机械设备行业半导体设备中标专题(2022年5月)：10家晶圆厂开标79台工艺设备，刻蚀国产率维持高位

请务必阅读正文之后的信息披露和法律声明 [Table_Main] 证券研究报告 | 行业专题 机械设备 2022年06月06日 机械设备 优于大市（维持） 证券分析师 倪正洋 资格编号：S0120521020003 邮箱：nizy＠tebon.com.cn 研究助理 杨云逍 邮箱：yangyx＠tebon.com.cn 市场表现 相关研究 1.《——第30期周观点-5月制造业PMI环比+2.2pp预计库存正加速消化，重点推荐高景气确定性更强的油服板块》，2022.6.4 2.《PMI点评：5月制造业PMI环比+2.2pp为49.6%，景气度改善产成品库存有望加速消化》，2022.5.31 3.《——第29期周观点-美国页岩油气、巴西深水等区域油服市场未来几年将呈现高景气》，2022.5.28 4.《油服：美国页岩油气、巴西深水等区域油服市场未来几年将呈现高景气》，2022.5.27 5.《——第28期周观点-关注光伏设备、油服设备、国产刀具投资机会》，2022.5.21 半导体设备中标专题（2022年5月）：10家晶圆厂开标79台工艺设备，刻蚀国产率维持高位 [Table_Summary] 投资要点：  2022年5月国内主流晶圆厂共开标79台工艺设备，上海积塔为扩产主力。我们以长江存储、华力集成、华力微电子、福建晋华、华虹无锡、合肥晶合、上海积塔、中车时代、中芯绍兴、武汉新芯10家中国大陆主要的IDM 或代工企业为统计样本，通过中国国际招标网对上述晶圆厂中标情况进行梳理。2022年5月国内10家主流晶圆厂共开标79台工艺设备，主要来自上海积塔（54台）、华虹无锡（12台）、福建晋华（8台）、时代电气（2台）、华力集成（3台）。22年1-5月合计开标480台工艺设备，主要来自华虹无锡（280台）、上海积塔（158台）、时代电气（16台）、福建晋华（20台）、华力集成（5台）、华力微电子（1台）。  沉积、前道检测、刻蚀设备为2022年5月国内晶圆厂主要开标设备。2022年5月开标的79台设备中，按照不同工艺设备开标数量从高到低排列，分别为沉积设备（28台）、前道检测设备（14台）、刻蚀设备（13台）、炉管设备（5台）、抛光设备（5台）、光刻机（4台）、清洗设备（3台）、涂胶显影机（3台）、干法去胶机（3台）、离子注入机（1台）。2022年1-5月开标的480台设备中，按照不同工艺设备开标数量从高到低排列，分别为炉管设备（117台）、沉积设备（89台）、刻蚀设备（74台）、前道检测设备（62台）、后道测试设备（35台）、抛光设备（20台）、清洗设备（20台）、离子注入机（19台）、涂胶显影设备（17台）、干法去胶设备（17台）、光刻机（10台）。  受国内刻蚀、干法去胶、涂胶显影等设备厂家拉动，中标国产率持续提升。2022年5月中国大陆设备中标数量为47台（包含翻新、二手及外贸业务的厂家），国产率达59.5%。2022年1-5月开标的480台设备中，源自中国大陆厂家制造的设备共计144台，占比达30.0%。分晶圆厂看，2022年1-5月，上海积塔设备国产率超50%；分设备看，2022年1-5月国产率较高的环节主要为干法去胶设备（国产率76%）、刻蚀设备（49%）、抛光设备（45%）、清洗设备（40%）、离子注入机（37%）、涂胶显影设备（35%）。聚焦5月份国内中标厂商，北方华创（中标10台）、拓荆科技（11台）、华海清科（5台）、江苏旭宇腾（4台）、上海微电子（4台）排名靠前，持续体现国内厂家在刻蚀、清洗、干法去胶、涂胶显影等设备环节的强势地位。  投资建议：重点关注国内半导体设备龙头北方华创（002371）；高端刻蚀设备龙头中微公司（688012）；持续突破高端后道测试机的长川科技（300604）、华峰测控（688200）；涂胶显影与单片清洗不断突破前道环节的国内半导体设备小巨人芯源微（688037）；半导体薄膜沉积龙头拓荆科技（688072）；国产清洗设备领军企业盛美上海（688082）、至纯科技（603690）；离子注入机领先企业万业企业（600641）；半导体环保设备领先企业盛剑环境（603324）等。  风险提示：晶圆厂扩产不及预期、设备公司研发不及预期、中美贸易摩擦风险。 -34%-29%-24%-20%-15%-10%-5%0%2021-062021-102022-02沪深300 行业专题 机械设备 2 / 12 请务必阅读正文之后的信息披露和法律声明 内容目录 1. 2022年5月10家晶圆厂开标79台工艺设备，设备国产率维持高位 ......................... 