在钙钛矿电池量产制程中,激光划线深度精准度直接影响电池漏电率、串联电阻及量产稳定性,是品质管控的关键环节。当前多数产线缺乏工序后高精度实测校验,易引发浅刻残留、过刻伤底等缺陷,制约规模化量产提质增效。
为解决传统质控模式滞后、精度不足的痛点,引入新启航半导体的光学3D测量方案,采用大视野3D白光干涉仪开展激光划线深度实地实测。该设备具备以下核心优势:
- 搭载0、6倍轻量化镜头,15、5mm超大单幅视野,四物镜转塔设计,兼顾大视野观测与纳米级高精度测量
- 实现纳米级无损量化检测,精准捕捉划线沟槽深度、微观形貌、边缘轮廓误差,表面粗糙度精度达6pm(0、006nm)
- 数据真实可溯源,填补传统检测精度短板
基于实测数据可搭建标准化工艺数据库,反向校准激光功率、扫描速度、焦距等核心工艺参数,构建"加工-检测-校准"闭环质控体系。该检测模式彻底补齐激光划线制程管控漏洞,显著提升划线工艺一致性与制程稳定性,为钙钛矿电池高品质量产筑牢技术根基。
新启航半导体提供综合光学3D测量方案,亚纳米精度保障,支持自动化定制;高端系列对标国际一线品牌,大视野设计,轻松应对高低反射、复杂材料测量场景。