电子行业国内半导体设备招投标月度数据跟踪第5期（2021年11月）：长江存储近两个月设备招标量上升

敬请参阅最后一页特别声明 -1- 证券研究报告 2021年11月21日 行业研究 长江存储近两个月设备招标量上升 ——国内半导体设备招投标月度数据跟踪第5期（2021年11月） 电子行业 国内半导体设备10月招投标数据（仅限于已公布的数据） 国内晶圆厂商招标数据： 中芯国际（绍兴）：PVD+1台，CVD+10台，干法刻蚀+5台，前道检测+6台，前道计量+1台，湿法清洗+5台，晶圆盒清洗+2台，涂胶显影+1台，后道测试机+6台，探针台+20台； 华虹半导体：CVD+1台； 华力微电子：CMP+1台； 长江存储：PVD+3台，CVD+25台，干法刻蚀+3台，湿法清洗+1台，CMP+2台，退火+4台，离子注入+6台，氧化扩散+2台，后道测试机+4台； 上海积塔半导体：湿法刻蚀+1台，去胶+1台，分选机+1台，后道封装+1台； 华润微：CVD+1台； 国内设备厂商中标数据： 北方华创：干法刻蚀+2台； 华峰测控：后道检测+5台； 芯源微：湿法清洗+5台； 沈阳拓荆：CVD+8台； 屹唐半导体：退火+2台； 半导体设备行业投资建议：建议关注上市公司包括北方华创、中微公司、至纯科技、万业企业（凯世通）、芯源微、盛美上海、长川科技、华峰测控、华兴源创、精测电子、晶盛机电、光力科技、盛剑环境、正帆科技、ASM Pacific（H）；非上市公司有屹唐半导体、华海清科、沈阳拓荆、上海微电子、睿励科学仪器、东方晶源。 半导体材料行业投资建议：建议关注上市公司包括雅克科技、彤程新材、晶瑞电材、鼎龙股份、安集科技、上海新阳、江化微、南大光电、神工股份、立昂微、沪硅产业-U、华特气体、金宏气体。 风险分析：国产化进度不及预期，晶圆厂扩张不及预期，技术研发不及预期。 公司盈利预测与估值简表 代码 简称 市值 （亿元） 归母净利润（亿元） PE PS 2021E 2022E 2021E 2022E 2021E 2022E 002371.SZ 北方华创 2150 8.83 12.40 243 173 23 17 688012.SH 中微公司 1012 6.31 7.81 160 129 32 23 600641.SH 万业企业 346 4.15 5.21 83 66 28 22 603690.SH 至纯科技 183 3.27 4.28 56 43 9 7 300604.SZ 长川科技 298 2.18 3.44 137 86 21 15 002409.SZ 雅克科技 398 5.98 8.41 67 47 11 9 603650.SH 彤程新材 346 4.85 6.80 71 51 13 10 300655.SZ 晶瑞电材 150 2.15 3.17 70 47 8 6 资料来源：Wind、光大证券研究所整理；股价时间为2021-11-17，2021-2022年业绩为Wind一致性预测； 买入（维持） 作者 分析师：刘凯 执业证书编号：S0930517100002 021-52523849 kailiu@ebscn.com 联系人：杨德珩 yangdh@ebscn.com 行业与沪深300指数对比图 资料来源：Wind 要点 敬请参阅最后一页特别声明 -2- 证券研究报告 电子行业 1、 国内半导体设备招投标情况总览 图表1：2021年国内半导体设备招投标数据总览（单位：台） 2021年 1月 2月 3月 4月 5月 6月 7月 8月 9月 10月 11月 12月 汇总 薄膜沉积设备 PVD 8 5 7 9 14 2 0 1 6 4 56 CVD 14 12 18 58 53 13 1 5 24 37 235 ALD 1 1 11 1 6 0 0 12 1 0 33 EPI 2 0 0 2 4 0 1 1 1 0 11 ECP 1 1 0 0 2 0 0 0 2 0 6 MOCVD 0 0 0 1 0 0 0 0 0 0 1 光刻机 光刻机 6 0 0 3 3 0 0 9 0 0 21 其他光刻设备 0 0 0 1 4 0 0 0 0 0 5 刻蚀设备 干法刻蚀 25 10 12 31 58 12 4 2 30 10 194 湿法刻蚀 1 1 2 3 5 4 0 0 2 1 19 前道检测与计量 检测 32 6 9 5 11 14 4 5 6 23 115 计量 14 1 0 2 4 9 1 1 15 1 48 成分分析 1 1 0 0 1 0 0 0 0 0 3 FIB 0 0 1 0 1 1 0 0 0 0 3 清洗设备 干法清洗 0 0 0 0 0 1 0 0 0 0 1 湿法清洗 9 4 4 23 9 25 2 3 11 6 96 去胶 8 6 2 0 8 19 1 3 9 1 57 刷片机 5 0 0 0 3 0 0 1 0 0 9 晶圆盒清洗 0 0 1 0 0 2 0 1 0 2 6 涂胶显影设备 涂胶显影 6 0 7 7 1 1 1 2 5 0 30 涂胶 2 0 1 2 5 0 0 0 0 1 11 显影 0 0 0 0 0 3 1 1 0 0 5 固化 0 0 0 