4 1.1. 2022年5月国内主流晶圆厂公开标79台设备 .................................................. 4 1.2. 分晶圆厂看：上海积塔5月开标54台设备，华虹无锡开标12台设备 ............ 5 1.3. 分设备看：沉积、前道检测、刻蚀设备贡献2022年5月主要扩产增量........... 6 2. 设备国产率：刻蚀、干法去胶等设备国产率较高 ........................................................ 7 2.1. 分晶圆厂看：上海积塔2022年1-5月设备中标国产率超50% ........................ 7 2.2. 分设备看：2022年1-5月干法去胶、刻蚀、清洗、离子注入国产率较高 ........ 8 3. 5月中标较多的中国大陆厂家为北方华创、拓荆科技、华海清科、上海微电子等 ....... 9 4. 投资建议 .................................................................................................................... 11 5. 风险提示 .................................................................................................................... 11 行业专题 机械设备 3 / 12 请务必阅读正文之后的信息披露和法律声明 图表目录 图1：2022年1-5国内主流晶圆厂月合计开标480台设备 ............................................. 4 图2：2022年5月中国大陆厂家中标设备共47台，国产率达59.49% .......................... 7 表1：2022年5月国内主流晶圆厂开标79台设备 .......................................................... 4 表2：半导体设备按工艺不同可分为制程核心设备、良率提升设备、辅助设备 ............... 4 表3：统计样本覆盖10家IDM 或晶圆代工企业 ............................................................. 5 表4：2022年5月上海积塔开标54台工艺设备，贡献主要增量 .................................... 6 表5：2022年5月沉积、前道检测、刻蚀设备分别开标28台、14台、13台 ............... 6 表6：2022年1-5月中国大陆厂家中标设备共144台，国产率达30.0% ....................... 7 表7：2022年1-5月上海积塔、华虹无锡开标国产设备分别为86、41台 ..................... 8 表8：2022年1-5月，上海积塔设备国产率超50% ........................................................ 8 表9：2022年1-5月刻蚀设备中国大陆厂家共中标36台设备 ........................................ 8 表10：2022年1-5月干法去胶、刻蚀、抛光、清洗国产率较高..................................... 9 表11：5月国内中标企业为北方华创、拓荆科技、华海清科、上海微电子等 ................. 9 行业专题 机械设备 4 / 12 请务必阅读正文之后的信息披露和法律声明 1. 2022年5月10家晶圆厂开标79台工艺设备，设备国产率维持高位 1.1. 2022年5月国内主流晶圆厂公开标79台设备 2022年5月国内主流晶圆厂开标79台设备，1-5月合计开标480台设备。我们以长江存储、华力集成、华力微电子、福建晋华、华虹无锡、合肥晶合、上海积塔、中车时代、中芯绍兴、武汉新芯10家中国大陆主要的IDM 或代工企业为统计样本，通过中国国际招标网对上述晶圆厂中标情况进行梳理（详细样本选取规则见本节末说明）。2022年5月国内10家主流晶圆厂共开标79台工艺设备，前五个月合计开标48