公司概况与战略
上海万业企业股份有限公司是一家成立于1991年的高科技上市公司,具有新兴产业基因。公司近年来通过“外延并购+产业整合”的双轮驱动战略,收购了凯世通、CompartSystems和嘉芯半导体等公司,加大了集成电路业务比重。公司积极参与集成电路领域整合项目,并于2021年与半导体领域杰出人士共同成立嘉芯半导体,加速产业整合进程,致力于打造成为最完整的装备材料平台公司。
主要业务与产品
公司旗下控股子公司凯世通是国内高端离子注入机产业化领跑企业,主要产品包括低能大束流离子注入机、超低温离子注入机等,应用于先进逻辑、存储、功率器件、CIS图像传感器四大领域。近四年来,凯世通累计签署12英寸集成电路离子注入机设备订单总数近60台,订单总金额近14亿元,已完成交付30台。低能大束流离子注入机客户已超过10家,超低温离子注入机客户已突破6家。
研发与技术
公司持续聚焦客户产业化需求和最新技术趋势,保持高水平的研发投入。2024年上半年研发投入为0.76亿元,同比增长41.24%,占收入比例为37.81%。公司拥有自主知识产权的核心技术,形成了“通用平台+关键技术模块化+系列化产业化发展”的技术体系,解决了高端芯片生产过程中的技术挑战。核心技术如大束流离子源、离子束光学系统等,已通过国内多家晶圆厂客户验证验收。
人才培养
公司采取双轮驱动的人才战略,注重内部人才培养和引进外部专家,打造了由高端人才领衔的技术研发团队。截至2024年上半年,凯世通的研发技术人员总数达到168名,占其员工总数的62.68%。核心技术团队成员拥有20-30年的丰富经验,研发团队汇集了来自国内外著名高等学府的博士和硕士研究生,专业领域覆盖等离子体物理、半导体技术等多个学科。
并购与转型
公司始终致力于通过内生增长与外延并购并举的战略,加速推进企业的转型升级。作为上海半导体装备材料基金的主要有限合伙人,公司依托该基金在集成电路产业领域的资源布局,积极促进产业链的深度融合与协同发展。公司致力于筛选能够突破产业发展瓶颈的优质项目,拓宽整体半导体产业链的覆盖范围,为公司的快速成长注入协同升级的动能。
凯世通CIS离子注入机
凯世通自主研发生产的CIS器件掺杂的低能大束流离子注入机已进入国内领先的CIS器件制造客户开展产线验证,目前进展顺利,实现了国产CIS离子注入机的突破。该产品基于公司已批量产业化应用的通用注入平台与光路系统,通过多项技术创新满足了CIS器件制造对金属污染物控制与注入角度控制的严格要求,有效应对了暗电流产生的白噪点问题,现已交付客户并获得重复订单。
房地产业务
公司房地产业务目前主要是存量房产的销售和经营,已无新的住宅开发项目。存量房产业务范围主要集中在上海及长三角区域。2024年度公司的房地产业务依然是按照去库存化进行规划,无新增土储,存量房产已经进入收尾阶段。公司主要资产集中在上海及长三角区域,因前期开发投入较少具有较好的成本优势,为公司的房地产业务和半导体行业转型提供了良好的财务基础。
凯世通技术发展与产品应用
凯世通作为国产低能大束流离子注入机产业化的领军者,专注于为下游晶圆厂客户提供性能卓越、稳定可靠的量产型产品,覆盖逻辑、存储、功率、CIS四大应用领域。公司自主研发生产的低能大束流离子注入机和超低温离子注入机,已经率先通过了国内多家重点12英寸晶圆厂的严苛验证验收,并成功实现了产业化应用。在新产品研发方面,凯世通以市场需求和前沿技术为导向,除不断积极推动低能大束流离子机及高能离子注入机的客户应用,公司自去年开始研发投入多款面向细分领域的离子注入机,形成全系列的产品矩阵布局,包括SOI氢离子注入机、6/8吋SiC高温离子注入机等。
公司研发情况
随着芯片工艺进步及结构复杂化演进,公司持续加大自主研发力度,通过高强度的研发投入,不断开发满足、引导市场需求的自研前沿技术及产品。2024年上半年公司研发投入0.76亿元,同比增长41.24%,占收入比例37.81%。截至2024年6月30日,公司累计申请专利321项(其中发明专利178项),已授权专利209项。