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至纯科技（603690）半年报显示，公司半导体业务订单大增，看好国产替代下公司的快速成长。上半年实现营收9.20亿元，同比增长76.51%；归属于上市公司股东的净利润约1.50亿元，同比增长395.51%；归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润约4263.53万元，同比增长69.06%。公司整体业务新增订单达到17.2亿元，达到去年全年新增订单的88%。期新增订单中，整个半导体板块新增订单14.2亿元，其中湿法设备新增订单4.3亿元，达到上一年度全年湿法设备订单的85%，湿法设备订单中单片设备新增订单2亿元。下半年将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备交付到中芯、华虹等主流客户产线。更先进14nm-7nm技术世代接到4台套机台多个工艺的正式订单，将于2022年交付至客户产线验证。同时晶圆再生项目7月已正式量产，有望在2021年贡献2个月度产值。公司预计2021-2023年净利润为3.22、4.19、4.78亿元，看好公司半导体清洗设备的持续放量，维持“增持”评级。
