调研日期: 2026-06-10 一、投资者主要问题回答 1、了解到公司可转债募投项目中包括"半导体先进制程核心工艺非金属材料及器件研发、生产新建项目"和"半导体设备用陶瓷静电吸盘研发项目",公司在非金属材料器件产品方面的进展和市场份额,与珂玛科技相关产品存在何种不同? 答:在公司目前关键工艺部件结构中,陶瓷加热器及静电吸盘(ESC)是尚未量产的两大功能器件,也是半导体刻蚀与薄膜沉积设备中负责固定、控温及传导射频信号的核心部件,其技术性能直接决定先进制程工艺的精度与稳定性,属于我国半导体设备产业链中亟待突破的关键环节。 公司本次可转债募投项目中的"半导体先进制程核心工艺非金属材料及器件研发、生产新建项目"项目主要为陶瓷加热器的研发生产,"半导体设备用陶瓷静电吸盘研发项目"主要为静电吸盘(ESC)研发。 当前半导体陶瓷加热器的主要市场份额主要由 NGK、MiCo 等境外龙头厂商占据,中国境内优秀企业如珂玛科技等已经实现对下游客户的批量销售,但相关产品在国内尚处于起步阶段。在国产半导体设备供应链安全需求下,本土厂商的导入和验证将提速,由此半导体陶瓷加热 器将迎来广阔发展空间。 与珂玛科技相比,公司陶瓷类产品的主要客户为OEM设备厂商,而珂玛科技主要为Fab厂商,公司陶瓷类产品的技术路线也与珂玛科技存在不同。 2、公司光刻机零部件的研发进展情况如何? 答:公司于2025年进行了"半导体光刻机设备精密零部件开发"研发项目内部立项,目前工艺开发完成,试验件尺寸加工验证中。 3、公司的产能扩充及订单交付情况? 答:在原有先锋制造一厂及表处中心的基础上,公司第二表处中心新建产线项目及部分技改升级项目已投入生产,先锋制造二厂已交付使用;无锡先研IPO募投项目已于2025年10月封顶,预计今年下半年可交付使用。另外,公司拟发行可转债的募投项目已启动项目建设,主 要用于加热器及功能器件的生产,可转债已于6月初通过上海证券交易所上市委员会审核。 2026年第一季度,公司在手订单量创历史新高,目前受公司产能扩建、新招聘员工技能熟练度、培训等因素影响,预计后期公司产能将会逐步得到释放。 4、公司是否有海外客户? 答:公司的主要客户为国内半导体设备厂商(如刻蚀机、薄膜沉积设备、光刻机等设备制造商),终端应用覆盖晶圆制造、先进封装等环节,海外客户占比较低。 5、公司后续是否会进行股权激励、员工持股? 答:公司始终重视股权激励对核心团队的绑定与激励作用,在保证业绩平稳发展的同时,公司会在适当时间通过员工持股、股权激励等方式 对关键管理人员和研发人员进行激励,实现核心团队与公司及股东利益的深度绑定,从而保障核心团队的稳定与壮大。 6、公司5月27日发布了股东减持计划,请问该计划的执行情况如何? 答:公司于2026年5月27日公告了《关于持股5%以上股东减持股份计划公告》,公司股东靖江优立佳企业管理合伙企业(有限合伙)因自身资金需求,计划在6月17日至9月16日期间减持股份,目前减持计划正在按计划实施,具体减持进度详见公司及股东届时发布的相关公告信息。