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营收与净利润表现
2024年前三季度，公司营收55.07亿元，同比+36.3%，主要得益于刻蚀设备（占营收80.1%，同比+53.77%）持续交付，尤其在先进逻辑和存储器件中高端产品放量。归母净利润9.13亿元，同比-21.3%，主要受研发投入同比+96.0%、2023年股权出售收益基数较高影响。扣非净利润8.13亿元，同比+10.9%，主要来自营收增长带来的毛利提升。Q3单季营收20.59亿元，同环比+35.96%/+11.77%，归母净利润3.96亿元，同环比+152.63%/+48.11%，主要得益于毛利提升及股权投资收益。
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毛利率与费用率
前三季度毛利率42.22%（同比-3.6pct），销售净利率16.56%（同比-12.1pct），扣非净利率14.77%（同比-3.38pct），期间费用率26.98%（同比+2.7pct），其中研发费用率16.6%（同比+4.2pct）。Q3毛利率43.73%（同比-2.0pct），销售净利率19.22%（同比+8.9pct）。研发投入15.44亿元，同比+96%，占收入比例提升至28%。
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库存与新签订单
Q3末合同负债29.88亿元（同比+119%），存货78.22亿元（同比+66%），发出商品余额35.07亿元（同比+26.40亿元）。Q1-Q3新签订单76.4亿元（同比+52%），预计全年110-130亿元，其中刻蚀设备62.5亿元（同比+54.7%），占比81.8%。LPCVD新签订单3.0亿元。Q1-Q3生产设备1160腔（同比+310%），产值94.19亿元（同比+287%）。Q3经营性现金流转负至-1.14亿元。
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产品与技术布局
- 刻蚀设备：CCP设备覆盖28nm以上逻辑及28nm以下部分逻辑，已交付3800台；ICP设备Primo Nanova® CAGR超70%，TSV刻蚀设备应用于先进封装；MOCVD设备在GaN基市场领先，SiC外延设备已交付验证；薄膜沉积设备CVD钨设备获量产订单，ALD氮化钛设备推进中；EPI设备获客户高度认可。
- 新产品：LPCVD持续放量，超高深宽比刻蚀机验证≥60:1深宽比结构，超低温刻蚀技术储备≥90:1深宽比技术。
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盈利预测与评级
预计2024-2026年归母净利润16.8/24.3/34.0亿元，对应PE67/46/33倍，维持“买入”评级。
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风险提示
晶圆厂扩产节奏不及预期、新品研发产业化不及预期等。
