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至纯科技发布2021三季报，实现收入12.83亿元，同比增长68.71%，归母净利润1.88亿元，同比增长127.96%。三季度单季实现收入3.62亿元，同比增长51.68%，归母净利润3771.54万元，同比下降27.72%。子公司收入确认存在季节性波动，湿法设备订单持续高增长。持续加码湿法清洗设备，国产替代助力加速发展。维持对公司的盈利预测，预计公司2021-2023年净利润为3.22、4.19、4.78亿元，看好公司半导体清洗设备的持续放量，维持“增持”评级。
