投资建议:维持公司23-25年营收为8.91/13.06/18.06亿元不变,维持23-25年EPS为0.45/0.68/1.02元不变。维持公司目标价114.3元不变,维持增持评级。 事件:公司发布股权激励公告,拟向113名公司员工按30.69元/股合计授予800万股限制性股票(占总股本的2.5%)。以2022年营收为基数,考核2024-2027年营收增速,目标增速为125%/237%/373%/514%,对应公司24-27年目标营收分别为11.46/17.16/24.09/31.27亿元,yoy分别为28.61%/49.78%/40.36%/29.81%。 股权激励落地,组织活力有望充分激发。根据公告,公司激励人员包括董事、高管、核心技术人员与技术(业务)骨干在内的113人,约占公司23年底员工总数的12.91%。此次股权激励,覆盖人数广。量检测设备国产化率低,公司作为国产龙头,股权激励落地有望绑定核心骨干利益,加速公司关键产品研发、生产与销售,巩固公司的竞争优势。此外,公司亦设定了较高的营收增速目标,2023-2027年营收复合增速为36.87%。 产品布局持续完善,关键产品稳步推进。量检测设备光学赛道10主要产品中,公司已布局8款产品,可服务市场空间已达62.6%,产品布局向海外巨头KLA靠齐。主力产品无图形晶圆缺陷检测设备1Xnm迭代及2Xnm节点明、暗场设备研发均稳步推进。套刻精度量测设备与金属膜厚量测设备有望稳步放量。 风险提示:半导体行业周期波动、国产替代及公司产品研发不及预期。