赛微电子在玻璃通孔(TGV)技术领域布局较早且技术领先,具体信息如下:
赛微电子是MEMS-Foundry业界最早成功开发适于规模化量产的成套TGV制造工艺技术的公司,境内外工厂均掌握该技术[1]。其TGV技术研发可追溯至2014年,当时旗下瑞典Silex因智能设备轻薄化需求,顺势研发出TGV技术,用于生产高压和高频应用的低电阻器件[2][8]。
TGV技术通过在玻璃基板上制作垂直贯通的微小通孔并填充导电材料,实现多层芯片互联,能在三维方向提升堆叠度、减小外形尺寸,从而提升芯片速度和低功耗性能[1][8]。该技术已应用于先进封装(如2.5D/3D晶圆级封装、chiplet垂直封装、CPO光电共封装等)、CMOS-MEMS集成、晶圆级芯片互连等场景,终端覆盖AI服务器、CPO光模块、5G/6G基站、MEMS传感器等高性能领域[1][9]。
TGV技术已对赛微电子收入形成长期贡献,且应用前景良好[1][2]。作为全球MEMS纯代工厂商龙头(2019-2023年排名首位),其TGV等工艺模块在行业内保持领先,技术成熟度经过多年量产检验[6][7]。
TGV技术能利用玻璃优良的物理特性(如高频电学特性、机械稳定性强),减小器件电路损耗,且工艺流程相对简单、成本较低,适合大尺寸超薄玻璃衬底应用[3][4][8]。
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