清洗机业务批量交货，长期受益于清洗机国产化率提高

至纯科技是一家半导体清洗设备的国内龙头公司，具备卡位优势。清洗设备赛道好空间大，有望率先实现全面国产化。传统主业高纯工艺系统：国内龙头地位稳定，为公司贡献稳定现金流。晶圆再生业务：至纯竞争优势显著，静待晶圆再生业务空间打开。预计2020-2022年净利润分别为2.42/3.39/4.45亿，对应当前股价PE为43、30、23倍，上调至“买入”评级。