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中芯国际供应14纳米及以上工艺的设备供应许可获得了批准,同时中芯国际与阿斯麦集团签订购买单,此次阿斯麦购买单的总价约为12亿美元。此次交易属于 DUV光刻技术的现有协议(延长至2021年12月底)。光刻机是晶圆制造中最核心的环节,耗时占晶圆制造40-50%,是整个晶圆制造的核心设备。光刻机根据光源不同可分成紫外(UV)光源、深紫外(DUV)光源、极紫外(EUV)光源三类,随着波长缩小,光刻线宽即工艺节点不断缩小。