环保周报：关注半导体领域相关环保设备

【】【】[Table_Industry]环保周报 证券研究报告 2026年6月28日 行业研究——周报 本期内容提要: ➢行业动态：（1）近日，生态环境部、中央宣传部、中央社会工作部、教育部、共青团中央、全国妇联等六部门联合印发《美丽中国建设全民行动促进计划（2026—2030年）》（以下简称《促进计划》）。《促进计划》紧扣美丽中国建设总体目标，以广泛动员社会各界参与、共建共享美丽中国为核心，遵循“思想引领—文化支撑—教育赋能—社会参与—实践转化”逻辑主线，系统部署“十五五”时期全民行动重点任务，共设置五大方面15项具体举措，包括习近平生态文明思想研究宣传、生态文化传承发展、生态环境宣传教育、社会力量广泛参与、绿色低碳生活转型等内容。通过持续完善全民行动体系，充分激发全社会共同呵护生态环境的内生动力，引导全社会践行绿色低碳生活方式，为全面推进美丽中国建设提供坚强思想保证、坚实文化根基和深厚社会基础。（2）6月25日，国家发展改革委国家能源局关于印发《新型能源体系建设“十五五”规划》的通知。文件指出，主要目标是：2030年初步建成清洁低碳安全高效的新型能源体系。能源综合生产能力达到58亿吨标准煤，电力系统互补互济和安全韧性水平全面提升，能源进口多元可控；煤炭和石油消费达峰，非化石能源消费比重达到25%，风电和太阳能发电装机比重超过50%、成为电力装机主体，非化石能源发电量比重达到50%、成为电量主体；坚强韧性、绿色低碳、集成融合、智能高效的新型能源基础设施体系加快建设，新型电力系统初步建成；能源产业链关键技术装备实现总体自主可控，迈入世界能源科技创新国家前列；适应新型能源体系的市场和价格机制加快健全，全国统一电力市场体系基本建成。 郭雪环保联席首席分析师执业编号：S1500525030002邮箱：guoxue@cindasc.com 吴柏莹环保行业分析师执业编号：S1500524100001邮箱：wuboying@cindasc.com ➢本周专题：半导体制造对洁净环境要求较高，制造过程中产生的废水、废气及废渣也需要配套治理，带动环保监测设备在晶圆厂建设和运行中的配置需求。监测设备一方面服务于排放合规和环境风险管控，另一方面用于跟踪洁净室环境、废气治理效果和厂务设施运行状态，对产线稳定性和产品良率具有支撑作用。随着半导体工艺复杂度提升，环保监测从末端排放管理逐步延伸至生产过程和厂务系统管理，应用价值持续提升。（1）废气处理设备：废气通常包括有机溶剂、氨气、氯气、氟化氢等对环境和人体有害的化学物质。半导体废气处理洗涤器主要通过物理吸附、化学吸收、化学反应等方式将废气中的有害物 信达证券股份有限公司CINDASECURITIESCO.，LTD北京市西城区宣武门西大街甲127号金隅大厦B座邮编：100031 质去除或转化为无害物质，从而实现排放达标。根据QYResearch的统计及预测，2024年全球半导体废气处理设备市场销售额达到了13.82亿美元，预计2031年将达到25.47亿美元，年复合增长率（CAGR）为9.3%（2025-2031）。（2）洁净室过滤设备：为了保证半导体尖端工艺所需的洁净度，在上技术夹层与洁净工艺层之间、洁净室关键机台内，均装有由风机过滤单元（FFU/EFU）、高效/超高效过滤器(HEPA/ULPA)及化学过滤器所构成的高过滤精度空气净化循环设备，以确保半导体制程工艺所需的超高洁净度与超低气态分子污染物浓度。（3）废水处理设备：废水回收与处理成为集成电路节约成本、降低能耗的重要方式。而生产流程中产生的污染物浓度含量较高的用水，包含氟化物、氨氮、酸碱、有机等多种成分的废水、废液，通常直接排向废水处理系统以进行专业化处置。半导体废水通常实施分类收集，并针对各类废水采取定制化处理技术。关注半导体行业环保设备相关公司：聚光科技、皖仪科技、莱伯泰科、盛剑科技、美埃科技。 ➢投资建议：“十五五”国家对环境质量和工业绿色低碳发展提出更多要求，节能环保以及资源循环利用有望维持高景气度；此外在化债背景下，水务&垃圾焚烧板块作为运营类资产，盈利稳健上行，现金流持续向好，叠加公用事业市场化改革，优质运营类资产有望迎戴维斯双击。重点推荐：【瀚蓝环境】【兴蓉环境】【洪城环境】；建议关注：【旺能环境】【军信股份】【武汉控股】【英科再生】【高能环境】【青达环保】。 ➢风险提示：项目推进不及预期；市场竞争加剧；国际政治局势变化；政策推进不及预期；电价下调风险。 目录 一、本周市场表现：环保板块表现劣于大盘....................................................................................5二、专题研究：关注半导体领域相关环保设备................................................................................6三、行业动态.....................................................................................................................................11四、公司公告.....................................................................................................................................13五、投资建议.....................................................................................................................................14六、风险提示.....................................................................................................................................15 