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23年净利润分别为1.98亿元、2.75亿元和3.63亿元，同比增长38.56%、38.67%和38.71%。公司业绩高增长主要受益于集成电路产业景气所带来的高纯系统业务及半导体设备业务订单大幅增加。此外，公司高纯工艺系统业务板块多项目研发落地、放量在即，12寸单片设备不断突破，晶圆再生项目量产。公司订单高增长，半导体设备处于快速发展阶段，下半年有望回升。我们给予公司“增持”评级。
