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半导体设备行业景气度持续上升,晶圆厂资本开支进入高峰期。根据SEMI,预计2021年设备全球销售额将达1030亿美元同比增长45%,2022年同比增长11%。大陆内资晶圆厂12/8英寸潜在扩产产能120/42万片/月,预计2021-23年对应设备需求增速61%/25%/6%。国产半导体前道设备2020年在国内占比仅7%,国产渗透率持续提升。建议关注北方华创、中微公司、盛美上海、至纯科技、华峰测控等零部件相关厂商。