表目录 表1：集成电路制造工艺主要废气污染物........................................................................................................6表2：半导体制造过程中废水种类.......................................................................................................................8表3：环保行业部分上市公司估值表................................................................................................................14 图目录 图1：申万（2021）各行业周涨跌幅（%）......................................................................................................5图2：环保板块细分子板块本周涨跌幅（%）.................................................................................................5图3：环保行业周涨幅前十（%）.........................................................................................................................6图4：环保行业周涨跌幅后十（%）....................................................................................................................6图5：半导体工厂洁净室示意图...........................................................................................................................8图6：常见废水处理流程.........................................................................................................................................9图7：美埃科技产业链上下游..............................................................................................................................11 一、本周市场表现：环保板块表现劣于大盘 ⚫截至6月26日收盘，本周环保板块下跌3.57%，表现劣于大盘；上证综指下跌1.55%到4027.26；涨跌幅前三的行业分别是建筑材料（10.9%）、电子（5.4%）、非银金融（2.3%），涨跌幅后三的行业分别是有色金属（-8.4%）、汽车（-7.7%）、美容护理（-7.1%）。 资料来源：iFinD，信达证券研发中心 ⚫细分子板块情况：水务板块下跌2.86%；水治理板块下跌2.71%；大气治理板块下跌10.77%；环卫板块下跌0.76%；垃圾焚烧板块下跌4.84%；资源化板块上涨2.91%；固废其他板块下跌7.62%；监测/检测/仪表板块上涨1.67%；环境修复板块下跌3.71%；环保设备板块上涨7.53%。 资料来源：iFinD，信达证券研发中心 ⚫个股表现：本周环保板块，涨幅前十的分别为美埃科技、冰轮环境、正和生态、深水海纳、天源环保、高能环境、盛剑科技、威派格、创元科技、国林科技；跌幅前十分别为复洁环保、德创环保、雪浪环境、中兰环保、华宏科技、倍杰特、仕净科技、启迪环境、英科再 生、通源环境。 资料来源：iFinD，信达证券研发中心 资料来源：iFinD，信达证券研发中心 二、专题研究：关注半导体领域相关环保设备 半导体制造对洁净环境要求较高，制造过程中产生的废水、废气及废渣也需要配套治理，带动环保监测设备在晶圆厂建设和运行中的配置需求。监测设备一方面服务于排放合规和环境风险管控，另一方面用于跟踪洁净室环境、废气治理效果和厂务设施运行状态，对产线稳定性和产品良率具有支撑作用。随着半导体工艺复杂度提升，环保监测从末端排放管理逐步延伸至生产过程和厂务系统管理，应用价值持续提升。 半导体领域应用的环保设备主要包括：废气处理设备、洁净室过滤设备、废水处理设备等。 废气处理设备： 半导体废气处理设备主要用于处理半导体制造过程中产生的废气，其主要功能是去除或减少废气中的有害物质，以满足环保要求。相关废气通常包括有机溶剂、氨气、氯气、氟化氢等对环境和人体有害的化学物质。半导体废气处理洗涤器主要通过物理吸附、化学吸收、化学反应等方式将废气中的有害物质去除或转化为无害物质，从而实现排放达标。由于废气成分和处理要求存在差异，实际处理过程中可能需要采用不同的洗涤液和处理工艺。按照排放废气的种类和气体量划分，常见处理方法包括燃烧式、湿式、