强推中船特气9理性看待SK海力士以钼代钨对六氟化钨需求几无影响

总结：本次海力士仅尝试部分替代NAND字线，涉及的是六氟化钨极小的一个应用场景，且中船特气已在布局钼的相关技术，对六氟化钨需求几无影响 #1、以钼代钨当前仅在字线这一应用场景尝试部分替换，对六氟化钨几无影响。 1）#NAND字线场景用量小，以钼代钨影响范围极其有限。 按媒体原文，”尝试以 【强推中船特气|9】理性看待SK海力士”以钼代钨”，对六氟化钨需求几无影响 总结：本次海力士仅尝试部分替代NAND字线，涉及的是六氟化钨极小的一个应用场景，且中船特气已在布局钼的相关技术，对六氟化钨需求几无影响 #1、以钼代钨当前仅在字线这一应用场景尝试部分替换，对六氟化钨几无影响。 1）#NAND字线场景用量小，以钼代钨影响范围极其有限。 按媒体原文，”尝试以钼部分替代字线中的钨”，一是要看到对字线中的钨是【部分】替代，二是在NAND中，接触孔（contact）和通孔（via）填充等的六氟化钨用量远大于字线，且无法被钼替代。 由于NAND中的字线紧贴栅介质、对氟敏感，业界多年来一直在把它往低氟/无氟钨迁移，本身用六氟化钨的量很小。 2）#目前主流的NAND产品字线仍在使用钨基，迈向400层的NAND实质处于研发早期阶段。 #2、中船特气进行了多种钼系前驱体的技术储备，预计在钨向钼的切换进程中仍将保持领先。