半导体设备是芯片制造上游核心支柱，设备投资约占新建晶圆厂总投资的75-80%。中国厂商在各环节也都有所布局和突破，包括中微公司、北方华创、芯源微、拓荆科技、上海微电子、盛美股份、屹唐股份、精测电子等。政策+资金+扩产+Capex提升，半导体设备步入新一轮景气周期。建议关注：晶盛机电、中微公司、北方华创、长川科技。
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