2.5D封测厂商产能梯队与扩产
国内2.5D封测厂商按批量生产进度、产能状况及商业化进展分为三个梯队:
- 第一梯队:和盛(120万颗/年COMS产能)、通富(30万颗/年2.5D COMS产能),均以硅中间层(Cross-S)为核心工艺,已实现商业化。
- 第二梯队:长电、华天、永锡、华进半导体、珠海天成先进等,整体处于实验线或量产线建设阶段,长电、华天正推进量产线扩产,其余厂商多处于中试线阶段。
- 第三梯队:擦边布局厂商,如太极、日月星等,未布局全流程产线,聚焦FCBA(OS段工艺)。
CoWoS工艺与产能测算:CoWoS工艺分为COW和OS段,当前主流产品为1个SOC+4个HBM或1个SOC+6个HBM,单Interpulse晶圆可对应25-30颗成品芯片。国内2.5D CoWoS总产能已达200万颗/年,若国内客户需求全部落地,当前产能供大于求。
厂商扩产计划:头部封测厂商扩产计划明确,整体产能将持续提升。和盛预计2026年底扩至180万颗/年;通富预计2026年底扩至近100万颗/年;长电预计2026年底扩至50万颗/年;华天预计2026年底达50万颗/年。第二梯队中除长电、华天外,其余厂商扩产意愿偏保守。
2.5D封装布局核心难点
- 布局决策与回报周期:布局2.5D封装的核心难点在于战略决策推进与长回报周期的接受度。传统先进封装厂相对易做出布局决策,其他厂商需明确契机,且2.5D封装投资回报周期普遍需3-4年。
- 技术实现与人才获取:技术实现与人才获取可行性较高,难度相对较低。大陆封装厂无需自主完成TSV环节,仅CMP环节是新增技术,其余工艺均有接触基础,人才渠道较为充足。
2.5D封装设备需求与国产化
- 设备资本开支测算:年规模百万颗的2.5D封装生产线整体资本开支约10亿元,其中核心工艺设备约8亿元,厂房及配套设施约2亿元。
- 各环节设备国产化现状:
- PVD物理沉积:国产化率70%。
- 涂胶显影机:国产化率100%。
- 光刻设备:国产化率100%。
- 电镀设备:国产化率50%。
- 3D AOI检测设备:国产化率30%。
- 研磨切割设备:国产化率30%。
- CMP化学机械抛光:国产化率100%。
- 干法刻蚀:国产化率100%。
- PECVD化学气相沉积:国产化率100%。
- COW固晶机:国产化率70%。
- 晶圆级塑封设备:国产化率0%。
- FCBGA固晶机:国产化率70%。
- Final Test测试机:国产化率0%。
- 设备价值量优先级:光刻设备与电镀设备处于第一梯队,总投入金额相当,均为设备投资的核心方向。
2.5D封装材料国产化情况
- 核心材料国产化现状:
- PVD钛铜靶材:国产化率达100%。
- 光刻胶(PR胶):国产化率仅10%以内。
- 显影液:国产化率为10%。
- 电镀液:金电镀液国产化率0%,锡银混合电镀液、镍电镀液国产化率达50%以上。
- PSPI(光固化胶):国产化率10%以内。
- CMP抛光液(Slurry):国产化率达50%。
RDL光刻技术应用与趋势
- RDL光刻技术应用现状:CoWoS-L正在推进LDI技术的相关验证,CoWoS-S尚未应用该技术。LDI技术可满足2微米线宽需求,但未来若需实现亚微米级线宽要求,目前技术无法达标,需技术升级。
封测服务价格变动情况
- 封测服务涨价幅度与原因:国内几大封装厂跟进涨价,核心驱动因素为上游前端或工装耗材等材料成本上涨。封装服务普遍涨价10%-20%,不同细分品类存在差异:
- 存储类(DRAM、NOR Flash):涨价30%。
- 消费电子类:涨价约20%。
- 风力器件、其他类型工装相关的封测服务:涨价10%-20%。
碳化硅中介层应用前景
- 碳化硅中介层优劣势与挑战:认可碳化硅替代硅中介层的整体逻辑,但从技术与供应链层面来看,其大规模应用诸多挑战。技术加工层面,TSV加工工艺复杂,对设备及工艺要求极高;供应链层面,12寸碳化硅晶圆制备难度大,若仅能供应8寸或4倍8寸规格产品,将难以匹配现有设备需求。