1 0 1 0 0 0 0 2 化学机械研磨&抛光机 化学机械研磨 6 2 1 19 5 2 0 3 6 3 47 抛光机 0 0 0 1 4 0 3 1 0 0 9 退火及热处理设备 退火 12 5 2 20 4 10 1 4 5 4 67 热处理 5 0 0 0 2 0 0 0 2 0 9 离子注入及氧化扩散设备 离子注入 17 2 0 7 6 2 1 1 2 6 44 氧化扩散 23 3 4 3 52 15 6 3 0 2 111 后道检测设备 测试机 4 5 16 141 50 26 55 12 21 15 345 分选机 0 1 0 2 17 1 0 2 17 1 41 探针台 100 0 0 15 11 18 0 9 0 20 173 后道封装设备 rQzRtNyQrOyQxPtQnQqRnNaQ8Q6MnPnNtRrQlOpOnMlOoMoM9PrRyRMYqMnRvPqNnO 敬请参阅最后一页特别声明 -3- 证券研究报告 电子行业 背金 0 0 1 0 2 1 0 0 0 0 4 焊接 2 1 3 1 5 0 1 0 25 0 38 键合 32 5 6 0 5 10 2 1 14 0 75 切割 15 9 5 3 14 6 5 0 32 1 90 塑封 5 1 3 0 1 1 1 0 0 0 12 资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理 2、 国内晶圆厂商招标情况 2.1、 中芯国际（绍兴） 图表2：2021年中芯国际（绍兴）招标数据（单位：台） 2021年 1月 2月 3月 4月 5月 6月 7月 8月 9月 10月 11月 12月 汇总 PVD 0 1 2 0 0 0 0 0 5 1 9 CVD 0 1 1 0 4 0 1 0 0 10 17 i-line光刻机 1 0 0 0 0 0 0 0 0 0 1 干法刻蚀机 0 0 1 0 0 1 0 0 2 5 9 前道检测 0 2 0 1 3 0 0 0 3 6 15 前道计量 0 0 0 0 0 0 0 0 0 1 1 湿法清洗 0 3 1 0 0 0 0 0 0 5 9 去胶 1 0 0 0 0 1 0 0 0 0 2 晶圆盒清洗 0 0 0 0 0 0 0 0 0 2 2 涂胶显影 3 0 1 0 1 0 0 0 0 1 6 化学机械研磨 0 1 0 0 0 1 0 0 0 0 2 退火 0 2 1 0 0 0 0 0 3 0 6 氧化扩散 0 1 0 0 0 0 1 0 0 0 2 后道测试机 0 0 2 3 3 1 6 0 9 6 30 分选机 0 0 0 2 0 0 0 0 0 0 2 探针台 0 0 0 0 0 5 0 0 0 20 25 后道封装 8 8 16 0 1 0 7 0 30 0 70 资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理 2.2、 华虹半导体 图表3：2021年华虹半导体招标数据（单位：台） 2021年 1月 2月 3月 4月 5月 6月 7月 8月 9月 10月 11月 12月 汇总 PVD 7 1 0 0 0 0 0 0 0 0 8 CVD 14 3 1 0 0 0 0 0 0 1 19 EPI 2 0 0 0 0 0 0 0 1 0 3 ECP 1 0 0 0 0 0 0 0 0 0 1 365nm光刻机 1 0 0 0 0 0 0 0 0 0 1 248nm光刻机 3 0 0 0 0 0 0 0 0 0 3 干法刻蚀 18 3 0 3 0 4 4 0 1 0 33 湿法刻蚀 1 1 0 0 0 0 0 0 0 0 2 前道检测 30 4 0 0 0 0 0 0 0 0 34 前道计量 13 1 0 0 0 0 0 0 0 0 14 湿法清洗 8 1 0 0 0 0 0 0 1 0 10 去胶 7 3 0 0 0 0 0 2 0 0 12 敬请参阅最后一页特别声明 -4- 证券研究报告 电子行业 刷片机 5 0 0 0 0 0 0 0 0 0 5 倒片机 0 0 0 7 0 0 0 0 0 0 7 涂胶显影 4 0 0 0 0 0 1 0 0 0 5 化学机械研磨 6 0 0 0 0 0 0 0 0 0 6 退火 9 1 0 1 0 0 1 0 0 0 12 热处理 4 0 0 0 0 0 0 0 0 0 4 离子注入 16 2 0 0 0 0 0 1 0 0 19 氧化扩散 23 1 0 0 0 0 5 0 0 0 29 后道测试机 1 1 1 3 1 0 0 0 1 0 8 探针台 11 0 0 3 1 0 0 1 0 0 16 后道封装 2 1 0 0 2 6 2 0 0 0 13 资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理 2.3、 华力微电子 图表4：2021年华力微电子招标数据（单位：台） 2021年 1月 2月 3月 4月 5月 6月 7月 8月 9月 10月 11月 12月 汇总 PVD 0 0 0 0 0 0 0 1 0 0