺的膜厚和OCD测量设备以及应用于集成电路芯片生产的缺陷检测设备。