CMP设备稀缺龙头，在手订单快速增长
- 1 - 敬请参阅最后一页特别声明 发行价格（ 人民币）：136.66元 目标价格（ 人民币）：239.00元 市场数据(人民币) 沪深300指数 4166 赵晋 分析师 SAC执业编号：S1130520080004 z haojin1＠gjzq.com.cn 邵广雨 联系人 s haoguangyu＠gjzq.com.cn CMP设备稀缺龙头，在手订单快速增长 公司基本情况(人民币) 项目 2020 2021 2022E 2023E 2024E 营业收入(百万元) 386 805 1,702 2,837 4,023 营业收入增长率 82.95% 108.58% 111.49% 66.66% 41.80% 归母净利润(百万元) 98 198 375 595 818 归母净利润增长率 -163.42% 102.76% 89.13% 58.74% 37.38% 摊薄每股收益(元) 1.222 2.478 3.505 5.564 7.643 每股经营性现金流净额 1.86 4.81 2.44 1.44 3.31 ROE(归属母公司)(摊薄) 16.07% 24.53% 8.26% 11.89% 14.52% P/E N/A N/A 38.98 24.55 17.87 P/B N/A N/A 3.22 2.92 2.60 来源：公司招股书、国金证券研究所（IPO摊薄后,P/E、P/B为发行价） 投资逻辑 CMP（化学机械抛光） 设备市场稳步增长，国产厂商加速替代。下游应用需求增长和芯片工艺进步背景下，CMP设备需求量显著提升，市场规模稳步增长。根据SEMI数据，2021年全球CMP设备市场空间约为26亿美元，中国大陆7.5亿美元，随着先进制程发展，CMP步骤从65nm的12道步骤增加到7nm的30道，并会增加新材料的去除工艺。国产替代空间广阔，AMAT和荏原在全球CMP设备中占比超过90%，华海清科为唯一量产CMP设备的国内厂商，2018-2021年公司在国内CMP市场的占有率分别为1.1%、6.2%、12.6%、16.5%，国产化率持续快速提升，部分产线2021年根据中标台数国产化率超过40%。 华海清科是国内唯一量产12英寸CMP设备的设备厂商，具备稀缺性，在手订单爆发。在逻辑芯片制造、3D NAND 制造、DRAM 制造等领域的工艺技术水平已分别突破至14nm、128 层、1X/1Ynm。28nm及以上制程设备性能可以和国外厂商媲美。公司的前三大客户为长江存储、华虹集团和中芯国际， 2021年底公司在手订单超过70台，预计在2022年陆续确认收入。根据招股书，公司2022年上半年预计实现营收5.5-7亿元，同比增长87%-138%，归母净利润1.4-1.8亿元，同比增长98-155%。公司背靠清华大学，核心研发骨干是来自于清华大学摩擦学实验室的教职人员，2021年研发人员快速增长82%，逐步建立起稳定高效的研发体系。 华海清科IPO发行2667万股实际募资36亿元，发行价格136.66元，横向纵向发展CMP产业。除了纵向发展先进制程的CMP设备，公司业务横向拓展到减薄抛光一体机、抛光耗材和晶圆再生业务。CMP 设备是晶圆再生中的核心设备，目标客户与公司 CMP 设备客户高度重合，2020 年起已成功获得业务订单并规模化生产，预计形成10 万片/月12 英寸再生晶圆的生产能力。 投资建议 预计公司 2022-24 年收入分别为17/28/40亿元，同比增长111%、67%、42%，归母净利润为3.8/6.0/8.2亿元，同比增长89%、59%、38%，上市后EPS为3.51/5.57/7.68元。参考行业可比公司估值，我们给予公司22 年合理 PS约15x，对应合理股价239元/股，首次覆盖，给予“买入”评级。 风险提示 下游资本开支及行业增速不及预期、客户集中度高风险以及零部件供应交期增加等风险，人民币汇率波动风险。 2022年06月06日 创新技术与企业服务研究中心 华海清科 (688120.SH) 买入（首次评级） 公司深度研究 证券研究报告 公司深度研究 - 2 - 敬请参阅最后一页特别声明 内容目录 一、CMP行业：市场规模稳步增长，国产厂商加速突破 ...................................4 1、CMP是半导体制造过程中实现晶圆全局均匀平坦化的关键工艺 ................4 2、全球CMP设备21年26亿美元市场，国内晶圆厂持续扩产带来订单机会 .5 3、美国应材与日本荏原垄断全球 90%市场，2021年国产化率达到16.5% .....6 二、华海清科：具备稀缺性，在手订单爆发 ....................................................8 1、国内唯一的CMP设备量产供应商，营收快速增长 ....................................8 2、CMP设备量价齐升，21年末在手订单超70台，长存和华虹为前2大客户 .................................................................................................................10 3、零部件国产化率达到50%，利润率同比国内设备同行较高 .....................12 4、背靠清华大学，公司拥有优秀研发团队并快速扩张 ...............................14 三、募资资金扩大CMP产能，横向纵向发展CMP产业 ....................................15 四、盈利预测及投资建议 ..............................................................................16 1、盈利预测：预计2022-24年营收17/28/40亿 元 ， 增 速 分 别 为111%/67%/42% ............................................................................................16 2、投资建议：给予2022年15倍PS，目标价239元/股 ............................17 五、风险提示 ...............................................................................................18 图表目录 图表1：CMP设备主要用于集成电路制造、硅片制造和先进封装领域 ...............4 图表2：CMP工艺步骤数随制程发展不断增加 ..................................................5 图表3：9-11 层金属结构 Cu CMP 的示意图 ...................................................5 图表4：全球半导体设备市场持续增长，中国大陆占比30% .............................6 图表5： 2021年中国大陆CMP设备市场约为7.5亿美元.................................6 图表6：中国大陆内资12英寸晶圆厂持续扩产 ...............................................6 图表7：美国AMAT与日本EBARA垄断全球 90% 以上市场................................7 图表8：公司与应用材料和荏原的产品、技术等对比.......................................8 图表9：2021年国内CMP设备国产化率约为16.5% ..........................................8 图表10：部分产线中标机台数国产化率达到40%以上 ......................................8 图表11：公司产品主要有Universal300和200系列.......................................9 图表12：2017-21年公司营收持续快速增长 ..................................................10 图表13：公司以CMP设备为主占营收比例在90%上下 ....................................10 图表14：公司2019-2021年销售CMP设备机台数量和单价 ............................10 图表15：长江存储、华虹集团、中芯国际为公司前三名主要客户 ................. 11 图表16：长江存储贡献收入2021年快速提升 ............................................... 11 图表17：华虹集团贡献收入近年来持续增长 ................................................. 11 图表18：合同负债2021年大幅增加至7.8亿元............................................12 图表19：存货中发出商品2021年快速增长...................................................12 gYlWmUbYlUcZiZqQyQnMmMaQ9R6MsQnNtRtRfQoOoQlOpPpQaQoPmPvPnOnRMYmNoR公司深度研究 - 3 - 敬请参阅最后一页特别声明 图表20：公司前五大原材料供应商 ...............................................................12 图表21：公司2020年归母净利润实现扭亏...................................................13 图表22：随规模效应公司利润率水平持续提升 .............................................13 图表23：公司扣非后净利润率高于国内同行 .................................................13 图表24：公司股权结构，实际控制人为四川省国资委 ...................................14 图表25：公司资深研发技术团队骨干成员 ....................................................14 图表26：公司研发费用持续快速增长 ...........................................................15 图表27：公司IPO募投项目 .........................................................................15 图表28：公司配套材料及技术服务收入及毛利率情况 ...................................16 图表29：公司主营业务收入预测（分项目） .........................
