电源是半导体国产替代的重要方向,英杰电气在该领域实现射频电源等产品国产化,并已进入订单持续兑现阶段。截至2023年5月,公司新增订单已达2025年全年目标(4.25亿元)的90%,考虑寄售可达近5亿元,近期订单有望持续上量,未来可见订单可观。
射频电源:
- 产品主要应用于刻蚀和CVD环节,已基本覆盖主要频率段。
- 核心客户包括中微、拓荆、微导及红太阳等。
- 先进制程产品已处于测试阶段。
其他电源产品:
- 覆盖离子注入等环节的半导体前道制程设备电源,供应北方华创等。
- 半导体材料生产设备相关电源(2025年订单2.2亿元),包括碳化硅长晶电源等。
预计2026年公司订单将持续增长。