白光干涉测量技术通过反射镜的移动实现机械相移原理,基于光的波动性和相干性原理,通过分光棱镜将光源分成参考光和待测光,通过移动反射镜改变光程差和相位差,产生干涉条纹变化。实现方式包括高精度反射镜选择与安装、高精度驱动装置控制反射镜移动,以及高分辨率相机或光电探测器监测干涉条纹变化。
技术特点与优势包括:高精度(纳米级别测量精度)、非接触式测量(不损伤被测物体)、灵活性(适应不同待测物体)。应用实例涵盖表面形貌测量(如半导体制造、光学元件检测)、薄膜厚度测量(精确测量薄膜厚度和均匀性)、光学元件检测(检测缺陷和应力分布)。
TopMapMicroView白光干涉3D轮廓仪实现一键智能聚焦扫描,亚纳米精度下重复性卓越;集成CST连续扫描技术,Z向测量范围达100mm,高精度垂直分辨率;可搭载多普勒激光测振系统实现动态3D轮廓测量。实际案例包括:优于1nm分辨率测量硅片表面粗糙度(Ra=0.7nm)、毫米级视野实现5nm-有机油膜厚度扫描、高深宽比测量能力实现光刻图形凹槽深度和开口宽度测量。