投资价值分析报告：国产量检测设备龙头，产品持续完善打开成长空间

敬请参阅最后一页特别声明 -1- 证券研究报告 2024年2月8日 公司研究 国产量检测设备龙头，产品持续完善打开成长空间 ——中科飞测（688361.SH）投资价值分析报告 增持（首次） 本土量测检测设备领军者，业绩持续快速增长。公司是半导体质量控制设备龙头，专注光学量测检测技术，产品覆盖无图形/图形晶圆缺陷检测、三维形貌量测、膜厚量测等，成功供货中芯国际、长江存储等主流客户，打破国外厂商垄断局面。22年公司实现营收5.09亿元，归母净利润0.12亿元，23Q1~Q3实现营收5.88亿元，归母净利润0.79亿元。公司预计23年实现收入8.5-9.0亿元，归母净利润预计为1.15-1.65亿元，公司收入、盈利大幅提升。 量检测设备空间广阔，国产替代势在必行。半导体量测检测设备贯穿晶圆制造和先进封装全过程，市场空间广阔。2020年，量测检测设备全球市场规模76.5亿美元，同比增长20%，其中中国大陆市场规模为21.0亿美元、占比27.4%，同比增长24%。量检测设备领域KLA一家独大，在中国大陆市场销售额占比54.8%，其次是应用材料和日立，美日欧的份额分别不低于64%/11%/3%，国产化率低。作为良率控制核心设备，量测检测设备的国产替代势在必行。 专注光学技术路线，无图形晶圆缺陷检测优势明显，量测业务布局广泛。公司深耕的光学量检测技术在量检测设备市场中应用最广泛，2020年应用光学检测技术的量检测设备销售额占所有量检测设备的份额为75.2%，具有领先优势。 （1） 检测业务：无图形晶圆缺陷检测产品线成熟、优势明显，可媲美国际主流厂商KLA。公司已有SPRUCE-600/800两款量产出货，分别对应130nm及以上/2Xnm及以上节点，1Xnm工艺节点的检测设备研发进展顺利。目前图形晶圆缺陷检测设备为亚微米量级，主要用于先进封装环节的晶圆出货检测，客户订单稳步增长，市占率不断提升。应用在2Xnm工艺节点的明场和暗场检测设备研发进展顺利。 （2） 量测业务：布局广泛，多款新设备密集研发/验证中。公司量测领域已有三维形貌量测设备（对应2Xnm及以上制程工艺）、3D曲面玻璃量测设备、膜厚量测设备、套刻精度量测批量出货。应用在2Xnm工艺节点的关键尺寸量测设备研发进展顺利。 盈利预测、估值与评级：公司是国内量检测领域体量最大的公司，检测业务优势明显、客户群优质、产品线不断完善，未来成长性高。全球技术主权竞争将加速量检测设备国产化，中科飞测有望率先受益。预测公司23~25年收入分别为8.70/12.95/18.70亿元，归母净利润分别为1.37/2.35/3.60亿元，对应EPS分别为0.43/0.73/1.12元，首次覆盖给予“增持”评级。 风险提示：新产品研发或验证进度不及预期，下游客户需求放缓，次新股股价波动风险。 公司盈利预测与估值简表 指标 2021 2022 2023E 2024E 2025E 营业收入（百万元） 361 509 870 1,295 1,870 营业收入增长率 51.76% 41.24% 70.94% 48.73% 44.45% 净利润（百万元） 53 12 137 235 360 净利润增长率 34.96% -78.02% 1064.24% 71.90% 53.06% EPS（元） 0.22 0.05 0.43 0.73 1.12 ROE（归属母公司)（摊薄） 9.63% 2.06% 5.69% 8.95% 12.15% P/E 242 1,101 126 73 48 P/B 23.3 22.7 7.2 6.6 5.8 资料来源：Wind，光大证券研究所预测，股价时间为2024-2-6 注：公司2021/2022/2023/2024年对应股本分别为2.4/2.4/3.2/3.2亿股，其中2023年公司上市发行新股0.8亿股。 当前价：53.89元 作者 分析师：陈佳宁 执业证书编号：S0930512120001 021-52523851 chenjianing@ebscn.com 联系人：李佳琦 lijiaqi@ebscn.com 联系人：夏天宇 xiatianyu@ebscn.com 市场数据 总股本(亿股) 3.20 总市值(亿元)： 172.45 一年最低/最高(元)： 46.12/92.49 近3月换手率： 37.23% 股价相对走势 -24%-12%1%13%26%05/2307/2309/2311/2301/24中科飞测-U沪深300 收益表现 % 1M 3M 1Y 相对 -16.15 -22.21 -2.19 绝对 -15.37 -31.04 -21.16 资料来源：Wind 相关研报 量测设备空间大格局好，上海精测、中科飞测等国产品牌蓄势待发——半导体量测设备行业跟踪（2022-11-24） 要点 敬请参阅最后一页特别声明 -2- 证券研究报告 中科飞测-U（688361.SH） 投资聚焦 关键假设 1、 检测设备：检测业务为公司优势业务、22年收入占比超过70%，主要分为无图形晶圆缺陷检测和有图形晶圆缺陷检测，合计销售82台设备，其中47台无图形检测设备、平均单价为542万元（37台SPRUCE-600、10台SPRUCE-800），35台图形检测设备、平均单价371万元。我们预计SPRUCE-800设备销量将继续快速提升，其他类型设备销量增长较为稳定，因此检测设备收入将保持高增长态势，23~25年收入增速分别为72%/44%/41%，随着销量提升及新品推出，预计检测设备毛利率将提高到53%以上，23~25年分别为53.1%/53.6%/53.9%。 