光刻机产业链复杂,涉及上万个零部件和上千家供应商,协作打造高端设备。ASML一台光刻机包含10万个零部件,主要部件包括测量台与曝光台、激光器、光束矫正器、能量控制器等11个模块。国内不仅推进光刻机整机集成,还关注光源、物镜与照明系统、双工件台、浸没系统等关键组成部分,以及涂胶显影及量测检测的配套设备,这些领域均快速发展。从光刻工艺相关设备及零部件厂商角度,可关注芯源微、茂莱光学、奥普光电、福晶科技、波长光电、永新光学、炬光科技、腾景科技、富创精密、苏大维格、旭光电子、汇成真空等企业。对于中国半导体产业,光刻机是解决技术瓶颈的关键,刻蚀、薄膜等环节同样重要。