洁净厂房也常被叫做洁净室、无尘车间/无尘室,是一类将室内空气悬浮粒子浓度严格受控的特殊空间,核心目标是把室内的温湿度、洁净度、气流状态、振动、静电等指标都稳定控制在特定范围内,尽可能减少室内诱入、产生和滞留的污染物,以此满足精密生产场景的特殊要求 【2】 。
不同行业对洁净厂房的要求差异很大:
- 等级要求差异:食品、制药行业的洁净厂房洁净等级要求偏低,对应的项目竞争也更激烈;但半导体这类高端领域的洁净厂房规格要求极高,比如6英寸晶圆厂洁净度普遍要达到ISO4级以上,8/12英寸晶圆厂更是要求ISO3级以上 【1】 【6】 。
- 建设要求差异:高端洁净厂房的选址就十分严苛,最好选在大气含尘浓度低的远郊、水滨等区域,要远离交通干线、避开不良地质构造;厂区布局也需要专门规划,人流物流分流、厂区路面和绿化都要选用发尘量低的材料 【3】 。半导体洁净厂房还多采用垂直单向流的空气净化模式,分“初中效过滤器预处理新风-风机过滤单元深度过滤”两个阶段实现极高等级的空气净化 【4】 。
- 行业格局差异:高端洁净厂房领域有很高的进入壁垒,因为这类厂房的建设质量直接影响精密产品的生产良率,下游客户对工程服务商的成熟项目经验要求极高,因此高端市场呈现高度集中的格局,而中低端市场则参与者众多、价格竞争激烈 【1】 。
- 能耗结构特点:洁净厂房的能耗远高于普通工业厂房,从典型的洁净厂房能耗占比来看,热源占26%、冷水机占24%、净化空调占17%,这三类和温控、净化相关的环节是能耗的主要来源 【13】 。
近年来国内行业标准体系不断完善,洁净室工程行业正逐步向高端化、标准化方向发展,技术储备充足、项目管控规范的头部企业优势会进一步凸显 【8】 。