大基金二期入股子公司，清洗设备有望加速发展

1 本报告版权属于安信证券股份有限公司。 各项声明请参见报告尾页。 大基金二期入股子公司，清洗设备有望加速发展 ■事件：公司控股子公司至微科技拟通过增资扩股引入战略投资者并进行部分股权转让。本次交易各方合计增资额为4.2亿元，股权转让涉及金额2.32亿元。本次增资的同时，公司将持有的至微科技对应本次增资4.2亿元后的7.95%的股权以2.32亿元转让给远致星火。本次交易完成后，公司持有至微科技的股份将从99.34%降低至 77.11%。 ■大基金二期入股子公司，清洗设备有望加速发展：公司子公司至微科技通过增资扩股引入了包括大基金二期、中芯聚源、装备材料基金、远致星火、芯鑫鼎橡等股东，此次战投股东名单涵盖了国内顶级的半导体投资基金，表明了市场对于公司未来发展前景的看好。通过此次增资，公司不仅增强了资金实力，还有利于公司与国内头部半导体公司加强产业合作，公司半导体清洗设备发展有望加速。 ■半年报业绩符合预期，新增订单饱满：21H1，公司业绩大幅增长，主要由于半导体行业景气导致的主营业务订单大幅增加。单看Q2营收6.89亿元，同比增长68.87%，环比增长198.27%。毛利率及净利率分别-3.01pct/+10.68pct，系随着公司业务体量增长，增加了销售费用（+70.44%））、管理费用（+64.46%）及研发投入（+35.83%）。截至报告期末，公司整体业务新增订单达到17.2亿元，达到去年全年新增订单的88%。 ■湿法设备发展迅速，再生晶圆前景可期：根据公司公告，上半年新增订单中整个半导体板块新增订单14.2亿元，其中湿法设备新增订单4.3亿元，达到上一年度全年湿法设备订单的85%，其中单片设备新增订单2亿元。目前市场主要的湿法设备厂商以日本和欧美为主，而国内厂商的市场占比在逐年上升。根据公告，公司已经具备生产8-12寸高阶单晶圆湿法清洗设备和槽式湿法清洗设备的相关技术，目前已可以提供28nm节点的全部湿法工艺设备，首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证，21H2将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备将交付到中芯、华虹集团、燕东科技等主流客户产线；14nm~7nm技术世代已接到4台套机台多个工艺的正式订单，将于2022年交付至客户产线验证。再生晶圆方面，据SEMI预测， 2021年再生晶圆市场规模会扩大到6.33亿美元。目前硅片正片大厂19~20年并无大规模扩产动作，供应有限。我们认为公司再生晶圆市场规模将会随着正片稀缺而稳步上升，成为公司新的业绩增长点。根据公告，公司合肥项目Table_Tit le 2021年10月18日 至纯科技（603690.SH） Table_BaseI nfo 公司快报 证券研究报告 其他专用机械 投资评级 买入-A 维持评级 12个月目标价： 80.10元 股价（2021-10-18） 50.93元 Table_M ar ketInfo 交易数据 总市值（百万元） 16,221.21 流通市值（百万元） 15,673.71 总股本（百万股） 318.50 流通股本（百万股） 307.75 12个月价格区间 28.00/69.13元 Tabl e_Char t 股价表现 资料来源：Wind资讯 升幅% 1M 3M 12M 相对收益 5.47 0.23 25.34 绝对收益 4.32 1.17 32.41 马良 分析师 SAC执业证书编号：S1450518060001 maliang2@essence.com.cn 021-35082935 郭旺 分析师 SAC执业证书编号：S1450521080002 guowang@essence.com.cn Tabl e_Repor t 相关报告 至纯科技：清洗赛道领航者，国产化替代正当时/马良 2021-08-31 至纯科技：清洗赛道佼佼者，国产化替代放量在即/马良 2021-07-28 -24%-8%8%24%40%56%72%88%202 0-10202 1-02202 1-06至纯科技 沪深300 2 本报告版权属于安信证券股份有限公司。 各项声明请参见报告尾页。 将是国内第1条14nm的12寸晶圆再生产线，项目建成后，将形成年产168万片晶圆再生和120万件半导体零部件再生产能。已于2021年7月正式量产，产能爬坡后有望在2021年度贡献2个月度的产值。 ■投资建议：我们预计公司2021年~2023年的收入分别为19.84亿元、27.18亿元、36.69亿元，归属上市公司股东的净利润分别为3.72亿元、5.10亿元、6.73亿元，对应EPS分别为1.17元、1.60元、2.11元，维持“买入-A”投资评级。 ■风险提示：先进制程工艺突破不达预期的风险；进口零部件渠道受阻的风险；出货放量不达预期的风险；股东解禁减持的风险。 (百万元) 2019 2020 2021E 2022E 2023E 主营收入 986.4 1,397.1 1,983.8 2,717.8 3,669.1 净利润 110.3 260.6 372.3 510.0 672.7 每股收益(元) 0.35 0.82 1.17 1.60 2.11 每股净资产(元) 4.66 9.87 10.71 11.93 13.62 盈利和估值 2019 2020 2021E 2022E 2023E 市盈率(倍) 164.0 69.4 48.6 35.5 26.9 市净率(倍) 12.2 5.8 5.3 4.8 4.2 净利润率 11.2% 18.7% 18.8% 18.8% 18.3% 净资产收益率 7.4% 8.3% 10.9% 13.4% 15.5% 股息收益率 0.1% 0.3% 0.4% 0.5% 0.7% ROIC 18.0% 16.7% 14.4% 21.7% 28.4% 数据来源：Wind资讯，安信证券研究中心预测 3 公司快报/至纯科技 本报告版权属于安信证券股份有限公司。 