海外半导体设备巨头巡礼系列：先晶（ASM）深耕薄膜沉积&外延设备，专业化布局的半导体设备龙头

海外半导体设备巨头巡礼系列：先晶（A S M）

1. 发展历程与市场地位

• 早期发展：ASM成立于1968年，最初专注于CVD技术，后通过多次收购成为全球领先的ALD和碳化硅外延设备供应商。
• ALD设备：1990年代开始专注于ALD设备的研发，1994年和2004年分别收购ASM Microchemistry和ASM Genitech Korea，2007年Pulsar ALD设备成为全球首个用于大规模生产铪基High-K介电材料器件的系统，市场占有率超过50%。
• 碳化硅外延设备：2022年收购意大利LPE公司，正式进入碳化硅外延设备市场，受益于电动汽车市场的快速增长。

2. 主要业务与市场前景

• ALD设备：2022年全球ALD市场规模为26亿美元，预计2025年将达到31-37亿美元，2027年将达到42-50亿美元，CAGR为10%-14%。ASM市场份额高达55%，是全球最大的ALD设备供应商。
• 碳化硅外延设备：碳化硅市场快速增长，预计到2027年，新能源汽车导电型SiC功率器件市场规模将达到50亿美元，ASM有望从中受益。

3. 产品布局与技术创新

• ALD设备：公司提供热ALD（T-ALD）和等离子体ALD（PEALD）两种技术设备，产品覆盖全品类，包括Pulsar、Emer、Synergis、Eagle和QCM。
• 核心技术：
  • ALD钼金属沉积：Emer产品能够实现原子级精确控制，确保复杂GAA结构中互连层的高导电性和一致性。
  • 选择性ALD沉积技术：DoD和MoD工艺减少材料浪费，提高制造精度和可靠性。

4. 业绩与财务状况

• 收入与利润：2023年营业收入为26.34亿欧元，同比增长9%，2019-2023年CAGR为19.8%；2023年净利润为7.52亿欧元，同比增长23.0%。
• 毛利率与净利率：2023年毛利率为48.3%，净利率为29%；2024Q1-Q3毛利率为50.6%，净利率为27%。
• 研发投入：2024H1研发费用为1.62亿欧元，同比增长7%，研发费用率为12%。

5. 新订单与市场需求

• 新订单：2024H1新增订单大幅增长，受益于GAA节点订单火爆，2024Q1-Q3新增订单同比增长30%。

总结

ASM作为全球领先的ALD和碳化硅外延设备供应商，在ALD和碳化硅市场具有显著的技术优势和市场地位。随着AI、先进制程和新能源汽车市场的快速发展，ASM有望继续受益于市场需求的增长。