2、 量测设备：量测产品布局广泛，当前量测设备产品主要包括三维形貌量测和3D曲面玻璃量测，受客户需求疲软的影响，22年三维形貌量测设备销量大幅下降至15台，对应收入同比下降41%，3D曲面玻璃量测设备单价较为稳定，22年销量大幅增长，受行业下行的影响，我们预计23年收入增速会下降，公司有包括OVL、OCD等多款新产品储备，随着产品线不断完善，公司量测业务预计24、25年将实现较快增长。我们预计23~25年该业务收入增速为66.7%/62.7%/53.1%，随着壁垒更高的多个储备新产品实现销售，预计量测设备的毛利率将有所提升，分别为37.1%/38.4%/39.5%。 3、 其他业务：公司其他业务主要包括少量备品备件销售、设备维护等技术服务的相关业务，22年实现收入0.07亿元，毛利率46.4%，其他业务收入占比非常小，对公司收入的增长和毛利率影响不大，随着公司机台销售逐渐增加，备品备件销售和设备维护等收入预计也会快速增长，假设23-25年收入增速保持在80%，毛利率维持在45%。 我们区别于市场的观点 市场对公司的业务多从量测和检测两大赛道的成长性进行分析，并未对公司专注的光学量检测这一高潜力细分赛道进行深入分析。但我们认为公司专注光学检测技术赛道，且光学技术路线对比电子束等其他技术优势明显，我们对光学技术路线下的检测和量测设备的市场规模和发展趋势进行分析，认为公司产品性能和产品线储备是公司的核心竞争力所在。 股价上涨的催化因素 1）明场、暗场检测设备取得新进展；2）全球科技竞争加剧，国产替代加速；3）制程工艺进步带动量测检测设备需求上行；4）下游客户资本开支扩张。 估值与评级 预测公司23~25年收入分别为8.70/12.95/18.70亿元，归母净利润分别为1.37/2.35/3.60亿元，对应EPS分别为0.43/0.73/1.12元。公司为本土半导体量检测设备领军企业，产品性能可媲美国际竞品，在客户端实现无差别应用，随着公司产品线拓展、新品顺利出货，公司营业收入和盈利能力将进一步提升。因此我们认为公司业绩具有较好成长性，首次覆盖给予“增持”评级。 xVkZvUbWaUfUcZyU9Z8O9R9PoMpPnPmQiNoOmOlOqQyQ8OmOmMMYtRuNMYnQrO 敬请参阅最后一页特别声明 -3- 证券研究报告 中科飞测-U（688361.SH） 目 录 1、 本土量检测设备领军者，业绩稳步攀升 ............................................................................. 6 1.1、 专注光学量测检测技术，产品线日渐完善 ............................................................................................. 6 1.2、 夫妻控股利益高度一致，管理团队专业背景深厚 .................................................................................. 6 1.3、 营收高速增长，利润边际向好 ................................................................................................................ 8 2、 良率控制关键设备，量检测设备空间广阔，国产替代势在必行 ......................................... 11 2.1、 量测检测设备贯穿全工艺流程，市场空间广阔 .................................................................................... 11 2.2、 光学检测设备优势明显，制程进步拉动需求扩张 ................................................................................ 12 2.3、 量检测市场KLA一家独大，国内市场国产化率低 .............................................................................. 15 2.4、 国产量检测设备厂初露锋芒，国产替代势在必行 ................................................................................ 16 3、 专注光学技术，产品持续完善打开成长空间 ..................................................................... 17 3.1、 公司产品覆盖全面，在研/验证产品储备丰富 ....................................................................................... 17 3.2、 检测设备：无图形晶圆缺陷检测优势明显 ........................................................................................... 20 3.3、 量测设备：产品线布局中，静待花开 ................................................................................................... 22 4、 盈利预测 .......................................................