各项声明请参见报告尾页。 财务报表预测和估值数据汇总 利润表 财务指标 (百万元) 2019 2020 2021E 2022E 2023E (百万元) 2019 2020 2021E 2022E 2023E 营业收入 986.4 1,397.1 1,983.8 2,717.8 3,669.1 成长性 减:营业成本 647.6 883.1 1,230.0 1,739.4 2,348.2 营业收入增长率 46.3% 41.6% 42.0% 37.0% 35.0% 营业税费 6.0 9.6 13.7 18.8 25.3 营业利润增长率 230.7% 148.8% 39.1% 37.3% 32.2% 销售费用 36.5 54.4 59.5 106.0 143.1 净利润增长率 239.9% 136.4% 42.9% 37.0% 31.9% 管理费用 85.8 137.6 263.3 347.9 469.6 EBIT DA增长率 138.4% 82.2% 23.1% 18.9% 28.6% 财务费用 40.3 76.3 71.4 6.8 -0.7 EBIT增长率 138.4% 83.4% 23.1% 18.5% 30.5% 资产减值损失 -3.2 -4.0 -2.0 -2.0 -2.0 NOPLAT增长率 199.4% 122.0% 32.8% 18.5% 30.5% 加:公允价值变动收益 - 150.1 - - - 投资资本增长率 139.6% 53.7% -21.2% -0.5% 18.1% 投资和汇兑收益 0.9 22.5 65.0 66.0 64.0 净资产增长率 238.1% 110.6% 8.5% 11.3% 14.1% 营业利润 119.3 296.9 413.0 567.0 749.6 加:营业外净收支 0.5 1.3 2.9 2.9 2.9 利润率 利润总额 119.8 298.2 415.9 569.9 752.5 毛利率 34.3% 36.8% 38.0% 36.0% 36.0% 减:所得税 9.5 37.4 43.7 59.8 79.0 营业利润率 12.1% 21.3% 20.8% 20.9% 20.4% 净利润 110.3 260.6 372.3 510.0 672.7 净利润率 11.2% 18.7% 18.8% 18.8% 18.3% EBIT DA/营业收入 24.5% 31.5% 27.3% 23.7% 22.6% 资产负债表 EBIT /营业收入 21.8% 28.2% 24.4% 21.1% 20.4% 2019 2020 2021E 2022E 2023E 运营效率 货币资金 463.1 1,502.5 793.5 1,031.0 1,144.1 固定资产周转天数 97 119 112 100 81 交易性金融资产 - - - - - 流动营业资本周转天数 278 330 220 116 104 应收帐款 852.9 1,040.8 275.5 479.4 539.8 流动资产周转天数 588 760 599 384 356 应收票据 12.1 14.6 128.6 82.7 202.6 应收帐款周转天数 245 244 119 50 50 预付帐款 92.1 198.5 206.2 366.2 406.6 存货周转天数 191 184 185 134 128 存货 635.1 794.5 1,248.6 780.7 1,828.5 总资产周转天数 860 1,187 1,002 679 576 其他流动资产 95.3 200.3 200.3 200.3 200.3 投资资本周转天数 506 639 488 313 252 可供出售金融资产 - - 25.0 5.0 5.0 持有至到期投资 - - - - - 投资回报率 长期股权投资 105.2 231.0 256.0 281.0 311.0 ROE 7.4% 8.3% 10.9% 13.4% 15.5% 投资性房地产 - - - - - ROA 3.4% 4.4% 7.3% 9.9% 10.3% 固定资产 396.6 530.1 704.3 804.7 848.9 ROIC 18.0% 16.7% 14.4% 21.7% 28.4% 在建工程 59.4 432.9 240.9 135.2 77.1 费用率 无形资产 145.8 193.2 189.2 188.8 192.6 销售费用率 3.7% 3.9% 3.0% 3.9% 3.9% 其他非流动资产 399.4 818.2 815.9 813.5 810.2 管理费用率 8.7% 9.9% 6.5% 6.0% 6.0% 资产总额 3,257.1 5,956.7 5,084.2 5,168.6 6,566.6 财务费用率 4.1% 5.5% 3.6% 0.3% 0.0% 短期债务 562.8 958.8 184.4 - - 三费/营业收入 16.5% 26.0% 19.9% 17.0% 16.7% 应付帐款 443.1 417.0 731.0 717.8 1,395.6 偿债能力 应付票据 21.2 28.0 - - - 资产负债率 53.9% 46.9% 32.6% 26.2% 33.7% 其他流动负债 220.1 406.1 571.4 467.2 650.6 负债权益比 117.0% 88.5% 48.3% 35.5% 50.9% 长期借款 224.7 588.1 - - - 流动比率 1.72 2.07 1.92 2.48 2.11 其他非流动负债 284.3 397.9 170.2 170.2 170.2 速动比率 1.22 1.63 1.08 1.82 1