中微公司（688012）拟收购杭州众硅布局CMP设备，平台化布局提速

2025-12-18 周尔双东吴证券 SoftGreen

核心观点：中微公司拟收购杭州众硅，以切入湿法CMP设备领域，完善成套工艺平台能力，加速向“集团化、平台化”演进。杭州众硅主营12寸高端CMP设备，与中微现有干法设备高度互补，本次收购旨在提升中微在全流程覆盖方面的竞争力。
关键数据：
- 中微公司持股杭州众硅12.04%，为其第二大股东。
- 杭州众硅2022年研制出国内首台12英寸大硅片CMP量产设备并获首台认定。
- 中微公司2025-2027年归母净利润预测为24.4/34.1/44.6亿元。
平台化布局：
- CCP设备：60比1超高深宽比介质刻蚀设备已量产，下一代90比1设备即将上市。
- ICP设备：下一代逻辑和存储客户用ICP刻蚀设备开发取得进展。
- 薄膜沉积设备：LPCVD、ALD等多款设备已进入市场，硅和锗硅外延EPI设备获客户高度认可。
- 量检测设备：子公司超微公司引入电子束检测设备人才，有望加速落地。
投资评级：维持“买入”评级，当前股价对应动态PE分别为70/50/38倍。
风险提示：晶圆厂扩产节奏不及预期，新品研发&产业化不及预期等。