六氟化钨行业A股上市公司有哪些？

根据提供的文本，六氟化钨对应的A股上市公司主要有以下几家：

1. 中船特气（301347）

• 国内六氟化钨产能龙头，年产能约2000吨（2025年数据），长期向台积电、美光、海力士、中芯国际等国内外头部晶圆厂供货，国内市场占有率达65%，海外市场占有率10%，是全球重要的六氟化钨供应商 【2】 【3】 。

2. 昊华科技（600378）

• 具备六氟化钨生产能力，年产约600吨，是国内电子特气领域的重要企业之一 【3】 。

3. 中巨芯（688549）

• 高纯六氟化钨产品于2021年开始送样验证，2022年销量显著提升至65.30吨，毛利率从2021年的-195%改善至2022年的22.33%，产能计划提升至800吨/年，市场潜力较大 【10】 。

4. 绿菱气体（未明确股票代码，需注意上市进度）

• 2025年8月新增2000吨/年六氟化钨产能投入试生产，是国内六氟化钨产能的重要新增力量 【3】 。

其他相关企业：

• 南大光电（300346）：规划建设500吨六氟化钨产能 【3】 。
• 和远气体（002971）：宜昌产业园500吨/年六氟化钨项目于2025年进入试生产阶段 【3】 。

以上企业中，中船特气是目前国内产能最大、市场份额最高的六氟化钨供应商，昊华科技和中巨芯则是产能规模相对较小但已实现量产的企业，而绿菱气体、南大光电等属于产能扩张中的潜力企业 【2】 【3】 【10】 。

（注：部分企业如绿菱气体尚未明确股票代码，需以最新上市信息为准。）